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固结磨料研磨抛光K9玻璃的超精密加工工艺研究
被引量：
5
1
作者
李标
李军
+4 位作者
朱永伟
夏磊
李鹏鹏
孙玉利
左敦稳
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2012年第5期1-5,共5页
采用PHL-350型平面高速研磨抛光系统,通过固结磨料研磨抛光方法进行了超精密加工K9玻璃试验研究。探讨了不同粒径和不同磨粒研磨抛光垫在加工中对K9玻璃材料去除率和表面质量的影响。获得了高效率、低成本、高质量的K9玻璃的超精密加工...
采用PHL-350型平面高速研磨抛光系统,通过固结磨料研磨抛光方法进行了超精密加工K9玻璃试验研究。探讨了不同粒径和不同磨粒研磨抛光垫在加工中对K9玻璃材料去除率和表面质量的影响。获得了高效率、低成本、高质量的K9玻璃的超精密加工工艺:首先使用M20/30金刚石研磨垫研磨,然后使用3μm CeO2抛光垫抛光。加工后K9玻璃的表面粗糙度优于RMS 0.6 nm,微观损伤少。
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关键词
K9玻璃
固结磨料研磨抛光
材料去除率
表面质量
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职称材料
题名
固结磨料研磨抛光K9玻璃的超精密加工工艺研究
被引量：
5
1
作者
李标
李军
朱永伟
夏磊
李鹏鹏
孙玉利
左敦稳
机构
南京航空航天大学机电学院
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2012年第5期1-5,共5页
基金
国家自然基金项目(50905086)
江苏省自然基金项目(BK2010512)
+1 种基金
中央高校基本科研业务费专项资金项目(NP2012506)
南京航空航天大学研究生创新基地(实验室)开放基金项目(kfjj20110220)
文摘
采用PHL-350型平面高速研磨抛光系统,通过固结磨料研磨抛光方法进行了超精密加工K9玻璃试验研究。探讨了不同粒径和不同磨粒研磨抛光垫在加工中对K9玻璃材料去除率和表面质量的影响。获得了高效率、低成本、高质量的K9玻璃的超精密加工工艺:首先使用M20/30金刚石研磨垫研磨,然后使用3μm CeO2抛光垫抛光。加工后K9玻璃的表面粗糙度优于RMS 0.6 nm,微观损伤少。
关键词
K9玻璃
固结磨料研磨抛光
材料去除率
表面质量
Keywords
K9 glass
fixed abrasive lapping and polishing
material removal rate
surface quality
分类号
TG73 [金属学及工艺—刀具与模具]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
固结磨料研磨抛光K9玻璃的超精密加工工艺研究
李标
李军
朱永伟
夏磊
李鹏鹏
孙玉利
左敦稳
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2012
5
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