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固结磨料抛光垫抛光硅片的探索研究被引量：25: 1; 作者朱永伟王军 +1 位作者李军林魁《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期723-727,732,共6页; 采用失重法与铅笔硬度计分析了抛光垫的组分对其溶胀率及干湿态硬度的影响,比较了固结磨料方法与游离磨料方法抛光后硅片的表面粗糙度。结果表明:抛光垫基体的溶胀率随基体中聚乙二醇双丙烯酸酯(PEGDA)或乙氧基化三羟基丙烷三丙酸酯(EO1... 展开更多; 关键词固结磨料抛光垫溶胀率铅笔硬度去除速率; 在线阅读下载PDF 职称材料

铜粉含量对亲水性固结磨料抛光垫加工性能的影响研究被引量：9: 2; 作者唐晓骁朱永伟 +2 位作者付杰王成居志兰《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2012年第4期10-13,共4页; 通过向亲水性固结磨料抛光垫中添加铜粉,改善抛光垫的抛光性能,研究铜粉添加量对抛光垫的理化特性及加工K9光学玻璃的材料去除率和工件表面质量的影响。结果表明:随着铜粉添加比例的增加,抛光垫的硬度增加,其材料去除速率呈现先增大后... 展开更多; 关键词铜粉亲水性固结磨料抛光垫 K9光学玻璃材料去除率表面粗糙度; 在线阅读下载PDF 职称材料

固结磨料抛光垫的凸起图案对其加工性能的影响被引量：4: 3; 作者叶剑锋朱永伟 +2 位作者王俊钱阮富李军《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2010年第6期8-12,共5页; 抛光垫是化学机械抛光中的重要组成部分,其磨损均匀性能是影响加工后工件平面度的重要因素。本文比较了具有优化凸起图案的固结磨料抛光垫、凸起均布的固结磨料抛光垫和聚氨酯抛光垫的研磨抛光性能,结果表明:利用优化凸起图案的固结磨... 展开更多; 关键词固结磨料抛光垫凸起图案图案优化; 在线阅读下载PDF 职称材料

抛光垫及抛光液对固结磨料抛光氧化镓晶体的影响被引量：3: 4; 作者吴成李军 +2 位作者侯天逸于宁斌高秀娟《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2022年第6期720-727,共8页; 氧化镓晶体具有高禁带宽度、耐高压、短吸收截止边等优点,是最具代表性的第四代半导体材料之一,具有广阔地应用前景。氧化镓晶体抛光过程易出现微裂纹、划痕等表面缺陷,难以实现高质量表面加工,无法满足相应器件的使用要求,且现有的氧... 展开更多; 关键词固结磨料抛光氧化镓晶体材料去除率表面粗糙度固结磨料抛光垫; 在线阅读下载PDF 职称材料

固结磨料抛光中不同抛光液组分对铜的加工性能的影响被引量：1: 5; 作者王成朱永伟 +1 位作者徐俊袁航《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2013年第6期1-6,11,共7页; 通过单因素法研究了抛光液中的各组分(双氧水、络合剂乙二胺、缓蚀剂BTA)的浓度对固结磨料抛光铜材的表面粗糙度及材料去除速率的影响。结果表明:在试验浓度范围内,随着双氧水体积分数的增大,材料去除速率升高,表面粗糙度值减小;乙二胺... 展开更多; 关键词铜固结磨料抛光垫材料去除速率表面粗糙度; 在线阅读下载PDF 职称材料

开槽冰冻固结磨料抛光微晶玻璃的工艺研究: 6; 作者杨张一左敦稳 +1 位作者孙玉利童巨特《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期20-24,共5页; 采用成形模具热压法给微米级α-Al2O3冰冻固结磨料抛光垫开槽。设计四因素三水平正交试验,对开槽冰冻固结磨料抛光垫抛光微晶玻璃的工艺进行了研究,与同样试验条件下未开槽冰冻固结磨料抛光垫的抛光效果进行了对比分析。结果表明:开槽... 展开更多; 关键词开槽冰冻固结磨料抛光垫微晶玻璃去除率正交试验; 在线阅读下载PDF 职称材料

金刚石固结磨料研磨K9玻璃的研究被引量：22: 7; 作者林魁朱永伟 +2 位作者李军李茂左敦稳《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期6-11,共6页; 为提高光学材料的研磨效率与质量,提出一种亲水性固结磨料研磨方法。采用图形转移与UV固化工艺,将粒径为5～10μm的金刚石磨料固结于亲水性光固化树脂中,制备固结磨料研磨抛光垫(FAP)。选取工件的材料去除率(MRR)和表面粗糙度(Sa)来评... 展开更多; 关键词亲水性固结磨料抛光垫材料去除率自修整; 在线阅读下载PDF 职称材料

固结磨料研磨中去除机理探索被引量：6: 8; 作者李茂朱永伟 +2 位作者叶剑锋樊吉龙李军《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2010年第4期1-6,共6页; 结合目前实验室的实际加工条件建立了用FAP(fixed abrasive pad,固结磨料抛光垫)研磨抛光时磨粒嵌入工件表面的切深数学模型,提出了当不考虑抛光垫的弹性变形且FAP中添加的磨粒粒径范围在10～14μm之间时,磨粒压入工件的最大深度值在0.4... 展开更多; 关键词固结磨料抛光垫研磨去除机理磨屑; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名固结磨料抛光垫抛光硅片的探索研究被引量：25: 1; 作者朱永伟王军李军林魁; 机构南京航空航天大学; 出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期723-727,732,共6页; 基金国家自然科学基金资助项目(50675104) 江苏省自然科学基金资助项目(BK2006191) 江苏省"六大人才"高峰人才培养资助项目(06-D-024); 文摘采用失重法与铅笔硬度计分析了抛光垫的组分对其溶胀率及干湿态硬度的影响,比较了固结磨料方法与游离磨料方法抛光后硅片的表面粗糙度。结果表明:抛光垫基体的溶胀率随基体中聚乙二醇双丙烯酸酯(PEGDA)或乙氧基化三羟基丙烷三丙酸酯(EO15-TMAPTA)含量的增加而提高;基体的干态硬度随PEGDA含量的增加先有所增大,而后减小,随EO15-TMAPTA含量的增加而增大;湿态下铅笔硬度随PEGDA或EO15-TMAPTA含量的增加而减小;光引发剂量的增加,有利于增大基体的干湿态硬度;固结磨料抛光硅片的去除速率是游离磨料加工的2～3倍,而前者抛光硅片后的表面粗糙度Ra为12.2nm,大于后者的4.32nm。; 关键词固结磨料抛光垫溶胀率铅笔硬度去除速率; Keywords fixed abrasive pad swelling ratio pencil hardness removal rate; 分类号 TN05 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名铜粉含量对亲水性固结磨料抛光垫加工性能的影响研究被引量：9: 2; 作者唐晓骁朱永伟付杰王成居志兰; 机构南京航空航天大学机电学院; 出处《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2012年第4期10-13,共4页; 基金国家自然科学基金(51175260和50905086) 江苏省自然科学基金(BK2010512); 文摘通过向亲水性固结磨料抛光垫中添加铜粉,改善抛光垫的抛光性能,研究铜粉添加量对抛光垫的理化特性及加工K9光学玻璃的材料去除率和工件表面质量的影响。结果表明:随着铜粉添加比例的增加,抛光垫的硬度增加,其材料去除速率呈现先增大后减小的趋势,当铜粉质量分数为5%时,抛光垫的材料去除速率达到最大值58.18 nm/min。同时加工后K9玻璃表面粗糙度也对应地呈现出先增大后减小的趋势,粗糙度Sa最大值为9.28 nm,最小值为2.53 nm。; 关键词铜粉亲水性固结磨料抛光垫 K9光学玻璃材料去除率表面粗糙度; Keywords copper powder hydrophilic fixed abrasive pad K9 optical glass material removal rate surface roughness; 分类号 TG74 [金属学及工艺—刀具与模具]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名固结磨料抛光垫的凸起图案对其加工性能的影响被引量：4: 3; 作者叶剑锋朱永伟王俊钱阮富李军; 机构南京航空航天大学机电院浙江电联工程技术有限公司; 出处《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2010年第6期8-12,共5页; 基金江苏省自然科学基金(BK2010512) 南京航空航天大学基本科研业务费专项科研项目资助(NS2010127); 文摘抛光垫是化学机械抛光中的重要组成部分,其磨损均匀性能是影响加工后工件平面度的重要因素。本文比较了具有优化凸起图案的固结磨料抛光垫、凸起均布的固结磨料抛光垫和聚氨酯抛光垫的研磨抛光性能,结果表明:利用优化凸起图案的固结磨料抛光垫加工,可以得到更加优异且稳定的表面质量,材料去除效率远高于聚氨脂抛光垫游离磨料的加工方式。; 关键词固结磨料抛光垫凸起图案图案优化; Keywords fixed abrasive pad rised pattern optimized pattern; 分类号 TG58 [金属学及工艺—金属切削加工及机床] TQ164 [化学工程—高温制品工业]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名抛光垫及抛光液对固结磨料抛光氧化镓晶体的影响被引量：3: 4; 作者吴成李军侯天逸于宁斌高秀娟; 机构南京航空航天大学机电学院航空工业成都飞机工业(集团)有限责任公司检验检测部; 出处《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2022年第6期720-727,共8页; 基金国家自然科学基金联合基金项目(U20A20293) 国家自然科学基金面上项目(52075318) 江苏省“六大人才高峰”高层次人才项目(JXQC-010)。; 文摘氧化镓晶体具有高禁带宽度、耐高压、短吸收截止边等优点,是最具代表性的第四代半导体材料之一,具有广阔地应用前景。氧化镓晶体抛光过程易出现微裂纹、划痕等表面缺陷,难以实现高质量表面加工,无法满足相应器件的使用要求,且现有的氧化镓晶体抛光工艺复杂、效率低。固结磨料抛光技术具有磨粒分布及切深可控、磨粒利用率高等优点。采用固结磨料抛光氧化镓晶体,探究抛光垫基体硬度、磨料浓度和抛光液添加剂对被抛光材料去除率和表面质量的影响。结果表明:当抛光垫基体硬度适中为Ⅱ、金刚石磨粒浓度为100%、抛光液添加剂为草酸时,固结磨料抛光氧化镓晶体的材料去除率为68 nm/min,表面粗糙度Sa为3.17 nm。采用固结磨料抛光技术可以实现氧化镓晶体的高效高质量抛光。; 关键词固结磨料抛光氧化镓晶体材料去除率表面粗糙度固结磨料抛光垫; Keywords fixed abrasive polishing gallium oxide crystal material removal rate surface roughness fixed abrasive pad; 分类号 TG58 [金属学及工艺—金属切削加工及机床] TQ164 [化学工程—高温制品工业]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名固结磨料抛光中不同抛光液组分对铜的加工性能的影响被引量：1: 5; 作者王成朱永伟徐俊袁航; 机构南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室上海航天控制技术研究所; 出处《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2013年第6期1-6,11,共7页; 基金国家自然科学基金(5711260) 中央高校基本科研业务费专项资金(NO.NP2012506); 文摘通过单因素法研究了抛光液中的各组分(双氧水、络合剂乙二胺、缓蚀剂BTA)的浓度对固结磨料抛光铜材的表面粗糙度及材料去除速率的影响。结果表明:在试验浓度范围内,随着双氧水体积分数的增大,材料去除速率升高,表面粗糙度值减小;乙二胺可显著提高材料的去除速率,但随着乙二胺体积分数的增加,表面粗糙度值减小;随着BTA质量分数的增大,表面粗糙度值增大,材料去除速率降低。双氧水体积分数为5%,乙二胺体积分数为0.8%,BTA质量分数为0.1%时,抛光效果最佳,抛光后工件表面粗糙度为4.41nm,材料去除速率达到2 932 nm/min。; 关键词铜固结磨料抛光垫材料去除速率表面粗糙度; Keywords copper fixed abrasive pad material removal rate surface roughness; 分类号 TG580.692 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名开槽冰冻固结磨料抛光微晶玻璃的工艺研究: 6; 作者杨张一左敦稳孙玉利童巨特; 机构南京航空航天大学; 出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期20-24,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(51175260) 中国博士后科学基金特别资助金资助项目(201003583) +1 种基金南京航空航天大学研究生创新基地(实验室)开放基金资助项目(kfjj20110228); 文摘采用成形模具热压法给微米级α-Al2O3冰冻固结磨料抛光垫开槽。设计四因素三水平正交试验,对开槽冰冻固结磨料抛光垫抛光微晶玻璃的工艺进行了研究,与同样试验条件下未开槽冰冻固结磨料抛光垫的抛光效果进行了对比分析。结果表明:开槽情况下的去除率比未开槽情况下的去除率提高40%左右,微晶玻璃表面形貌略有改善但出现划痕现象,主轴转速对材料去除率影响更为显著。; 关键词开槽冰冻固结磨料抛光垫微晶玻璃去除率正交试验; Keywords groove ice fixed abrasive polishing pad glass-ceramics removal ratio orthogonal test; 分类号 TG580 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名金刚石固结磨料研磨K9玻璃的研究被引量：22: 7; 作者林魁朱永伟李军李茂左敦稳; 机构南京航空航天大学机电学院; 出处《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期6-11,共6页; 基金国家自然科学基金(50675104) 江苏省六大人才高峰基金(06-D-024) 江苏省精密与微细加工重点实验室基金(JSPM200707)资助项目; 文摘为提高光学材料的研磨效率与质量,提出一种亲水性固结磨料研磨方法。采用图形转移与UV固化工艺,将粒径为5～10μm的金刚石磨料固结于亲水性光固化树脂中,制备固结磨料研磨抛光垫(FAP)。选取工件的材料去除率(MRR)和表面粗糙度(Sa)来评价研磨的加工性能。对比研究了在相同粒径磨粒下的游离磨料研磨、固结磨料丸片研磨、及亲水性FAP研磨三种不同方法对K9光学玻璃的加工性能。实验结果表明:采用FAP研磨K9玻璃,MRR为350nm/min,表面粗糙度Sa为3.24nm,达到了精研的加工效率和抛光的表面质量。提出了固结磨料抛光丸片和亲水性FAP的加工模型,以及亲水性FAP的自修整机理。; 关键词亲水性固结磨料抛光垫材料去除率自修整; Keywords hydrophilic fixed abrasive pad （FAP） material removal rate （MRR） self-conditioning; 分类号 TN05 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名固结磨料研磨中去除机理探索被引量：6: 8; 作者李茂朱永伟叶剑锋樊吉龙李军; 机构南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室; 出处《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2010年第4期1-6,共6页; 基金国家自然科学基金资助项目(No.50905086) 国家自然科学基金资助项目(No.50675104); 文摘结合目前实验室的实际加工条件建立了用FAP(fixed abrasive pad,固结磨料抛光垫)研磨抛光时磨粒嵌入工件表面的切深数学模型,提出了当不考虑抛光垫的弹性变形且FAP中添加的磨粒粒径范围在10～14μm之间时,磨粒压入工件的最大深度值在0.4μm左右。当考虑抛光垫的弹性变形时,磨粒嵌入工件的深度普遍减小,从而使得加工后工件的表面质量得到明显提高,主要表现在加工后工件表面划痕数量和划痕深度大大减小,表面粗糙度值降低。为了验证模型的正确性,在研磨抛光实验过程中收集了大量磨屑并对其拍摄大量SEM照片,通过图像处理和分析证明了在加工产生的磨屑中,91%以上(均值96.5%)的磨屑厚度小于0.3μm,非常好地吻合了本文中所建立的切深数学模型。; 关键词固结磨料抛光垫研磨去除机理磨屑; Keywords fixed abrasive pad lapping removal mechanism abrasive dust; 分类号 TG74 [金属学及工艺—刀具与模具] TQ164 [化学工程—高温制品工业]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	固结磨料抛光垫抛光硅片的探索研究	朱永伟王军李军林魁	《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2009	25	在线阅读下载PDF 职称材料
2	铜粉含量对亲水性固结磨料抛光垫加工性能的影响研究	唐晓骁朱永伟付杰王成居志兰	《金刚石与磨料磨具工程》 CAS	2012	9	在线阅读下载PDF 职称材料
3	固结磨料抛光垫的凸起图案对其加工性能的影响	叶剑锋朱永伟王俊钱阮富李军	《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心	2010	4	在线阅读下载PDF 职称材料
4	抛光垫及抛光液对固结磨料抛光氧化镓晶体的影响	吴成李军侯天逸于宁斌高秀娟	《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心	2022	3	在线阅读下载PDF 职称材料
5	固结磨料抛光中不同抛光液组分对铜的加工性能的影响	王成朱永伟徐俊袁航	《金刚石与磨料磨具工程》 CAS	2013	1	在线阅读下载PDF 职称材料
6	开槽冰冻固结磨料抛光微晶玻璃的工艺研究	杨张一左敦稳孙玉利童巨特	《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2013	0	在线阅读下载PDF 职称材料
7	金刚石固结磨料研磨K9玻璃的研究	林魁朱永伟李军李茂左敦稳	《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心	2010	22	在线阅读下载PDF 职称材料
8	固结磨料研磨中去除机理探索	李茂朱永伟叶剑锋樊吉龙李军	《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心	2010	6	在线阅读下载PDF 职称材料