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倾斜小锤结构对SAW谐振器性能的影响研究
1
作者
李强
帅垚
+2 位作者
吴传贵
罗文博
张万里
《压电与声光》
北大核心
2025年第3期484-489,共6页
为了提升5G时代高频滤波器的性能,研究了基于X-37°Y LiNbO3为压电衬底的固态装配型谐振器(SMR)结构的声表面波(SAW)谐振器。通过二维和三维有限元仿真,研究了谐振器结构参数对其性能的影响,并通过流片验证了仿真结果。结果表明,该...
为了提升5G时代高频滤波器的性能,研究了基于X-37°Y LiNbO3为压电衬底的固态装配型谐振器(SMR)结构的声表面波(SAW)谐振器。通过二维和三维有限元仿真,研究了谐振器结构参数对其性能的影响,并通过流片验证了仿真结果。结果表明,该结构下旋转角37°时谐振器性能最优,且倾斜角度的增加可增强对横向模态杂散的抑制效果,当倾斜角度超过18°后效果减弱并引入新的杂散。倾斜小锤结构在一定程度上能提高谐振器的品质因数(Q)值,由此确定其最佳倾斜角度为15°~18°,且能在抑制杂散和保持Q值间取得平衡,这为高频SAW滤波器提供了设计指导。
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关键词
固态
装配
型
谐振器
(
smr
)
声表面波
谐振器
有限元仿真
倾斜小锤结构
品质因数
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职称材料
协同共振型薄膜体声波谐振器研究
2
作者
张亚非
刘一剑
+3 位作者
李忠丽
张耀中
苏言杰
刘刚
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第10期1242-1248,共7页
随着通信行业和微电子技术的快速发展,以及第5代移动通信技术(5G)的发展趋势越来越明晰,对高频段的微型化射频滤波器的性能提出了更高的要求.生产基于体声波谐振器的滤波器成为最具有应用前景的技术.基于大量研究,总结了固体装配型的体...
随着通信行业和微电子技术的快速发展,以及第5代移动通信技术(5G)的发展趋势越来越明晰,对高频段的微型化射频滤波器的性能提出了更高的要求.生产基于体声波谐振器的滤波器成为最具有应用前景的技术.基于大量研究,总结了固体装配型的体声波谐振器(Solidly Mounted Bulk Acoustic Resonator,SMR)的制备优化技术,在压电薄膜粗糙度优化的技术基础上,提出了AlN-ZnO协同共振型SMR器件,解决了氧化锌薄膜压电性能不佳、c轴择优取向较弱的问题,制备了相应的AlN-ZnO协同共振型SMR,取得了较好的器件性能参数.串联谐振点品质因数Qs为616.2,并联谐振点品质因数Qp为429.4,机电耦合系数k2eff为2.27%.为SMR的制备和量产提供了一个创新的方案.
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关键词
固体
装配
型
薄膜体声波
谐振器
(
smr
)
氧化锌薄膜
AlN-ZnO协同共振层
掺杂技术
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职称材料
题名
倾斜小锤结构对SAW谐振器性能的影响研究
1
作者
李强
帅垚
吴传贵
罗文博
张万里
机构
重庆邮电大学光电工程学院
电子科技大学重庆微电子产业技术研究院
电子科技大学电子科学与工程学院
出处
《压电与声光》
北大核心
2025年第3期484-489,共6页
基金
重庆英才计划(CQYC202201101417)。
文摘
为了提升5G时代高频滤波器的性能,研究了基于X-37°Y LiNbO3为压电衬底的固态装配型谐振器(SMR)结构的声表面波(SAW)谐振器。通过二维和三维有限元仿真,研究了谐振器结构参数对其性能的影响,并通过流片验证了仿真结果。结果表明,该结构下旋转角37°时谐振器性能最优,且倾斜角度的增加可增强对横向模态杂散的抑制效果,当倾斜角度超过18°后效果减弱并引入新的杂散。倾斜小锤结构在一定程度上能提高谐振器的品质因数(Q)值,由此确定其最佳倾斜角度为15°~18°,且能在抑制杂散和保持Q值间取得平衡,这为高频SAW滤波器提供了设计指导。
关键词
固态
装配
型
谐振器
(
smr
)
声表面波
谐振器
有限元仿真
倾斜小锤结构
品质因数
Keywords
smr
surface acoustic wave resonator
finite element simulation
inclined hammer structure
quality factor
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
TN751.2 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
协同共振型薄膜体声波谐振器研究
2
作者
张亚非
刘一剑
李忠丽
张耀中
苏言杰
刘刚
机构
上海交通大学微纳电子学系
上海卫星装备研究所
出处
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第10期1242-1248,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(61574091)
文摘
随着通信行业和微电子技术的快速发展,以及第5代移动通信技术(5G)的发展趋势越来越明晰,对高频段的微型化射频滤波器的性能提出了更高的要求.生产基于体声波谐振器的滤波器成为最具有应用前景的技术.基于大量研究,总结了固体装配型的体声波谐振器(Solidly Mounted Bulk Acoustic Resonator,SMR)的制备优化技术,在压电薄膜粗糙度优化的技术基础上,提出了AlN-ZnO协同共振型SMR器件,解决了氧化锌薄膜压电性能不佳、c轴择优取向较弱的问题,制备了相应的AlN-ZnO协同共振型SMR,取得了较好的器件性能参数.串联谐振点品质因数Qs为616.2,并联谐振点品质因数Qp为429.4,机电耦合系数k2eff为2.27%.为SMR的制备和量产提供了一个创新的方案.
关键词
固体
装配
型
薄膜体声波
谐振器
(
smr
)
氧化锌薄膜
AlN-ZnO协同共振层
掺杂技术
Keywords
solidly mounted bulk acoustic resonator(
smr
)
ZnO doped piezoelectric film
AlN-ZnO co-resonating layer
buffer layer
分类号
TN65 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
倾斜小锤结构对SAW谐振器性能的影响研究
李强
帅垚
吴传贵
罗文博
张万里
《压电与声光》
北大核心
2025
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
协同共振型薄膜体声波谐振器研究
张亚非
刘一剑
李忠丽
张耀中
苏言杰
刘刚
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
0
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职称材料
已选择
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