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铜铟硫薄膜的固态硫化法制备及其性能研究 被引量:6
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作者 查杉 元金石 +1 位作者 张弓 庄大明 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期63-66,共4页
采用中频交流磁控溅射方法沉积Cu-In预制膜,并采用固态源蒸发硫化方法制备CuInS2薄膜。考察了硫源温度对CuInS2薄膜性能的影响。采用扫描电镜(SEM)和X射线能量色散谱仪(EDS)分别观察了薄膜的表面形貌和分析了薄膜的成分,采用X射线衍射(X... 采用中频交流磁控溅射方法沉积Cu-In预制膜,并采用固态源蒸发硫化方法制备CuInS2薄膜。考察了硫源温度对CuInS2薄膜性能的影响。采用扫描电镜(SEM)和X射线能量色散谱仪(EDS)分别观察了薄膜的表面形貌和分析了薄膜的成分,采用X射线衍射(XRD)表征了薄膜的组织结构。结果表明,在硫源温度处于280℃到360℃范围之内时,制备的CuInS2薄膜都具有单一的黄铜矿型结构,颗粒均匀,晶粒大小约为1μm。 展开更多
关键词 太阳能电池 CuInS2薄膜 固态源蒸发硫化 温度
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CuInS_2:两步电沉积制备及性能 被引量:7
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作者 刘小雨 王广君 +3 位作者 田宝丽 余腊锋 张兴堂 杜祖亮 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2008年第12期2035-2038,共4页
采用恒电位沉积法制备铜铟合金预制膜,并在管式炉中通过固态源蒸发硫化预制膜得到CuInS2薄膜。通过扫描电镜(SEM)、能量色散谱仪(EDS)和X射线衍射仪(XRD)对CuInS2薄膜的表面形貌、截面厚度、成分组成和薄膜的组织结构进行了研究,并利用... 采用恒电位沉积法制备铜铟合金预制膜,并在管式炉中通过固态源蒸发硫化预制膜得到CuInS2薄膜。通过扫描电镜(SEM)、能量色散谱仪(EDS)和X射线衍射仪(XRD)对CuInS2薄膜的表面形貌、截面厚度、成分组成和薄膜的组织结构进行了研究,并利用紫外可见光吸收谱仪(UV-Vis)研究了不同硫化温度对CuInS2薄膜的形貌及其光学吸收性质的影响。结果表明:不同的退火温度能够影响CuInS2薄膜的表面形貌以及带隙的大小,从而影响其光学吸收特性。 展开更多
关键词 电沉积 固态源蒸发硫化 退火温度 光学特性
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