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特种压阻式加速度传感器的研制
被引量：
3
1
作者
赵立波
赵玉龙
蒋庄德
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第9期1049-1052,共4页
通过动力学分析和有限元模拟,设计出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构.采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了高精度、高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片,通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处,利用激光焊接...
通过动力学分析和有限元模拟,设计出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构.采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了高精度、高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片,通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处,利用激光焊接工艺,制造了量程为±20 km/s2、过载能力为30倍满量程的特种压阻式加速度传感器.实验表明,在对传感器施加集中载荷和动态冲击的条件下,传感器可达到静态精度为0.86%满量程、动态响应频率为3.43 kHz的技术指标,从而满足了非常规武器在触发控制等特殊领域的应用要求.
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关键词
微型机械电子系统
固态压阻平膜芯片
弹性梁
高过载
加速度传感器
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职称材料
题名
特种压阻式加速度传感器的研制
被引量：
3
1
作者
赵立波
赵玉龙
蒋庄德
机构
西安交通大学机械工程学院
出处
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第9期1049-1052,共4页
基金
国家高技术研究发展计划MEMS重点基金资助项目(2004AA404220)
国家自然科学基金资助项目(50475085
+1 种基金
50535030)
教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NFCT-05-0842)
文摘
通过动力学分析和有限元模拟,设计出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构.采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了高精度、高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片,通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处,利用激光焊接工艺,制造了量程为±20 km/s2、过载能力为30倍满量程的特种压阻式加速度传感器.实验表明,在对传感器施加集中载荷和动态冲击的条件下,传感器可达到静态精度为0.86%满量程、动态响应频率为3.43 kHz的技术指标,从而满足了非常规武器在触发控制等特殊领域的应用要求.
关键词
微型机械电子系统
固态压阻平膜芯片
弹性梁
高过载
加速度传感器
Keywords
micro electro-mechanical system
solid piezoresistive silicon flat chip
elastic beam
high overload
acceleration sensor
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
特种压阻式加速度传感器的研制
赵立波
赵玉龙
蒋庄德
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
3
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