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磁控溅射气体团簇源中团簇形成的DSMC研究
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作者 张连华 潘小东 +3 位作者 李公平 王晓冬 柳学敏 林巧露 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期1032-1036,共5页
利用直接模拟蒙特卡洛方法(DSMC),模拟了磁控溅射气体团簇源中Cu^+(Cu^-)的含量比例不同的条件下,Cu团簇的尺寸分布.模拟结果表明:随着含量比例的增加,团簇的尺寸分布变窄了,不带电的团簇的比例增加,不带电的铜团簇分布的最大值减小,相... 利用直接模拟蒙特卡洛方法(DSMC),模拟了磁控溅射气体团簇源中Cu^+(Cu^-)的含量比例不同的条件下,Cu团簇的尺寸分布.模拟结果表明:随着含量比例的增加,团簇的尺寸分布变窄了,不带电的团簇的比例增加,不带电的铜团簇分布的最大值减小,相应的带正电荷和带负电荷团簇的比例减小;相同的含量比例下,带正电的团簇的尺寸分布与带负电荷的团簇的尺寸分布基本相同;初始Cu^-比Cu^+的含量比例大时,输出的主要是带负电荷的团簇,带正电荷和不带电的团簇占很小的比例;Cu^-含量比例的增加,负Cu团簇的尺寸分布减小. 展开更多
关键词 DSMC方法 磁控溅射 团簇的尺寸
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气体凝聚团簇源中团簇形成的DSMC研究
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作者 张连华 李公平 王晓冬 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期446-454,共9页
利用直接模拟蒙特卡洛方法(DSMC),模拟了气体凝聚团簇源在不同的腔长,不同的腔壁温度和不同惰性气体的含量的条件下,Cu团簇的尺寸分布.模拟结果表明:腔的长度越长,产生大团簇的比例越大;腔壁的温度越低,产生的大团簇的比例越大;惰性气... 利用直接模拟蒙特卡洛方法(DSMC),模拟了气体凝聚团簇源在不同的腔长,不同的腔壁温度和不同惰性气体的含量的条件下,Cu团簇的尺寸分布.模拟结果表明:腔的长度越长,产生大团簇的比例越大;腔壁的温度越低,产生的大团簇的比例越大;惰性气体的含量比例越高,产生的大团簇的比例越小;相同的惰性气体含量下,He/Ar比值越高,产生大团簇的比例越大. 展开更多
关键词 DSMC方法 团簇的尺寸
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引出口的几何参数对团簇形成影响的DSMC研究
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作者 张连华 李公平 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期367-371,共5页
利用直接模拟蒙特卡洛方法(DSMC),模拟了气体凝聚团簇源的引出口尺寸和中心位置不同的条件下,Cu团簇的尺寸分布以及模拟了随着时间的增长,腔内团簇数目的变化.模拟结果表明:引出口的直径越大,产生大团簇的比例越小;在引出口的直径相同... 利用直接模拟蒙特卡洛方法(DSMC),模拟了气体凝聚团簇源的引出口尺寸和中心位置不同的条件下,Cu团簇的尺寸分布以及模拟了随着时间的增长,腔内团簇数目的变化.模拟结果表明:引出口的直径越大,产生大团簇的比例越小;在引出口的直径相同的情况下,引出口的中心位置偏离坐标原点比在原点产生的大团簇的比例要大;随着时间的增长,腔内团簇数目先变多后变少. 展开更多
关键词 DSMC方法 引出口的直径 团簇的尺寸
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