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磁控溅射气体团簇源中团簇形成的DSMC研究
1
作者
张连华
潘小东
+3 位作者
李公平
王晓冬
柳学敏
林巧露
《原子与分子物理学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第6期1032-1036,共5页
利用直接模拟蒙特卡洛方法(DSMC),模拟了磁控溅射气体团簇源中Cu^+(Cu^-)的含量比例不同的条件下,Cu团簇的尺寸分布.模拟结果表明:随着含量比例的增加,团簇的尺寸分布变窄了,不带电的团簇的比例增加,不带电的铜团簇分布的最大值减小,相...
利用直接模拟蒙特卡洛方法(DSMC),模拟了磁控溅射气体团簇源中Cu^+(Cu^-)的含量比例不同的条件下,Cu团簇的尺寸分布.模拟结果表明:随着含量比例的增加,团簇的尺寸分布变窄了,不带电的团簇的比例增加,不带电的铜团簇分布的最大值减小,相应的带正电荷和带负电荷团簇的比例减小;相同的含量比例下,带正电的团簇的尺寸分布与带负电荷的团簇的尺寸分布基本相同;初始Cu^-比Cu^+的含量比例大时,输出的主要是带负电荷的团簇,带正电荷和不带电的团簇占很小的比例;Cu^-含量比例的增加,负Cu团簇的尺寸分布减小.
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关键词
DSMC方法
磁控溅射
团
簇
源
团簇的尺寸
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职称材料
气体凝聚团簇源中团簇形成的DSMC研究
2
作者
张连华
李公平
王晓冬
《原子与分子物理学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第3期446-454,共9页
利用直接模拟蒙特卡洛方法(DSMC),模拟了气体凝聚团簇源在不同的腔长,不同的腔壁温度和不同惰性气体的含量的条件下,Cu团簇的尺寸分布.模拟结果表明:腔的长度越长,产生大团簇的比例越大;腔壁的温度越低,产生的大团簇的比例越大;惰性气...
利用直接模拟蒙特卡洛方法(DSMC),模拟了气体凝聚团簇源在不同的腔长,不同的腔壁温度和不同惰性气体的含量的条件下,Cu团簇的尺寸分布.模拟结果表明:腔的长度越长,产生大团簇的比例越大;腔壁的温度越低,产生的大团簇的比例越大;惰性气体的含量比例越高,产生的大团簇的比例越小;相同的惰性气体含量下,He/Ar比值越高,产生大团簇的比例越大.
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关键词
DSMC方法
团
簇
源
团簇的尺寸
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职称材料
引出口的几何参数对团簇形成影响的DSMC研究
3
作者
张连华
李公平
《原子与分子物理学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第2期367-371,共5页
利用直接模拟蒙特卡洛方法(DSMC),模拟了气体凝聚团簇源的引出口尺寸和中心位置不同的条件下,Cu团簇的尺寸分布以及模拟了随着时间的增长,腔内团簇数目的变化.模拟结果表明:引出口的直径越大,产生大团簇的比例越小;在引出口的直径相同...
利用直接模拟蒙特卡洛方法(DSMC),模拟了气体凝聚团簇源的引出口尺寸和中心位置不同的条件下,Cu团簇的尺寸分布以及模拟了随着时间的增长,腔内团簇数目的变化.模拟结果表明:引出口的直径越大,产生大团簇的比例越小;在引出口的直径相同的情况下,引出口的中心位置偏离坐标原点比在原点产生的大团簇的比例要大;随着时间的增长,腔内团簇数目先变多后变少.
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关键词
DSMC方法
引出口的直径
团簇的尺寸
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职称材料
题名
磁控溅射气体团簇源中团簇形成的DSMC研究
1
作者
张连华
潘小东
李公平
王晓冬
柳学敏
林巧露
机构
兰州大学核科学与技术学院
出处
《原子与分子物理学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第6期1032-1036,共5页
基金
国家自然科学基金(10375028)
兰州大学中央高校基本科研业务费专项资金资助(lzujbky2009-113)
文摘
利用直接模拟蒙特卡洛方法(DSMC),模拟了磁控溅射气体团簇源中Cu^+(Cu^-)的含量比例不同的条件下,Cu团簇的尺寸分布.模拟结果表明:随着含量比例的增加,团簇的尺寸分布变窄了,不带电的团簇的比例增加,不带电的铜团簇分布的最大值减小,相应的带正电荷和带负电荷团簇的比例减小;相同的含量比例下,带正电的团簇的尺寸分布与带负电荷的团簇的尺寸分布基本相同;初始Cu^-比Cu^+的含量比例大时,输出的主要是带负电荷的团簇,带正电荷和不带电的团簇占很小的比例;Cu^-含量比例的增加,负Cu团簇的尺寸分布减小.
关键词
DSMC方法
磁控溅射
团
簇
源
团簇的尺寸
Keywords
direct simulation Monte Carlo method, magnetron sputtering cluster source, cluster size
分类号
O561 [理学—原子与分子物理]
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职称材料
题名
气体凝聚团簇源中团簇形成的DSMC研究
2
作者
张连华
李公平
王晓冬
机构
兰州大学核科学与技术学院
出处
《原子与分子物理学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第3期446-454,共9页
基金
国家自然科学基金(10375028)
文摘
利用直接模拟蒙特卡洛方法(DSMC),模拟了气体凝聚团簇源在不同的腔长,不同的腔壁温度和不同惰性气体的含量的条件下,Cu团簇的尺寸分布.模拟结果表明:腔的长度越长,产生大团簇的比例越大;腔壁的温度越低,产生的大团簇的比例越大;惰性气体的含量比例越高,产生的大团簇的比例越小;相同的惰性气体含量下,He/Ar比值越高,产生大团簇的比例越大.
关键词
DSMC方法
团
簇
源
团簇的尺寸
Keywords
direct simulation Monte Carlo method, cluster source, cluster size
分类号
O561 [理学—原子与分子物理]
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职称材料
题名
引出口的几何参数对团簇形成影响的DSMC研究
3
作者
张连华
李公平
机构
兰州大学核科学与技术学院
出处
《原子与分子物理学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第2期367-371,共5页
基金
国家自然科学基金(10375028)
文摘
利用直接模拟蒙特卡洛方法(DSMC),模拟了气体凝聚团簇源的引出口尺寸和中心位置不同的条件下,Cu团簇的尺寸分布以及模拟了随着时间的增长,腔内团簇数目的变化.模拟结果表明:引出口的直径越大,产生大团簇的比例越小;在引出口的直径相同的情况下,引出口的中心位置偏离坐标原点比在原点产生的大团簇的比例要大;随着时间的增长,腔内团簇数目先变多后变少.
关键词
DSMC方法
引出口的直径
团簇的尺寸
Keywords
direct simulation Monte Carlo method, nozzle diameter, cluster size
分类号
O561 [理学—原子与分子物理]
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作者
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1
磁控溅射气体团簇源中团簇形成的DSMC研究
张连华
潘小东
李公平
王晓冬
柳学敏
林巧露
《原子与分子物理学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011
0
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职称材料
2
气体凝聚团簇源中团簇形成的DSMC研究
张连华
李公平
王晓冬
《原子与分子物理学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011
0
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职称材料
3
引出口的几何参数对团簇形成影响的DSMC研究
张连华
李公平
《原子与分子物理学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011
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