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Te团簇膜及其退火效应
1
作者
陈平平
洪建明
+5 位作者
季亚林
缪炳有
俞圣雯
李天信
韩民
王广厚
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1998年第5期501-502,共2页
新发展起来的低能团簇束流淀积技术（ＬＥＣＢＤ）由于其尺寸可控，以及分布均一而引起人们的关注。利用该技术已制备了高质量的Ｓｂ，Ｂｉ薄膜，并发现了许多新奇的现象［１］。Ｔｅ及其合金膜已在记忆开关元件等光电器件中得到大量的...
新发展起来的低能团簇束流淀积技术（ＬＥＣＢＤ）由于其尺寸可控，以及分布均一而引起人们的关注。利用该技术已制备了高质量的Ｓｂ，Ｂｉ薄膜，并发现了许多新奇的现象［１］。Ｔｅ及其合金膜已在记忆开关元件等光电器件中得到大量的应用，并有很强的各向异性特性［２］...
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关键词
薄膜
退火效应
碲
团簇束流淀积
团
簇
膜
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职称材料
题名
Te团簇膜及其退火效应
1
作者
陈平平
洪建明
季亚林
缪炳有
俞圣雯
李天信
韩民
王广厚
机构
南京大学固体微结构国家重点实验室
南京大学现代分析中心
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1998年第5期501-502,共2页
文摘
新发展起来的低能团簇束流淀积技术（ＬＥＣＢＤ）由于其尺寸可控，以及分布均一而引起人们的关注。利用该技术已制备了高质量的Ｓｂ，Ｂｉ薄膜，并发现了许多新奇的现象［１］。Ｔｅ及其合金膜已在记忆开关元件等光电器件中得到大量的应用，并有很强的各向异性特性［２］...
关键词
薄膜
退火效应
碲
团簇束流淀积
团
簇
膜
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Te团簇膜及其退火效应
陈平平
洪建明
季亚林
缪炳有
俞圣雯
李天信
韩民
王广厚
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1998
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