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题名压电微机械超声换能器仿真与结构优化
被引量：3
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作者
余卿
遆金铭
樊青青
李俊红
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机构
中国科学院声学研究所声场声信息国家重点实验室
中国科学院大学
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出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2022年第3期403-406,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(11874388,12174420)
中国科学院声学研究所自主部署“目标导向”类项目(MBDX202112)。
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文摘
压电微机械超声换能器(PMUT)在医疗阵列成像、手势识别、内窥成像、指纹识别等领域有着重要的应用,而灵敏度等性能是影响其成像质量的主要因素。该文对基于PMN-PT圆形压电复合振动膜的压电微机械超声换能器等效电路模型进行分析,并通过有限元法研究了压电层PMN-PT厚度对PMUT的发射电压响应、接收灵敏度的影响。仿真结果表明,当压电层厚度为4.5μm(厚度为基底厚度的90%)时,换能器的发射电压响应级最大,达到191.6 dB,接收灵敏度级随厚度的增加基本呈线性上升趋势;当压电层厚度为5.1μm(厚度为基底厚度的102%)时,回路增益(损耗)最大,达到-64.50 dB。
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关键词
PMN-PT薄膜
PMUT
回路增益(损耗)
接收灵敏度
发射电压响应
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Keywords
Pb(Mg 1/3 Nb 2/3)O 3-PbTiO 3(PMN-PT)thin film
PMUT
loop gain(loss)
receiving sensitivity
transmitting voltage response
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分类号
TN384
[电子电信—物理电子学]
TB565.1
[交通运输工程—水声工程]
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