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提高四边形电极结构二维PSD线性度的研究 被引量:4
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作者 黄梅珍 林斌 +3 位作者 唐九耀 郑明学 陈钰清 曹向群 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期268-270,共3页
在对单表面分流四边形电极结构二维 PSD的非线性及失真进行理论分析的基础上 [1 ] ,从理论上计算得到了这种结构 PSD的位置修正因子 ,并提出了一种对这种结构 PSD的位置非线性进行修正的方法。初步实验取得了非常满意的结果 :经过修正... 在对单表面分流四边形电极结构二维 PSD的非线性及失真进行理论分析的基础上 [1 ] ,从理论上计算得到了这种结构 PSD的位置修正因子 ,并提出了一种对这种结构 PSD的位置非线性进行修正的方法。初步实验取得了非常满意的结果 :经过修正后 ,在较大尺寸 (13mm× 13mm)器件上实现了 6 0 %光敏面范围内的位置非线性均方根误差 0 .15 % ,位置检测均方根误差从原来的±10 10μm减小到± 2 0μm。最大误差从± 15 0 0μm下降到± 5 0μm。由于进行了归一化处理 ,该方法适用于这种结构不同尺寸的 PSD,特别具有实用意义。 展开更多
关键词 四边形电极结构 PSD 位置测量误差 线性度 修正因子 位置敏感探测器
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四边形电极结构PSD的特性测试与分析 被引量:3
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作者 郭福源 黄梅珍 陈钰清 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期342-344,共3页
根据单面分流四边形电极结构的正方形PSD的原理 ,测试并分析我们研制的 3mm×3mm正方形PSD的性能。给出反偏电压、光谱响应、暗电流、极间电容、极间阻抗、位置分辨率和位置线性特性等性能的测试结果。并在分析位置特性的非线性失... 根据单面分流四边形电极结构的正方形PSD的原理 ,测试并分析我们研制的 3mm×3mm正方形PSD的性能。给出反偏电压、光谱响应、暗电流、极间电容、极间阻抗、位置分辨率和位置线性特性等性能的测试结果。并在分析位置特性的非线性失真机理的基础上 ,给出位置特性非线性失真的修正方法。 展开更多
关键词 四边形电极结构 位置敏感探测器 性能测试 非线性失真 修正 PSD
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光探测与器件
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《中国光学》 EI CAS 2002年第5期76-77,共2页
TL816.5 2002053751不同阳极结构二维PSD的电流-位置输出特性=Current-position characteristics of two dimensionalposition sensitive detectors with different anodestructures[刊,中]/黄梅珍,林斌,唐九耀,陈钰清(浙江大学国家光... TL816.5 2002053751不同阳极结构二维PSD的电流-位置输出特性=Current-position characteristics of two dimensionalposition sensitive detectors with different anodestructures[刊,中]/黄梅珍,林斌,唐九耀,陈钰清(浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心.浙江,杭州(310027)),施隆照(福州大学电子科学与应用物理系. 展开更多
关键词 光探测 光电探测器 工作原理 工程技术研究中心 输出特性 四边形电极结构 阳极结构 微悬臂梁 光学仪器 应用物理
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光探测与器件
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《中国光学》 EI CAS 2001年第4期77-78,共2页
TN23 2001042775硅浅结紫外光探测器的研究=Research on silicon shallowjunction UV detectors[刊,中]/陈武,王勇,王水弟,单一林(清华大学微电子学研究所.北京(100084)),MikkoMatikkala(芬兰探测技术公司.芬兰)//半导体光电.-2000,21(3... TN23 2001042775硅浅结紫外光探测器的研究=Research on silicon shallowjunction UV detectors[刊,中]/陈武,王勇,王水弟,单一林(清华大学微电子学研究所.北京(100084)),MikkoMatikkala(芬兰探测技术公司.芬兰)//半导体光电.-2000,21(3).-203-205采用低能离子注入法在Si材料上制作了浅结构紫外光(UV)探测器,介绍了探测器的结构设计、工艺制作以及主要测量结果。实验证明。 展开更多
关键词 谐振腔增强型光探测器 半导体 紫外光探测器 器件 微电子学 结构设计 非线性 光电探测器 四边形电极结构 工艺制作
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