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四象限光电探测器用于二维小角度测量的研究
被引量：
8
1
作者
钱建强
惠梅
王东生
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第z2期538-539,544,共3页
介绍了利用高灵敏度四象限硅光电管作为探测器的二维小角度测量系统,详细分析了其测试原理及实验装置。测试系统利用半导体激光器做光源,采用了偏振分光器件,结构小巧,能量利用率高,具有较高的测量精度。为小角度测试技术的研究提出了...
介绍了利用高灵敏度四象限硅光电管作为探测器的二维小角度测量系统,详细分析了其测试原理及实验装置。测试系统利用半导体激光器做光源,采用了偏振分光器件,结构小巧,能量利用率高,具有较高的测量精度。为小角度测试技术的研究提出了一种新的方法。
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关键词
四象限硅光电探测器
半导体激光器
二维小角度测量
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职称材料
题名
四象限光电探测器用于二维小角度测量的研究
被引量：
8
1
作者
钱建强
惠梅
王东生
机构
清华大学精密仪器与机械学系
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第z2期538-539,544,共3页
文摘
介绍了利用高灵敏度四象限硅光电管作为探测器的二维小角度测量系统,详细分析了其测试原理及实验装置。测试系统利用半导体激光器做光源,采用了偏振分光器件,结构小巧,能量利用率高,具有较高的测量精度。为小角度测试技术的研究提出了一种新的方法。
关键词
四象限硅光电探测器
半导体激光器
二维小角度测量
Keywords
Quadrant Si-photoelectric detectors Semiconductor laser Dual axis small angle measurement
分类号
TP2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
四象限光电探测器用于二维小角度测量的研究
钱建强
惠梅
王东生
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
8
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