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在片电容测量系统溯源及测量方法研究
被引量:
2
1
作者
丁晨
乔玉娥
+2 位作者
刘岩
翟玉卫
吴爱华
《计量学报》
CSCD
北大核心
2023年第11期1735-1739,共5页
针对在片电容参数溯源及测量不准确问题,提出一种溯源及测量方法,通过在片形式的直通线将测量结果与成熟的四端对标准电容器的量值联系起来,实现了在片电容参数的溯源。通过定量研究干扰回路对测量结果的影响,对探针系统及测量线缆的影...
针对在片电容参数溯源及测量不准确问题,提出一种溯源及测量方法,通过在片形式的直通线将测量结果与成熟的四端对标准电容器的量值联系起来,实现了在片电容参数的溯源。通过定量研究干扰回路对测量结果的影响,对探针系统及测量线缆的影响进行修正,准确测量在片电容值,使得测量数据的准确性可验证,计量级在片电容测量系统测量准确度提高0.08%。
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关键词
计量学
在片
电容
参数
在片直通线
四端对标准电容器
干扰回路
溯源
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职称材料
题名
在片电容测量系统溯源及测量方法研究
被引量:
2
1
作者
丁晨
乔玉娥
刘岩
翟玉卫
吴爱华
机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2023年第11期1735-1739,共5页
文摘
针对在片电容参数溯源及测量不准确问题,提出一种溯源及测量方法,通过在片形式的直通线将测量结果与成熟的四端对标准电容器的量值联系起来,实现了在片电容参数的溯源。通过定量研究干扰回路对测量结果的影响,对探针系统及测量线缆的影响进行修正,准确测量在片电容值,使得测量数据的准确性可验证,计量级在片电容测量系统测量准确度提高0.08%。
关键词
计量学
在片
电容
参数
在片直通线
四端对标准电容器
干扰回路
溯源
Keywords
metrology
on-wafer capacitance
on chip straight line
four-terminal par capacitor
interference loop
traceability
分类号
TB973 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
在片电容测量系统溯源及测量方法研究
丁晨
乔玉娥
刘岩
翟玉卫
吴爱华
《计量学报》
CSCD
北大核心
2023
2
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