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基于四相检测技术的微电容传感器 被引量:23
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作者 杨三序 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第10期13-15,共3页
一种基于四相检测技术的电荷转移式微电容传感器,具有很强的消除杂散电容影响的能力,适用于被检测对象电容值小于1pF的场合,分辨力达1fF,灵敏度高于1V/pF,并能输出4~20mA的电流。其优良的性能和低廉的价格,使得微电容传感器的广泛推广... 一种基于四相检测技术的电荷转移式微电容传感器,具有很强的消除杂散电容影响的能力,适用于被检测对象电容值小于1pF的场合,分辨力达1fF,灵敏度高于1V/pF,并能输出4~20mA的电流。其优良的性能和低廉的价格,使得微电容传感器的广泛推广应用成为可能。 展开更多
关键词 四相检测技术 微电容传感器 杂散电容 线路结构
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