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三明治结构微机械静电伺服加速度计稳定性研究
被引量：
1
1
作者
陈宇晓
文贵印
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
2003年第1期53-57,共5页
对影响微加速度计稳定性的主要因素(外置偏压和横向加速度干扰)进行了详细分析,给出了最小临界偏压和最大可承受横向加速度的计算公式,提出一种具有良好稳定性的四梁中心悬臂式结构。根据Matlab仿真结果,在大量程微加速度计典型结构参数...
对影响微加速度计稳定性的主要因素(外置偏压和横向加速度干扰)进行了详细分析,给出了最小临界偏压和最大可承受横向加速度的计算公式,提出一种具有良好稳定性的四梁中心悬臂式结构。根据Matlab仿真结果,在大量程微加速度计典型结构参数下,惯性敏感单元可承受的最大横向加速度达2 000g以上,远远满足实际需求。
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关键词
三明治
结构
微机械
静电伺服加速度计
稳定性
微机械加速度计
四梁中心悬臂式结构
吸附效应
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职称材料
题名
三明治结构微机械静电伺服加速度计稳定性研究
被引量：
1
1
作者
陈宇晓
文贵印
机构
中国工程物理研究院电子工程研究所
出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
2003年第1期53-57,共5页
基金
国防科技"九五"重点预研课题
文摘
对影响微加速度计稳定性的主要因素(外置偏压和横向加速度干扰)进行了详细分析,给出了最小临界偏压和最大可承受横向加速度的计算公式,提出一种具有良好稳定性的四梁中心悬臂式结构。根据Matlab仿真结果,在大量程微加速度计典型结构参数下,惯性敏感单元可承受的最大横向加速度达2 000g以上,远远满足实际需求。
关键词
三明治
结构
微机械
静电伺服加速度计
稳定性
微机械加速度计
四梁中心悬臂式结构
吸附效应
Keywords
micromachined accelerometer
stability
four-beam cantilever-centered structure
sorption
分类号
TH824.4 [机械工程—精密仪器及机械]
U666.122 [交通运输工程—船舶及航道工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
三明治结构微机械静电伺服加速度计稳定性研究
陈宇晓
文贵印
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
2003
1
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