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基于静态膨胀法的极小漏率校准方法研究
被引量：
2
1
作者
杨长青
李得天
+3 位作者
成永军
冯焱
赵澜
习振华
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第12期1380-1385,共6页
提出了一种基于静态膨胀法的极小漏率校准方法。该方法通过测量被校漏率离子流上升率及四极质谱计校准系数实现校准。实验发现,10-10Pa·m3/s量级极小漏率的离子流上升率重复性良好;采用混合气体二级膨胀能有效降低复杂膨胀过程对...
提出了一种基于静态膨胀法的极小漏率校准方法。该方法通过测量被校漏率离子流上升率及四极质谱计校准系数实现校准。实验发现,10-10Pa·m3/s量级极小漏率的离子流上升率重复性良好;采用混合气体二级膨胀能有效降低复杂膨胀过程对四极质谱计校准系数重复性引入的测量不确定度。通过对一支10-10Pa·m3/s真空漏孔的校准实验,证明基于静态膨胀法的极小漏率校准方法有效可行。当进一步减小校准室容积时,该方法能够实现10-13Pa·m3/s量级极小漏率的校准。
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关键词
极
小漏率
静态膨胀法
离子流上升率
四极质谱计校准系数
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职称材料
题名
基于静态膨胀法的极小漏率校准方法研究
被引量：
2
1
作者
杨长青
李得天
成永军
冯焱
赵澜
习振华
机构
兰州空间技术物理研究所真空低温技术与物理重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第12期1380-1385,共6页
基金
国家杰出青年科学基金项目(No.61125101)
国家自然科学基金项目(No.61471184)
中国空间技术研究院CAST创新基金项目
文摘
提出了一种基于静态膨胀法的极小漏率校准方法。该方法通过测量被校漏率离子流上升率及四极质谱计校准系数实现校准。实验发现,10-10Pa·m3/s量级极小漏率的离子流上升率重复性良好;采用混合气体二级膨胀能有效降低复杂膨胀过程对四极质谱计校准系数重复性引入的测量不确定度。通过对一支10-10Pa·m3/s真空漏孔的校准实验,证明基于静态膨胀法的极小漏率校准方法有效可行。当进一步减小校准室容积时,该方法能够实现10-13Pa·m3/s量级极小漏率的校准。
关键词
极
小漏率
静态膨胀法
离子流上升率
四极质谱计校准系数
Keywords
Extremely low leak rate, Static expansion technique, Rise rate of ion current, Calibration coefficient ofquadrapole mass spectrometer
分类号
V19 [航空宇航科学与技术—人机与环境工程]
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职称材料
题名
作者
出处
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1
基于静态膨胀法的极小漏率校准方法研究
杨长青
李得天
成永军
冯焱
赵澜
习振华
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
2
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