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四分压电陶瓷管低频振荡现象的发现和探讨
被引量：
3
1
作者
刘秀梅
王佳
+1 位作者
丁琳
李达成
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1998年第2期130-134,共5页
利用光纤测振干涉仪实现了对近场光学显微镜中四分压电陶瓷管的扫描参数的测量。在测量过程中发现，陶瓷管对驱动阶梯波每个台阶的响应出现了几个周期的准衰减振荡信号，其频率远低于公认的最低谐振频率。压电陶瓷管的这种低频振荡将带...
利用光纤测振干涉仪实现了对近场光学显微镜中四分压电陶瓷管的扫描参数的测量。在测量过程中发现，陶瓷管对驱动阶梯波每个台阶的响应出现了几个周期的准衰减振荡信号，其频率远低于公认的最低谐振频率。压电陶瓷管的这种低频振荡将带动探针一起振动，从而使所得图像的质量降低，并大大限制了图像扫描的速度。研究结果表明，该振动是压电陶瓷管自身所固有的，而在以前的扫描探针技术研究中并没有得到重视。因此减小振荡的影响将是获得高分辨率图像的关键问题之一。
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关键词
四分压电陶瓷管
陶瓷管
压电
器件
SNOM
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职称材料
题名
四分压电陶瓷管低频振荡现象的发现和探讨
被引量：
3
1
作者
刘秀梅
王佳
丁琳
李达成
机构
清华大学精密仪器系精密测试与仪器国家重点实验室
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1998年第2期130-134,共5页
基金
国家自然科学基金
文摘
利用光纤测振干涉仪实现了对近场光学显微镜中四分压电陶瓷管的扫描参数的测量。在测量过程中发现，陶瓷管对驱动阶梯波每个台阶的响应出现了几个周期的准衰减振荡信号，其频率远低于公认的最低谐振频率。压电陶瓷管的这种低频振荡将带动探针一起振动，从而使所得图像的质量降低，并大大限制了图像扫描的速度。研究结果表明，该振动是压电陶瓷管自身所固有的，而在以前的扫描探针技术研究中并没有得到重视。因此减小振荡的影响将是获得高分辨率图像的关键问题之一。
关键词
四分压电陶瓷管
陶瓷管
压电
器件
SNOM
Keywords
scanning near field optical microscope,four segment piezo tube, jump back
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
四分压电陶瓷管低频振荡现象的发现和探讨
刘秀梅
王佳
丁琳
李达成
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1998
3
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