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基于洛伦兹力的MEMS磁传感器的研究进展
被引量：
2
1
作者
张云琦
张景波
+4 位作者
邢春香
孙晓冰
胡大强
殷景志
陈信琦
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2017年第11期1-5,24,共6页
文中对制作MEMS磁传感器过程中涉及的主要设计参数、器件的制备工艺进行了介绍,综述了基于洛伦兹力的各种结构MEMS磁传感器的灵敏度、品质因子、噪声和探测极限等特性,并对其未来发展进行了展望。
关键词
MEMS磁传感器
器件设计与制作
灵敏度
探测极限
洛伦兹力
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职称材料
题名
基于洛伦兹力的MEMS磁传感器的研究进展
被引量：
2
1
作者
张云琦
张景波
邢春香
孙晓冰
胡大强
殷景志
陈信琦
机构
长春理工大学光电信息学院
集成光电子学国家重点实验室
中国电子科技集团公司第四十九研究所
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2017年第11期1-5,24,共6页
文摘
文中对制作MEMS磁传感器过程中涉及的主要设计参数、器件的制备工艺进行了介绍,综述了基于洛伦兹力的各种结构MEMS磁传感器的灵敏度、品质因子、噪声和探测极限等特性,并对其未来发展进行了展望。
关键词
MEMS磁传感器
器件设计与制作
灵敏度
探测极限
洛伦兹力
Keywords
MEMS magnetic sensor
design and preparation process of the device
sensitivity
detection limit
Lorentz
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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1
基于洛伦兹力的MEMS磁传感器的研究进展
张云琦
张景波
邢春香
孙晓冰
胡大强
殷景志
陈信琦
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2017
2
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