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原子级表面加工和nm级器件制造中STM的应用
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作者 董树忠 朱福荣 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1990年第6期379-385,共7页
本文评述了用扫描隧道电子显傲镜(STM)进行nm级表面加工的方法,现状和应用展望。用STM进行表面微细加工的方法主要有两类:一类是在STM的针尖上加电压脉冲,使针尖下的表面形成点、线或规定的图形符号;另一类是通过STM的电子束引起适当的... 本文评述了用扫描隧道电子显傲镜(STM)进行nm级表面加工的方法,现状和应用展望。用STM进行表面微细加工的方法主要有两类:一类是在STM的针尖上加电压脉冲,使针尖下的表面形成点、线或规定的图形符号;另一类是通过STM的电子束引起适当的化学反应,在针尖下的表面上淀积金属点、线。近年来已用第一类方法在Si(110)和Si(001)表面上直接写入了点的阵列,其写入密度在STM的扫描面积10×10μm^2上超过10~6。利用有机金属化合物气体在STM的针尖和表面间分解,在Si表面上淀积的金属点、线,相应的直径和线宽约25nm。将STM与固体器件工艺技术结合,已制得尺寸长2μm、宽120nm的Au-Pd合金薄膜电阻,其室温电阻值为2.5K。STM在上述领域中的应用是:修补或制造集成电路的掩模或电路;开发高密度数据存贮器;进一步缩小现有器件的尺寸,提高器件集成度;以及设计和制造以量子尺寸效应为作用基础的新器件。 展开更多
关键词 原子级 STM NM 表面加工 量子尺寸效应 有机金属化合物 器件制造 器件工艺 直接写入 薄膜电阻
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印刷电子材料与器件专题前言
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作者 吴伟 《数字印刷》 CAS 北大核心 2021年第3期14-15,共2页
印刷电子是当前得到快速发展的新兴领域,主要通过各种传统印刷技术为大面积、柔性、透明、轻质、环保和低成本的电子产品开辟器件制造的新范式[1-3]。印刷电子领域关注的主题,涵盖从可印刷功能材料、器件物理、印刷制造工艺到实际电子... 印刷电子是当前得到快速发展的新兴领域,主要通过各种传统印刷技术为大面积、柔性、透明、轻质、环保和低成本的电子产品开辟器件制造的新范式[1-3]。印刷电子领域关注的主题,涵盖从可印刷功能材料、器件物理、印刷制造工艺到实际电子器件应用。 展开更多
关键词 电子产品 器件制造 印刷电子 传统印刷 新兴领域 低成本 新范式
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是德科技晶圆级解决方案平台完美集成低频噪声测量 全新的先进低频噪声分析仪提供独特的晶圆器件噪声测量和建模功能
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《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2016年第7期999-999,共1页
是德科技公司(NYSE:KEYS)宣布推出最新款的高性能先进低频噪声分析仪(A-LFNA),旨在实施快速、准确、可重复的低频噪声测量。该版本配备全新用户界面,并与是德科技的Wafer Pro Express软件紧密集成——这是一款对半导体器件执行自... 是德科技公司(NYSE:KEYS)宣布推出最新款的高性能先进低频噪声分析仪(A-LFNA),旨在实施快速、准确、可重复的低频噪声测量。该版本配备全新用户界面,并与是德科技的Wafer Pro Express软件紧密集成——这是一款对半导体器件执行自动化晶圆级测量的平台。作为这一大框架的组成部分, 展开更多
关键词 晶圆级 低频噪声 噪声测量 建模功能 半导体器件 用户界面 器件模型 测试套件 WAFER 器件制造
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摩尔定律的思想潜力和极限 被引量:5
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作者 马群刚 杨建飞 +1 位作者 李跃进 杨银堂 《中国软科学》 CSSCI 北大核心 2002年第9期70-76,共7页
集成电路是电子信息产业的核心,在其发展过程中,摩尔定律起到了预言和导向的作用,所以,摩尔定律的思想潜力和应用极限不仅关系到信息产业的前景,也关系到目前人类技术思想的前沿趋向和社会经济形态的进化与转型。本文结合科学方法论关... 集成电路是电子信息产业的核心,在其发展过程中,摩尔定律起到了预言和导向的作用,所以,摩尔定律的思想潜力和应用极限不仅关系到信息产业的前景,也关系到目前人类技术思想的前沿趋向和社会经济形态的进化与转型。本文结合科学方法论关于在两极中保持张力的准则,分别阐述并预测了摩尔定律在电脑、语言辨识、光纤设备和光器件中的应用以及促使摩尔定律达到极限的几个技术思想方面的问题。 展开更多
关键词 摩尔定律 集成电路 信息产业 极限 应用价值 器件设计制造 光纤设备
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是德科技推出PXIe多端口矢量网络分析仪
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《电子测量技术》 2015年第11期154-154,共1页
新型分析仪可为无线元器件制造商降低测试成本2015年10月20日,北京——是德科技公司(NYSE:KEYS)日前推出PXIe多端口矢量网络分析仪M9485A VNA,专为手机和基站中使用的无线元器件大批量制造而设计,例如前端模块、开关和滤波器。真正... 新型分析仪可为无线元器件制造商降低测试成本2015年10月20日,北京——是德科技公司(NYSE:KEYS)日前推出PXIe多端口矢量网络分析仪M9485A VNA,专为手机和基站中使用的无线元器件大批量制造而设计,例如前端模块、开关和滤波器。真正的多端口体系结构提供一流的测量速度,比同类产品快30%,并能保持高动态范围。 展开更多
关键词 矢量网络分析仪 PXIe 高动态范围 前端模块 批量制造 器件制造 端口数 测量速度 测试成本 体系结构
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Fluorinated polymer with high thermal stability for fabrication of 32-channel arrayed waveguide grating multiplexer on silicon
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作者 王菲 李艾泽 +4 位作者 孙伟 衣茂斌 姜振华 刘式墉 张大明 《Journal of Central South University of Technology》 EI 2005年第4期366-369,共4页
A cross-linkable fluorinated poly (ether ether ketone) (FPEEK) was synthesized for the fabrication of arrayed waveguide grating (AWG) multiplexer. The results of thermal gravimetric analysis (TGA) and near-infrared ab... A cross-linkable fluorinated poly (ether ether ketone) (FPEEK) was synthesized for the fabrication of arrayed waveguide grating (AWG) multiplexer. The results of thermal gravimetric analysis (TGA) and near-infrared absorption spectrum show that the materials have high thermal stability and high optical transparency in the infrared communication region. The refractive index of FPEEK can be controlled easily by changing the fluorine content of the materials. The 32-channel AWG multiplexer is fabricated using the FPEEK and oxygen reactive ion etching technology. The AWG multiplexer exhibits that the insertion loss is from 12.8 to 17.8 dB and the channel crosstalk is less than-20 dB. The wavelength channel spacing and the center wavelength are 0.8nm and 1548nm, respectively. 展开更多
关键词 wavelength division multiplexing arrayed waveguide grating fluorinated polymer poly (ether ether ketone)
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