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离散周期Wigner-Hough变换及其检测性能分析 被引量:5
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作者 王泽众 刘锋 +1 位作者 黄宇 向崇文 《电讯技术》 北大核心 2012年第9期1452-1458,共7页
分析了周期Wigner-Hough变换(PWHT)进行离散化计算时,对线性调频连续波(LFMCW)信号的检测性能。通过推导高斯白噪声中LFMCW信号经离散化PWHT后信噪比处理增益表达式,分析了离散PWHT的弱信号检测性能。通过推导离散PWHT较离散Wigner-Houg... 分析了周期Wigner-Hough变换(PWHT)进行离散化计算时,对线性调频连续波(LFMCW)信号的检测性能。通过推导高斯白噪声中LFMCW信号经离散化PWHT后信噪比处理增益表达式,分析了离散PWHT的弱信号检测性能。通过推导离散PWHT较离散Wigner-Hough变换(WHT)的检测性能优势表达式,比较了离散PWHT与离散WHT算法的检测性能。仿真实验验证了离散PWHT的信噪比处理增益具有准相干积累的效果,PWHT较WHT更优的检测性能。 展开更多
关键词 时频分析 周期wigner-hough变换 LFMCW 检测性能分析
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基于预估-校正算法的分数阶Boost变换器倍周期分岔研究 被引量:2
2
作者 谢玲玲 杨雨晴 +1 位作者 姚浚义 秦龙 《电源学报》 CSCD 北大核心 2024年第2期10-18,共9页
基于电感电容本质是分数阶的事实,对分数阶Boost变换器的非线性动力学特性进行了深入研究。采用分数阶微积分的预估-校正算法,建立了Boost变换器的预估-校正模型,在此基础上得到了以参考电流、输入电压以及电容电感阶数为分岔参数的分岔... 基于电感电容本质是分数阶的事实,对分数阶Boost变换器的非线性动力学特性进行了深入研究。采用分数阶微积分的预估-校正算法,建立了Boost变换器的预估-校正模型,在此基础上得到了以参考电流、输入电压以及电容电感阶数为分岔参数的分岔图,研究了变换器的倍周期分岔和混沌行为,同时与整数阶Boost变换器的非线性动力学行为进行了比较。研究结果表明,在一定的工作条件下,随着变换器某些电路参数的变化,分数阶Boost变换器会出现分岔和混沌等非线性现象;在相同电路参数的条件下,整数阶和分数阶变换器的稳定参数域之间存在差异,与整数阶变换器相比,分数阶变换器的参数稳定区域更小,更真实地反映了Boost变换器的非线性动力学特性。 展开更多
关键词 分数阶 BOOST变换 混沌 预估-校正算法 周期分岔
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基于长周期暂态信号分析的电机驱动变换器直流母线电容在线状态监测
3
作者 王要强 李锐 +3 位作者 陈天锦 聂福全 赖锦木 梁军 《电力系统保护与控制》 EI CSCD 北大核心 2024年第16期120-131,共12页
直流母线电容作为电机驱动变换器中最薄弱的元件之一,其老化会导致系统故障的概率增大,因此对电容老化进行在线监测至关重要。针对现有监测方法存在经济性差、采样频率高、影响系统正常运行等问题,提出一种基于长周期暂态信号分析的电... 直流母线电容作为电机驱动变换器中最薄弱的元件之一,其老化会导致系统故障的概率增大,因此对电容老化进行在线监测至关重要。针对现有监测方法存在经济性差、采样频率高、影响系统正常运行等问题,提出一种基于长周期暂态信号分析的电容在线监测方法,用于估计电机驱动变换器直流母线等值串联电容(equivalent series capacitance,ESC)。首先,根据系统负载切换过程建立共节点感-容等值暂态模型,分析长周期暂态信号特点。其次,推导基于长周期暂态信号的在线监测模型,确定监测程序启动判定条件。然后,提出一种基于多项式重构的电容电流基线校准方法,消除传感器零漂影响,提高监测精度。最后,仿真和实验表明所提出方法的监测精度满足电容监测的要求。 展开更多
关键词 电机驱动变换 电容器老化 等值串联电容 在线监测 周期暂态信号
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谐波微弱信号特征的方差曲线周期识别法
4
作者 薛强 田瑞兰 +1 位作者 李海萍 关淮桐 《振动.测试与诊断》 北大核心 2025年第1期51-56,199,共7页
针对随机因素和微弱信号初相位影响的问题,构造了强噪声背景下检测谐波微弱信号频率、相位的方差曲线周期识别法。首先,基于随机Melnikov函数和系统关于相位分岔图的周期特性,初步提出周期识别法;其次,论证分岔图和方差曲线具有一致性,... 针对随机因素和微弱信号初相位影响的问题,构造了强噪声背景下检测谐波微弱信号频率、相位的方差曲线周期识别法。首先,基于随机Melnikov函数和系统关于相位分岔图的周期特性,初步提出周期识别法;其次,论证分岔图和方差曲线具有一致性,进一步将周期识别法优化为方差曲线周期识别法;然后,基于频谱泄露最小原则,设计自适应离散傅里叶变换数据处理方法来解决由方差曲线不光滑而引起的结果不准确问题;最后,采用二次检测来解决检测系统中策动力信号与被测信号存在频差而导致动力学转迁的不明显问题。仿真结果表明,该方法不受被测信号初相位影响,可识别淹没在强噪声中的微弱信号,被识别信号的信噪比可低达-74.96 dB。列车轴箱轴承故障实验中获得的方差曲线周期现象清晰,也表明了该方法的工程实用性。 展开更多
关键词 轴承 故障诊断 信号处理 DUFFING系统 方差曲线周期 自适应离散傅里叶变换
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多分辨率趋势周期解耦交互的交通流预测
5
作者 侯越 王甜甜 +1 位作者 张鑫 尹杰 《浙江大学学报(工学版)》 北大核心 2025年第7期1362-1372,共11页
针对现实路网交通流时序特性转移、趋势周期特征提取不充分的问题,提出多分辨率趋势周期解耦交互的交通流预测模型.时域解耦模块将时序数据解耦为多分辨率趋势、波动分量,使趋势特性不随波动特性变化而变化,解决交通流时间特性转移问题... 针对现实路网交通流时序特性转移、趋势周期特征提取不充分的问题,提出多分辨率趋势周期解耦交互的交通流预测模型.时域解耦模块将时序数据解耦为多分辨率趋势、波动分量,使趋势特性不随波动特性变化而变化,解决交通流时间特性转移问题.多分辨率趋势周期交互模块利用趋势奇偶下采样的方式融合显著性周期特征,完成与奇偶原序列间的交互.时频波动特征提取模块结合多分辨率因果卷积实现波动分量瞬时变化的有效捕捉,频域重构模块以逆离散小波变换的方式实现频时域转换下的交通流预测任务.在交通数据集PeMSD4和PeMSD8中开展的模型性能对比实验结果表明,相较于下采样卷积交互模型,所提模型的平均绝对误差、均方根误差及平均绝对百分误差分别降低了26.21%、30.49%,25.97%、32.51%,8.00%、25.49%,所提模型的性能更优. 展开更多
关键词 交通流预测 多分辨率 趋势特性 周期特性 小波变换
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使用快速傅里叶变换优化周期参数的EMD-FFT-SARIMA光伏发电预测模型 被引量:2
6
作者 熊川羽 廖晓红 +5 位作者 何诗英 陈然 王巍 臧楠 王瀛 肖梦涵 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2024年第8期117-123,共7页
根据分布式能源工业园区的光伏电力单元特点,对园区光伏发电功率预测模型进行优化,为后续的调度策略提供数据支持。针对经验模式分解(EMD)与季节性差分自回归移动平均模型(SARIMA)相组合的EMD-SARIMA预测模型中,原始数据经过EMD分解得... 根据分布式能源工业园区的光伏电力单元特点,对园区光伏发电功率预测模型进行优化,为后续的调度策略提供数据支持。针对经验模式分解(EMD)与季节性差分自回归移动平均模型(SARIMA)相组合的EMD-SARIMA预测模型中,原始数据经过EMD分解得到的各固有本征模态函数(IMF)分量周期计算问题,提出加入快速傅里叶变换(FFT)的周期计算方法,建立EMD-FFT-SARIMA光伏发电功率预测模型。再将每个IMF对应的预测结果进行叠加重构得到最终的预测结果。通过预测结果的误差计算可以发现,加入FFT环节后均方根误差(RMSE)从120.6 MW下降到19.3 MW,平均绝对误差(MAE)从52.87 MW下降到12.3 MW。 展开更多
关键词 经验模式分解 季节性差分自回归移动平均模型 周期计算 固有本征模态函数信号分量 快速傅里叶变换 光伏发电预测
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基于快速凸集投影与周期正弦延迟时间编码的混源数据分离方法
7
作者 杨熙熙 张华 +3 位作者 付立恒 武召祺 程铁洪 蔡冻 《石油地球物理勘探》 北大核心 2025年第4期923-936,共14页
地震勘探中传统的地震数据采集方式是炮与炮之间分开激发,施工效率较低,而多震源混采技术通过多炮同时或延时激发,大幅度提高了施工效率。为了对多震源混采地震数据进行常规的数据处理,必须先将混合数据分离成单震源数据,传统的数据分... 地震勘探中传统的地震数据采集方式是炮与炮之间分开激发,施工效率较低,而多震源混采技术通过多炮同时或延时激发,大幅度提高了施工效率。为了对多震源混采地震数据进行常规的数据处理,必须先将混合数据分离成单震源数据,传统的数据分离方法普遍存在效率偏低的问题。文中在稀疏反演分离方法的基础上,通过在常规凸集投影算法(POCS)中加入惯性参数,得到了快速凸集投影算法(FPOCS),同时,针对随机时间延迟编码造成局部连续混叠噪声导致分离精度下降的情况,提出了一种周期正弦变化的时间延迟编码方法。该方法在迭代过程中以曲波变换为稀疏基,使用软阈值函数作为阈值模型,指数阈值公式作为阈值更新公式,使来自其他震源的混叠干扰变得更加离散,混叠噪声也会在一定延迟时间内均匀分布,从而降低分离多震源数据的难度。理论和实测数据的处理结果均表明,两种方法不但大幅提高了收敛速度,还有效提高了多震源数据的分离精度,且具有良好的抗噪性能。 展开更多
关键词 多震源混合采集 曲波变换 快速凸集投影算法 周期时间延迟编码
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基于Wigner-Hough变换的LFM信号检测性能分析 被引量:34
8
作者 刘建成 王雪松 +2 位作者 刘忠 肖顺平 王国玉 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期1212-1216,F0003,共6页
根据Wigner-Hough变换思想和广义似然比检验理论,分析了双门限情况下线性调频信号的检测性能,给出了虚警概率和检测概率的数学表达式,该表达式是Hough变换的积累单元数和检测门限的函数,然后对概率密度函数进行了合理近似,并给出了Houg... 根据Wigner-Hough变换思想和广义似然比检验理论,分析了双门限情况下线性调频信号的检测性能,给出了虚警概率和检测概率的数学表达式,该表达式是Hough变换的积累单元数和检测门限的函数,然后对概率密度函数进行了合理近似,并给出了Hough变换的积累单元数计算公式,最后的计算机仿真比较了傅立叶变换和Wigner-Hough变换的LFM(Linear Frequency Modulated)信号检测性能和基于Wigner-Hough变换的不同目标起伏类型的LFM信号检测性能. 展开更多
关键词 线性调频信号 检测性能 wigner-hough变换
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基于Wigner-Hough变换的径向加速度估计 被引量:34
9
作者 刘建成 王雪松 +1 位作者 肖顺平 王国玉 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期2235-2238,共4页
雷达-目标径向加速度是表征雷达和目标相对运动关系重要特征,可用于机动目标跟踪、目标识别等,因此研究直接从雷达回波估计径向加速度很有必要.本文给出了基于Wigner-Hough变换的径向加速度估计算法和算法实现流程,并分析了接收回波信... 雷达-目标径向加速度是表征雷达和目标相对运动关系重要特征,可用于机动目标跟踪、目标识别等,因此研究直接从雷达回波估计径向加速度很有必要.本文给出了基于Wigner-Hough变换的径向加速度估计算法和算法实现流程,并分析了接收回波信号时长对加速度最小可分辨单元的影响,最后进行了仿真试验,仿真结果证实了该算法的有效性. 展开更多
关键词 径向加速度 雷达回波 wigner-hough变换 估计
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基于改进Wigner-Hough变换的多分量LFM信号特征提取 被引量:17
10
作者 刘锋 孙大鹏 +2 位作者 黄宇 陶然 王越 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期914-917,共4页
为了解决Wigner-Hough变换对多分量线性调频(LFM)信号特征提取受噪声困扰的问题,提出采用数字图像处理中改进的Sobel算子对含噪声信号的WVD时频图进行边缘特征检测,利用Hough变换对信号特征进行提取.通过对WHT,SPWD-Hough变换以及改进WH... 为了解决Wigner-Hough变换对多分量线性调频(LFM)信号特征提取受噪声困扰的问题,提出采用数字图像处理中改进的Sobel算子对含噪声信号的WVD时频图进行边缘特征检测,利用Hough变换对信号特征进行提取.通过对WHT,SPWD-Hough变换以及改进WHT 3种方法进行计算机仿真比较结果表明,改进的WHT对多分量LFM信号的特征提取效果最好. 展开更多
关键词 SOBEL算子 wigner-hough变换 多分量LFM信号 特征提取
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Wigner-Hough变换在水下目标信号检测中的应用 被引量:8
11
作者 李钢虎 李亚安 +1 位作者 王军 崔海英 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期121-125,共5页
研究利用Wigner-Hough变换对水下目标信号的检测问题。当信号的时频分布具有线条成分时,可以显著提高检测信噪比,同时对多分量信号时频分布的交叉项具有明显的抑制作用。仿真结果表明:对于多分量线性调频信号,当信噪比为-5 dB时;对于单... 研究利用Wigner-Hough变换对水下目标信号的检测问题。当信号的时频分布具有线条成分时,可以显著提高检测信噪比,同时对多分量信号时频分布的交叉项具有明显的抑制作用。仿真结果表明:对于多分量线性调频信号,当信噪比为-5 dB时;对于单分量信号,当信噪比为-7dB时,Wigner-Hough变换仍然具有很好的检测性能。将它应用于实际的湖试水声信号,仍然具有较好的检测结果。 展开更多
关键词 信息处理技术 时频分析 wigner-hough变换 水声 信号检测
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基于Wigner-Hough变换的栓接电缆接头松动故障检测 被引量:4
12
作者 陈艳君 王智勇 +3 位作者 郭凤仪 王贺 郑志强 刘艳丽 《计算机工程》 CAS CSCD 北大核心 2016年第8期294-299,304,共7页
检测供配电线路栓接电缆接头松动故障对于预防电气火灾具有重要意义。为此,提出一种基于WignerHough变换(WHT)的松动故障检测方法。利用Wigner-Ville分布对接触电流进行变换,使其具有时频联合特征。通过Hough变换提取时频分布中的特征信... 检测供配电线路栓接电缆接头松动故障对于预防电气火灾具有重要意义。为此,提出一种基于WignerHough变换(WHT)的松动故障检测方法。利用Wigner-Ville分布对接触电流进行变换,使其具有时频联合特征。通过Hough变换提取时频分布中的特征信息,并求取变换峰值及峰值变化率区间长度。根据不同实验条件下WHT峰值存在明显差异的特点识别松动故障,同时利用峰值变化率区间长度表征松动程度。实验结果表明,该方法能够有效检测配电线路电缆接头松动故障。 展开更多
关键词 松动故障 WIGNER-VILLE分布 时频分布 HOUGH变换 wigner-hough变换 峰值变化率
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基于Wigner-Hough变换的线性调频信号检测性能 被引量:10
13
作者 刘建成 周杰 王国玉 《信号处理》 CSCD 北大核心 2005年第z1期546-549,共4页
根据Wigner-Hough变换思想和检测理论,分析了线性调频信号的检测性能,给出了虚警概率和检测概率的数学表达式,该表达式是Hough变换的积累单元数和检测门限的函数,然后对概率密度函数进行了合理近似,并给出了Hough变换的积累单元数计算公... 根据Wigner-Hough变换思想和检测理论,分析了线性调频信号的检测性能,给出了虚警概率和检测概率的数学表达式,该表达式是Hough变换的积累单元数和检测门限的函数,然后对概率密度函数进行了合理近似,并给出了Hough变换的积累单元数计算公式,最后仿真分析了基于Wigner-Hough变换对线性调频信号相干积累相对于傅立叶变换的优越性. 展开更多
关键词 线性调频信号 检测性能 wigner-hough变换
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基于Wigner-Hough变换的横向速度估计 被引量:6
14
作者 柏业超 张兴敢 唐岚 《南京大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期366-371,共6页
运动速度是表征目标特性的重要参数,可用于动目标跟踪、目标识别等.现有的速度估计算法多是针对径向运动速度.针对横向速度估计方法研究较少的现状,分析了横向运动目标回波的时频特性,得出了在时频平面回波多普勒频率随时间近似线性变... 运动速度是表征目标特性的重要参数,可用于动目标跟踪、目标识别等.现有的速度估计算法多是针对径向运动速度.针对横向速度估计方法研究较少的现状,分析了横向运动目标回波的时频特性,得出了在时频平面回波多普勒频率随时间近似线性变化的结论,推导出横向运动速度与多普勒频率对时间变化的斜率的关系,提出了一种基于Wigner-Hough变换的横向速度估计方法.首先利用Wigner分布将回波信号变换至时频平面,再利用Hough变换在时频平面估计出多普勒频率随时间的变化斜率,进而计算出目标的横向运动速度.仿真结果证明了本方法的有效性.通过与轨道拟合法、相位差分法的仿真比较表明,本方法在有噪声以及径向加速度干扰的情况下都能较精确地估计出目标横向运动速度,估计精度优于其它算法,鲁棒性强. 展开更多
关键词 横向运动 多普勒效应 速度估计 wigner-hough变换
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数字图像的两类非线性变换及其周期性 被引量:24
15
作者 王道顺 杨地莲 齐东旭 《计算机辅助设计与图形学学报》 EI CSCD 北大核心 2001年第9期828-833,共6页
研究了 Fibonacci- Q变换及其逆变换的周期性 ,并证明了 Fibonacci变换周期与 Arnold变换周期的关系式 .利用 Fibonacci- Q变换与 Arnold变换之间的内在关系 ,定义了一种新的非线性变换—— A- F变换 ,同时对其变换周期及其逆变换周期... 研究了 Fibonacci- Q变换及其逆变换的周期性 ,并证明了 Fibonacci变换周期与 Arnold变换周期的关系式 .利用 Fibonacci- Q变换与 Arnold变换之间的内在关系 ,定义了一种新的非线性变换—— A- F变换 ,同时对其变换周期及其逆变换周期进行了研究 ;也给出了这两类变换周期的简洁算法 .由于 A- F变换和 Fibonacci- Q变换与Arnold变换的周期性大相径庭 。 展开更多
关键词 图像变换 非线性变换 周期 计算机图形学 数字图像
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断续导电模式Buck变换器双脉冲跨周期调制技术 被引量:11
16
作者 马正华 夏建锋 +1 位作者 包伯成 沙金 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2013年第12期24-31,182,共8页
提出一种新的控制开关功率变换器的调制技术:双脉冲跨周期调制(dual pulse skipping modulation,DPSM)技术。不同于脉冲跨周期调制(pulse skipping modulation,PSM)技术采用单控制脉冲实现输出稳压,DPSM技术把单控制脉冲扩展为双控制脉... 提出一种新的控制开关功率变换器的调制技术:双脉冲跨周期调制(dual pulse skipping modulation,DPSM)技术。不同于脉冲跨周期调制(pulse skipping modulation,PSM)技术采用单控制脉冲实现输出稳压,DPSM技术把单控制脉冲扩展为双控制脉冲,可克服PSM控制的开关功率变换器存在较大输出电压纹波的缺点。以工作在断续导电模式(discontinuous conduction mode,DCM)下的Buck变换器为例,说明DPSM技术的工作原理和控制规律。仿真和实验结果表明,有着良好瞬态性能的DPSM Buck变换器与PSMBuck变换器相比具有较低输出纹波,与脉冲序列(pulsetrain,PT)控制Buck变换器相比具有较宽的负载可调范围。 展开更多
关键词 BUCK变换 双脉冲跨周期调制 断续导电模式 脉冲跨周期调制 脉冲序列
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Wigner-Hough变换在毫米波防撞雷达信号处理中的应用 被引量:5
17
作者 李志刚 王宝光 王亚飞 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2006年第2期52-55,共4页
毫米波车载防撞雷达的中频信号是包含目标距离和相对速度信息的信号,针对中频信号通常是被噪声和干扰污染的非平稳信号,在频域内无法获取高质量的中频信号的难题,提出了利用时频分析中的Wigner-Hough变换来提取中频信号的方法。方法根... 毫米波车载防撞雷达的中频信号是包含目标距离和相对速度信息的信号,针对中频信号通常是被噪声和干扰污染的非平稳信号,在频域内无法获取高质量的中频信号的难题,提出了利用时频分析中的Wigner-Hough变换来提取中频信号的方法。方法根据中频信号、chirp类干扰信号和噪声在Wigner-ville时频平面上的不同统计分布特性达到进行信号区分和检测的目的,能够有效地抑制Wigner分布中交叉项的干扰,提取带有距离和速度信息的中频信号。计算机仿真结果表明该方法在检测被污染的中频信号方面是有效的。 展开更多
关键词 时频分析 wigner-hough变换 中频 雷达
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Arnold变换的周期及其应用 被引量:16
18
作者 李兵 徐家伟 《中山大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2004年第A02期139-142,共4页
探讨了Arnold变换的周期性,主要结果包括:①通过构造一个整数序列{Gn}并研究Arnold变换的周期与该整数序列{Gn}的联系,获得了一些关于Arnold变换周期的新的性质,特别是文中得到的素数阶数字图像周期的上界比已有的结果更精确;②给出了计... 探讨了Arnold变换的周期性,主要结果包括:①通过构造一个整数序列{Gn}并研究Arnold变换的周期与该整数序列{Gn}的联系,获得了一些关于Arnold变换周期的新的性质,特别是文中得到的素数阶数字图像周期的上界比已有的结果更精确;②给出了计算Arnold变换最小周期的一种算法,实验结果说明该算法优于已有的一些算法。 展开更多
关键词 图像信息保密 数字图像 置乱变换 ARNOLD变换 周期
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一种基于Hilbert-Huang变换的基音周期检测新方法 被引量:19
19
作者 杨志华 齐东旭 杨力华 《计算机学报》 EI CSCD 北大核心 2006年第1期106-115,共10页
利用Hilbert-Huang变换对语言信号处理中基于事件的基音周期检测问题提出了一种新的检测方法.该方法利用Huang等人1998年提出的具有高时频分辨能力的H ilbert-Huang变换分析语音信号,并提取其瞬时能量,通过精确定位声门脉冲发生的时刻,... 利用Hilbert-Huang变换对语言信号处理中基于事件的基音周期检测问题提出了一种新的检测方法.该方法利用Huang等人1998年提出的具有高时频分辨能力的H ilbert-Huang变换分析语音信号,并提取其瞬时能量,通过精确定位声门脉冲发生的时刻,从而精确地跟踪基音周期的变化,达到精确检测基音周期的目的.与传统方法相比,其优点主要表现在:(1)不需要对语音信号作短时平稳性假设;(2)检测精度高,适应范围广;(3)具有跟踪基音周期变化的能力;(4)能精确区分清浊音;(5)与传统方法相比,帧长大大增加,因而,在提取连续语音信号的基音轮廓时,用于分帧和拼合的开销大大减少,帧间拼合痕迹小.仿真数据和实际语音信号检测实验均获得了相当精确的检测结果.最后,需要指出的是,H ilbert-Huang变换作为一种新的信号分析方法,被成功地用于提取语音信号的基音周期,这本身是一个有意义的探索,它为拓展H ilbert-Huang变换理论的应用给出了一个新的尝试. 展开更多
关键词 经验模型分解(EMD) HILBERT-HUANG变换 基音周期 基音检测
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基于光学傅里叶变换的周期性微结构缺陷检测 被引量:13
20
作者 董明利 李波 +1 位作者 张帆 孙鹏 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第7期1727-1737,共11页
为了实现大视场周期性微结构缺陷检测,提出了一种基于光学傅里叶变换(FT)的大视场周期性微结构缺陷检测方法,并搭建相关实验系统进行实验验证。首先,对周期性微结构的像进行二维快速傅里叶变换,获取周期性微结构的空间频谱;然后,选取一... 为了实现大视场周期性微结构缺陷检测,提出了一种基于光学傅里叶变换(FT)的大视场周期性微结构缺陷检测方法,并搭建相关实验系统进行实验验证。首先,对周期性微结构的像进行二维快速傅里叶变换,获取周期性微结构的空间频谱;然后,选取一级衍射斑点中的一个斑点做快速傅里叶逆变换,得到周期性微结构的幅值分布图;最后,根据幅值分布图中的幅值突变位置确定缺陷的位置以及根据幅值突变的剧烈程度来定性地判断缺陷处的点偏离原来位置的位移。实验结果表明:该套系统的测量视场能达到1.5mm×1.5mm,测量分辨率能达到0.5μm以上,在保证分辨率达到要求的前提下,大大地提高了检测视场,能够快速、高效、便捷地在大视场下对周期性微结构进行缺陷检测。 展开更多
关键词 傅里叶变换 大视场 周期性微结构 缺陷检测
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