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题名数值模拟方法在周期换向脉冲电镀通孔中的应用
被引量：1
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作者
张远航
安茂忠
杨培霞
张锦秋
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机构
哈尔滨工业大学化工与化学学院
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出处
《电化学》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第6期130-136,共7页
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基金
国家自然科学基金项目(No.21972037)
城市水资源和和环境重点实验室(哈尔滨工业大学)项目(No.2021TS07)资助。
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文摘
5G通信技术的升级使得通信背板层数增加,板上通孔的厚径比也相应增加,使用传统直流电沉积进行互连难度提高。而周期换向脉冲电镀方法对高厚径比通孔均匀电镀有明显的改善。通过使用数值模拟方法对周期换向脉冲在通孔电镀中的参数进行了研究,并使用正交实验方法对周期换向脉冲电镀的各参数对通孔均镀能力的影响主次顺序和影响规律进行了分析。筛选出了优水平组合为:正向峰值电流密度1 A·dm^(-2),正反向峰值电流密度比1:4,反向峰宽1 ms,正反向峰宽比30:1,正向占空比1,反向占空比1,正向峰个数2,反向峰个数3。研究结果表明,与直流电镀相比,数值模拟方法优化后的周期换向脉冲电镀参数能够有效提高通孔的均镀能力,并且能够应用于实际电沉积通孔中。该实验结果可为数值模拟方法对周期换向脉冲电镀的优化提供理论支持和新思路。
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关键词
数值模拟
通孔电镀
周期换向脉冲电镀
均镀能力
正交实验
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Keywords
numerical simulation
through hole electroplating
periodic pulse reverse electroplating
throwing power
orthogonal test
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
TQ153
[化学工程—电化学工业]
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题名3种锌镍合金镀层耐蚀性的电化学研究
被引量：10
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作者
常立民
陈丹
石淑云
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机构
吉林师范大学化学学院
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出处
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第10期17-19,共3页
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基金
吉林省科技发展计划项目(20000513)
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文摘
Zn-Ni合金镀层作为优良的钢铁防护性镀层,具有良好的耐蚀性,可替代镉镀层。采用极化曲线(Tafel)、电化学噪声(EN)和电化学交流阻抗谱(EIS)等电化学方法,检测和评价了直流电沉积(DC)、单脉冲电沉积(PC)和周期换向脉冲电沉积(PRC)下制备的Zn-Ni合金镀层的耐蚀性。所选用的试样具有相同镍含量。结果表明,周期换向脉冲电沉积制备的Zn-Ni合金镀层耐蚀性能最佳,单脉冲电沉积制备的Zn-Ni合金镀层的耐蚀性优于直流电沉积制备的Zn-Ni合金镀层。
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关键词
脉冲电镀
直流电镀
周期换向脉冲电镀
Zn—Ni合金
耐蚀性能
电化学噪声
电化学
交流阻抗
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Keywords
pulse plating
DC plating
pulse reverse current plating
Zn-Ni alloy
corrosion resistance
electrochemical noises
electrochemistry
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分类号
TQ153.2
[化学工程—电化学工业]
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