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题名基于频域变换的 MEMS 声学薄膜缺陷检测算法
被引量：2
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作者
魏冬
桑梅
禹敏慧
黄耀慷
刘红光
刘铁根
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机构
天津大学精密仪器与光电子工程学院
天津大学光电信息技术教育部重点实验室
天津市计量监督检测科学研究院
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出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第6期1086-1091,共6页
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基金
国家重点研发计划项目(2018YFF01013203)。
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文摘
微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)声学薄膜对流片、存储和封装环境要求极高,其表面缺陷会影响MEMS器件的质量和性能。图像检测缺陷是一种有效的非接触光学检测手段,可以有效提高MEMS生产的良品率,然而MEMS器件表面的周期性结构纹理会对缺陷检测产生干扰。提出了一种基于频域变换的声学薄膜缺陷检测算法,通过计算频谱图的梯度分布和建立布尔掩码以消除图像中周期性结构纹理对应的主频分量,将剩余频谱图进行傅里叶逆变换重构缺陷图像,对重构图像采用单层Haar小波分解去噪获得低频子带图像,采用简单的阈值分割提取缺陷信息,展示了不同种类MEMS声学薄膜的缺陷检测效果。实验结果表明,缩放常数t g的取值范围为0.7~1.0比较合理。
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关键词
MEMS声学薄膜
傅里叶变换
周期性结构纹理
Haar小波分解
缺陷检测
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Keywords
micro-electro-mechanical system acoustic film
Fourier transform
periodic structure texture
Haar wavelet decomposition
defect detection
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分类号
TN911.7
[电子电信—通信与信息系统]
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