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基于激光激发声表面波新型气体传感器的研究
被引量：
6
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作者
姜超
刘光达
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第4期132-135,共4页
提出了一种利用激光激发声表面波,通过气体吸附性薄膜对被测气体进行检测的传感原理。激光在覆有选择性气体吸附膜的铝块表面激发出声表面波,后者沿铝块表面传播。在吸附性薄膜与被测气体发生反应后,声表面波的强度被改变;然后利用PMT(...
提出了一种利用激光激发声表面波,通过气体吸附性薄膜对被测气体进行检测的传感原理。激光在覆有选择性气体吸附膜的铝块表面激发出声表面波,后者沿铝块表面传播。在吸附性薄膜与被测气体发生反应后,声表面波的强度被改变;然后利用PMT(光电倍增管),通过单芯光纤耦合的反射式光束偏转法探测由半导体激光器发出的探测光束,所检测的光强的变化反映了被检测气体的浓度,从而实现被测气体的浓度测量。
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关键词
声表面波(SAW)
吸附性膜
气体传感器
光偏转法
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职称材料
题名
基于激光激发声表面波新型气体传感器的研究
被引量：
6
1
作者
姜超
刘光达
机构
吉林大学仪器科学与电气工程学院
出处
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第4期132-135,共4页
文摘
提出了一种利用激光激发声表面波,通过气体吸附性薄膜对被测气体进行检测的传感原理。激光在覆有选择性气体吸附膜的铝块表面激发出声表面波,后者沿铝块表面传播。在吸附性薄膜与被测气体发生反应后,声表面波的强度被改变;然后利用PMT(光电倍增管),通过单芯光纤耦合的反射式光束偏转法探测由半导体激光器发出的探测光束,所检测的光强的变化反映了被检测气体的浓度,从而实现被测气体的浓度测量。
关键词
声表面波(SAW)
吸附性膜
气体传感器
光偏转法
Keywords
Surface acoustic wave
Adsorptive film
Gas sensor
Optical beam deflection technique
分类号
TB57 [理学—声学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于激光激发声表面波新型气体传感器的研究
姜超
刘光达
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
6
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