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题名过渡金属含氧涂层的制备工艺及性能分析
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作者
马茹
钟武烨
金睿
任思琪
么斯雨
齐立君
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机构
中国原子能科学研究院反应堆工程技术研究所
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出处
《原子能科学技术》
北大核心
2025年第3期683-690,共8页
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文摘
为获得低功函数接收极材料,利用磁控溅射沉积技术在过渡金属Mo、Nb和Ni表面制备了多组含氧涂层。对涂层内氧含量的控制进行了计算分析,并利用扫描电镜和俄歇系统对涂层进行了测试表征,同时采用紫外光电子能谱法对涂层表面进行了功函数测试。结果表明:采用磁控溅射技术所制备的涂层氧含量均匀、光滑致密、结合强度较高;对同一金属,通过控制O2/Ar流量比能改变涂层内的氧含量;而对不同的金属,若要获得相同氧含量,则越易与氧反应,沉积过程中O2/Ar流量比取值越低;过渡金属表面的功函数值吸附氧后增加,吸附铯后降低,同时吸附氧和铯后,进一步降低;其中,Mo含氧涂层的吸铯功函数值降至约1.3 eV,Nb含氧涂层降至约1.4 eV,Ni含氧涂层降至1.6 eV。
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关键词
过渡金属
热离子转换器接收极
磁控溅射
含氧涂层
功函数
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Keywords
transition metal
collector of thermionic energy converter
magnetron sputtering
oxygen-containing coating
work function
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分类号
TL349
[核科学技术—核技术及应用]
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