同步辐射X射线形貌术在晶体生长和缺陷研究中的应用 被引量：8

1

作者 蒋建华 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期180-187,共8页

本文介绍了同步辐射光源的特点 ,以及在应用于X射线形貌术时带来的各种好处。并通过介绍在北京同步辐射装置上所做的若干实验成果 ,扼要叙述了同步辐射X射线形貌术在晶体缺陷研究和晶体生长中的应用。

关键词 同步辐射 x射线形貌术 晶体缺陷 晶体生长

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同步辐射X射线形貌术在晶体生长和缺陷研究中的应用 被引量：1

2

作者 蒋建华 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第S1期180-187,共1页

X射线形貌术是利用X射线在晶体中传播及衍射的动力学原理 ,根据晶体中完美部分和不完美部分衍射衬度的变化和消光规律 ,研究晶体微观结构缺陷的一种有效方法 ,与其他方法相比 ,它的优点是可直观地对较大块的晶体及其器件作非破坏性的整... X射线形貌术是利用X射线在晶体中传播及衍射的动力学原理 ,根据晶体中完美部分和不完美部分衍射衬度的变化和消光规律 ,研究晶体微观结构缺陷的一种有效方法 ,与其他方法相比 ,它的优点是可直观地对较大块的晶体及其器件作非破坏性的整体内部观察。它的缺点是曝光的时间长 ,分辨率没有电镜高。同步辐射光源的使用不仅克服了常规X射线形貌术曝光时间长的缺点 ,也可提高形貌像的分辨率 ,尤其重要的是它为研究材料的结构相变和晶体生长中缺陷的形成、迁移及再结晶等动态变化过程提供了可能 ,从而为X射线形貌术这一古老技术注入了新的活力。北京正负电子对撞机提供的同步辐射已实现电子能量 2 .2GeV、电子束流 1 0 0mA ,这时的同步辐射功率为 2 1kW ,光源中心亮度为 1 0 13 ～ 1 0 14 phs/(s·mm2 ·mrad2 ·0 .1 %BW ) (光子能量 =5 .9keV处 ) ,比常规转靶X光机的特征谱高度高出 1 0 0 0倍以上 ,可以利用的光子能量为 1 0eV～2 5keV。在北京同步辐射装置 (BSRF)上已建立了 1 1个从真空紫外到硬X射线波段的实验站 ,X射线形貌学实验站就是其中一个。同步辐射的强连续谱提供了拍摄白光形貌相的条件 ,可快速拍摄众多衍射矢量 ,一次拍摄定出Burger’s矢量 ,并可进行动态形貌的实时观察和再结晶过程的研究。白光? 展开更多

关键词 同步辐射 x射线形貌 晶体生长 缺陷

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基于同步辐射白光形貌术和X射线迹线法的6H-SiC单晶结构缺陷研究

3

作者 胡小波 《广西科学》 CAS 2015年第5期457-461,共5页

[目的]SiC材料结构缺陷的检测和控制是实现材料应用的关键环节,因此本文对6H-SiC单晶中的结构缺陷进行研究。[方法]采用同步辐射白光形貌术观察6H-SiC单晶中的基本螺位错和基平面弯曲,并利用X射线迹线法模拟基本螺位错的形貌和基平面弯... [目的]SiC材料结构缺陷的检测和控制是实现材料应用的关键环节,因此本文对6H-SiC单晶中的结构缺陷进行研究。[方法]采用同步辐射白光形貌术观察6H-SiC单晶中的基本螺位错和基平面弯曲,并利用X射线迹线法模拟基本螺位错的形貌和基平面弯曲后衍射斑点的形状。[结果]6H-SiC单晶中的典型结构缺陷之一为基本螺位错,它的形貌特征为白色的圆斑;由于热弹应力的存在,6H-SiC单晶在生长过程中容易发生基平面弯曲,结果导致衍射斑点的形状发生改变。[结论]同步辐射白光形貌术和X射线迹线法可以用于检测6H-SiC单晶结构缺陷;样品的基本螺位错密度为1.56×10~4/cm^2,基平面弯曲半径近似为1m。 展开更多

关键词 基本螺位错 基平面弯曲 6H-SiC单晶 同步辐射白光形貌术 x射线迹线法

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人造金刚石晶体缺陷的同步辐射X射线衍射形貌像浅析 被引量：1

4

作者 陈涛 巫翔 +1 位作者 亓利剑 王河锦 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期33-37,共5页

利用同步辐射X射线对人造金刚石晶体缺陷进行了形貌学研究,实验采用了透射 (劳埃 )形貌术和反射形貌术两种方法。所得的X射线透射劳埃图上大部分斑点分别分布在四条主晶带上,经分析发现,该金刚石晶体主要的晶体缺陷为位错,并推导出晶体... 利用同步辐射X射线对人造金刚石晶体缺陷进行了形貌学研究,实验采用了透射 (劳埃 )形貌术和反射形貌术两种方法。所得的X射线透射劳埃图上大部分斑点分别分布在四条主晶带上,经分析发现,该金刚石晶体主要的晶体缺陷为位错,并推导出晶体内部存在Frank不全位错。该晶体的反射形貌像中位错呈网状分布,说明其表层缺陷多于内部缺陷。此外,由形貌像分析发现该人造金刚石晶体的晶体缺陷明显少于天然金刚石。 展开更多

关键词 晶体缺陷 形貌 透射 位错 同步辐射 反射 网状 人造金刚石 斑点 x射线衍射

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用同步辐射实现X射线干涉技术的实验研究 被引量：1

5

作者 王林 赵洋 +6 位作者 曹芒 李达成 蒋建华 韩勇 王州光 田玉莲 王功利 《光电工程》 CAS CSCD 1998年第4期22-27,共6页

根据Ｘ射线干涉的特点，制出ＬＬＬ型Ｘ射线干涉器件。Ｘ射线源选用同步辐射光，充分利用其强度大、波长丰富和准直性好的优点，在北京同步辐射实验室（ＢＳＲＬ）利用４Ｗ１Ａ束线进行了Ｘ射线干涉实验，在拍摄的底片上比较清楚地观察... 根据Ｘ射线干涉的特点，制出ＬＬＬ型Ｘ射线干涉器件。Ｘ射线源选用同步辐射光，充分利用其强度大、波长丰富和准直性好的优点，在北京同步辐射实验室（ＢＳＲＬ）利用４Ｗ１Ａ束线进行了Ｘ射线干涉实验，在拍摄的底片上比较清楚地观察到了Ｘ射线干涉条纹。 展开更多

关键词 x射线干涉术 同步辐射 实验研究 干涉仪

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采用同步辐射X射线衍衬貌相术原位实时观察单晶Cu─Zn─Al形状记忆合金的马氏体相变过程

6

作者 陈赛克 JourdanC^＋ 《功能材料》 EI CAS CSCD 1995年第2期182-184,192,共4页

采用高强度同步辐射白光束ｘ射线衍衬貌相术原位实时研究了单晶Ｃｕ－Ｚｎ－Ａｌ形状记忆合金的马氏体相变，跟踪了马氏体变体随温度循环的演变过程。结果表明，马氏体变体首先在非完整晶区形核；由于马氏体变体之间及马氏体变体与母相... 采用高强度同步辐射白光束ｘ射线衍衬貌相术原位实时研究了单晶Ｃｕ－Ｚｎ－Ａｌ形状记忆合金的马氏体相变，跟踪了马氏体变体随温度循环的演变过程。结果表明，马氏体变体首先在非完整晶区形核；由于马氏体变体之间及马氏体变体与母相之间的相互作用，使某些区域造成高度紊乱，经一次循环后，在这些区域留下了新的晶体缺陷，但是亚晶结构与原始状态一致。 展开更多

关键词 同步辐射x射线衍衬貌相术 单晶 CU-ZN-AL形状记忆合金 马氏体相变

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X射线衍射形貌术在碲锌镉晶体中的应用 被引量：3

7

作者 孙士文 隋淞印 +3 位作者 何力 周昌鹤 虞慧娴 徐超 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2014年第11期1216-1219,共4页

碲锌镉晶体中存在着各种典型晶体缺陷,X射线衍射形貌术是一种非破坏性地整体研究晶体材料结构完整性、均匀性的有效方法。本文将反射式X射线衍射形貌术应用于碲锌镉晶体质量的评价,研究了入射线狭缝宽度、积分时间、扫描步长等测试参数... 碲锌镉晶体中存在着各种典型晶体缺陷,X射线衍射形貌术是一种非破坏性地整体研究晶体材料结构完整性、均匀性的有效方法。本文将反射式X射线衍射形貌术应用于碲锌镉晶体质量的评价,研究了入射线狭缝宽度、积分时间、扫描步长等测试参数以及样品表面加工状态对X射线衍射形貌的影响。结果表明入射线狭缝宽度对碲锌镉晶体的X射线衍射成像及晶体质量筛选应用影响很大,积分时间、样品扫描步长等测试参数的选择与入射线狭缝宽度密切相关。 展开更多

关键词 x射线衍射形貌术 x光貌相 碲锌镉 晶体缺陷

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快速生长的TGS晶体缺陷的X射线形貌术研究 被引量：2

8

作者 王庆武 董胜明 +1 位作者 房昌水 卓洪昇 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 1993年第3期268-271,共4页

本文用 X 射线形貌术研究了生长速度不同的 TGS 晶体的缺陷,得到了与浸蚀法一致的结果;比较发现,快速生长的 TGS 晶体中缺陷密度较高;并对缺陷的性质和形成原因进行了讨论。文章还指出了快速生长的晶体与正常晶体性能间的差别主要是由... 本文用 X 射线形貌术研究了生长速度不同的 TGS 晶体的缺陷,得到了与浸蚀法一致的结果;比较发现,快速生长的 TGS 晶体中缺陷密度较高;并对缺陷的性质和形成原因进行了讨论。文章还指出了快速生长的晶体与正常晶体性能间的差别主要是由于晶体中缺陷密度的不同引起的。 展开更多

关键词 TGS晶体 晶体缺陷 x射线形貌术

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SXR-CT技术应用研究烧结陶瓷三维微结构拓扑形貌 被引量：8

9

作者 景晓宁 胡小方 +2 位作者 赵建华 王亚鸥 田玉莲 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期327-330,共4页

借助同步辐射硬X射线高强度 ,强穿透 ,高分辨和天然准直性的特性 ,应用卷积反投影重建算法实现CT三维重建技术 ,简称SXR CT(SynchrotronX RayComputedTomography) ,研究了氧化物陶瓷烧结体残余孔隙的三维拓扑微结构。同时量化计算了样... 借助同步辐射硬X射线高强度 ,强穿透 ,高分辨和天然准直性的特性 ,应用卷积反投影重建算法实现CT三维重建技术 ,简称SXR CT(SynchrotronX RayComputedTomography) ,研究了氧化物陶瓷烧结体残余孔隙的三维拓扑微结构。同时量化计算了样品的孔隙率和密度 。 展开更多

关键词 拓扑形貌 三维微结构 密度分布 同步辐射硬x射线 SxR-CT 烧结陶瓷

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碲锌镉晶体的X射线衍射形貌与腐蚀形貌 被引量：3

10

作者 孙士文 隋淞印 +4 位作者 何力 魏彦锋 周昌鹤 虞慧娴 徐超 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期291-296,共6页

碲锌镉晶体中存在着各种典型晶体缺陷,其缺陷研究一直倍受关注,X射线衍射形貌术是一种非破坏性地研究晶体材料结构完整性、均匀性的有效方法.采用反射式X射线衍射形貌术对碲锌镉衬底的质量进行了研究,并将衬底的X射线衍射形貌与Everson... 碲锌镉晶体中存在着各种典型晶体缺陷,其缺陷研究一直倍受关注,X射线衍射形貌术是一种非破坏性地研究晶体材料结构完整性、均匀性的有效方法.采用反射式X射线衍射形貌术对碲锌镉衬底的质量进行了研究,并将衬底的X射线衍射形貌与Everson腐蚀形貌进行了对比分析,碲锌镉衬底的X射线衍射形貌主要有六种特征类型,分别对应不同的晶体结构或缺陷,包括均匀结构、镶嵌结构、孪晶、小角晶界、夹杂、表面划伤,对上述特征类型进行了详细的分析.目前,衬底的X射线衍射形貌主要以均匀结构类型为主,划伤和镶嵌结构缺陷基本已消除,存在的晶体缺陷主要以小角晶界为主.通过对比分析碲锌镉衬底和液相外延碲镉汞薄膜的X射线衍射形貌,发现小角晶界等晶体结构缺陷会延伸到外延层上,碲锌镉衬底质量会直接影响碲镉汞外延层的质量,晶体结构完整的衬底是制备高质量碲镉汞外延材料的基础. 展开更多

关键词 x射线衍射形貌术 x光貌相 腐蚀形貌 碲锌镉 晶体缺陷

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碲锌镉小角晶界的反射式X射线衍射形貌 被引量：4

11

作者 孙士文 隋淞印 +3 位作者 何力 周昌鹤 虞慧娴 徐超 《红外技术》 CSCD 北大核心 2014年第7期588-591,共4页

碲锌镉晶体中存在着各种晶体缺陷,其中小角晶界是制约碲锌镉晶体质量的主要晶体缺陷之一。X射线衍射形貌术是一种非破坏性地全面研究小角晶界缺陷的有效方法。采用反射式X射线衍射形貌术对碲锌镉衬底的小角晶界缺陷进行了研究,讨论了小... 碲锌镉晶体中存在着各种晶体缺陷,其中小角晶界是制约碲锌镉晶体质量的主要晶体缺陷之一。X射线衍射形貌术是一种非破坏性地全面研究小角晶界缺陷的有效方法。采用反射式X射线衍射形貌术对碲锌镉衬底的小角晶界缺陷进行了研究,讨论了小角晶界类型、样品扫描方向以及入射线发散度等对小角晶界缺陷的X射线衍射形貌的影响。为全面获得小角晶界缺陷的衍射形貌,应尽量选择宽的入射线狭缝,对于对称倾侧晶界和扭转晶界,应分别平行和垂直于小角晶界方向扫描。 展开更多

关键词 x射线衍射形貌术 x光貌相 碲锌镉 晶体缺陷 小角晶界

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用于软X射线显微术的氮化硅窗口的研制 被引量：2

12

作者 徐向东 洪义麟 +4 位作者 付绍军 霍同林 陶晓明 单晓斌 蒋诗平 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1998年第2期151-154,共4页

氮化硅膜具有对软X射线吸收较小、成膜光滑、强度大和致密性好等优点，因而常选作为窗口材料。本文主要介绍了用于软X射线显微术的氮化硅窗口的制备工艺，给出在国家同步辐射实验室软X射线显微术实验站使用的实验结果。

关键词 软x射线显微术 同步辐射 氮化硅窗口 薄膜

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辽宁天然金刚石晶体缺陷的X射线形貌研究

13

作者 郭起志 孙继光 《矿物学报》 CAS CSCD 北大核心 1990年第4期356-359,共4页

本文利用透射X射线衍射形貌术研究辽宁天然金刚石晶体缺陷的问题。实验结果表明,金刚石晶体中存在有位错、亚结构及包裹体等缺陷。

关键词 金刚石 晶体 缺陷 x射线形貌术

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非线性光学晶体CBO的缺陷形貌分析 被引量：1

14

作者 徐子颉 吴以成 +3 位作者 傅佩珍 王俊新 蒋建华 田玉莲 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期379-382,共4页

以碳酸铯和硼酸为原料采用泡生法生长出三硼酸铯 (化学式CsB3 O5,简称CBO)晶体 ,首次报道了利用同步辐射白光X射线形貌术对CBO晶体的 (0 0 1)面、(0 10 )面和 (10 0 )面进行了观察。观察结果表明 ,CBO晶体的主要缺陷是生长层。缺陷形成... 以碳酸铯和硼酸为原料采用泡生法生长出三硼酸铯 (化学式CsB3 O5,简称CBO)晶体 ,首次报道了利用同步辐射白光X射线形貌术对CBO晶体的 (0 0 1)面、(0 10 )面和 (10 0 )面进行了观察。观察结果表明 ,CBO晶体的主要缺陷是生长层。缺陷形成的原因是晶体生长炉内热流的非稳态对流和温度振荡导致晶体的微观生长率随时间变化 。 展开更多

关键词 CsB3O5晶体 同步辐射白光x射线形貌术 缺陷 非线性光学晶体 CBO晶体 三硼酸铯

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导模法生长氧化镓晶体中的位错缺陷及其分布特点

15

作者 杨文娟 卜予哲 +1 位作者 赛青林 齐红基 《人工晶体学报》 北大核心 2025年第3期414-419,共6页

β-Ga_(2)O_(3)作为新一代超宽带隙半导体材料,因优异的物理性能和在器件中的高性能而受到越来越多的关注。β-Ga_(2)O_(3)的制备可采用浮区法、导模(EFG)法等多种熔融晶体生长方法。缺陷通常会对半导体器件的性能产生严重的负面影响,... β-Ga_(2)O_(3)作为新一代超宽带隙半导体材料,因优异的物理性能和在器件中的高性能而受到越来越多的关注。β-Ga_(2)O_(3)的制备可采用浮区法、导模(EFG)法等多种熔融晶体生长方法。缺陷通常会对半导体器件的性能产生严重的负面影响,所以β-Ga_(2)O_(3)晶体的缺陷检测技术显得尤为重要。过去通常采用刻蚀的方法进行位错的检测和密度计算,但这种方法是破坏性的,只适用于实验样品的研究分析。本文突破传统缺陷分析方法的局限,引入X射线形貌分析术(XRT)并结合酸性腐蚀法,对导模法生长β-Ga_(2)O_(3)的(001)、(010)、(100)面分别进行了深入研究,揭示了位错在三维空间的分布特征,明确指出,在导模法晶体中,沿着b轴[010]方向的位错占主导地位,为理解β-Ga_(2)O_(3)位错的结构和特征提供了宝贵的信息,进而为之后外延和器件晶面的选择指明了新的方向。 展开更多

关键词 氧化镓 宽禁带半导体 位错 x射线形貌分析术 导模法 腐蚀法

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BSRF 形貌学实验站动态实验系统

16

作者 王功利 蒋建华 +2 位作者 韩勇 田玉莲 王洲光 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 1998年第1期73-75,41,共4页

介绍了ＢＳＲＦ形貌学实验站动态实验系统的各个组成部分，并着重对其控制系统、图像捕获和处理系统作了详细介绍。

关键词 同步辐射 x光形貌 晶体 x射线衍射

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γ-LiAlO_2晶体的生长缺陷研究 被引量：3

17

作者 杨卫桥 干福熹 +3 位作者 邓佩珍 徐军 李杼智 蒋成勇 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期565-568,共4页

γ LiAlO2 晶体是一种非常有前途的GaN衬底材料 ,本文利用化学腐蚀光学显微术和同步辐射X射线形貌术研究了LiAlO2 晶体的缺陷。结果表明 ,提拉法生长的γ LiAlO2 晶体中的缺陷主要为位错、包裹物和亚晶界。并发现在其 (10 0 )晶片上的... γ LiAlO2 晶体是一种非常有前途的GaN衬底材料 ,本文利用化学腐蚀光学显微术和同步辐射X射线形貌术研究了LiAlO2 晶体的缺陷。结果表明 ,提拉法生长的γ LiAlO2 晶体中的缺陷主要为位错、包裹物和亚晶界。并发现在其 (10 0 )晶片上的腐蚀形貌两面有较大差异。 展开更多

关键词 位错 同步辐射x射线形貌术 GaN衬底 γ-LiAlO2晶体 生长缺陷 研究

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YVO_4晶体缺陷分析 被引量：4

18

作者 邹宇琦 李新军 +3 位作者 徐军 干福熹 田玉莲 黄万霞 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期14-17,共4页

运用同步辐射白光X射线形貌术分析了YVO4 的结构和缺陷行为 ,也观测了YVO4 晶体 (0 0 1)、(10 0 )面的缺陷。发现在 (0 0 1)面出现应力生长区、沿 [10 0 ]方向的位错线以及晶体中镶嵌结构。运用白光形貌术拍摄到的劳埃斑 ,证明晶体为四... 运用同步辐射白光X射线形貌术分析了YVO4 的结构和缺陷行为 ,也观测了YVO4 晶体 (0 0 1)、(10 0 )面的缺陷。发现在 (0 0 1)面出现应力生长区、沿 [10 0 ]方向的位错线以及晶体中镶嵌结构。运用白光形貌术拍摄到的劳埃斑 ,证明晶体为四方晶系。确定了小角晶界是引起多晶的主要原因。 展开更多

关键词 YVO4晶体 晶体缺陷 同步辐射白光x射线形貌术 电子探针仪 钒酸钇晶体

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Nd:LuVO_4晶体缺陷的研究 被引量：2

19

作者 马丽丽 胡小波 +4 位作者 张怀金 王继扬 赵守仁 田玉莲 朱佩平 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期238-241,共4页

采用提拉法生长的Nd:LuVO4 晶体是一种适合二极管泵浦的新型激光晶体,运用化学腐蚀结合光学显微术和同步辐射白光X射线形貌术对Nd:LuVO4 晶体缺陷进行观察,结果表明:晶体的主要缺陷为位错和小角晶界。利用高分辨X射线衍射仪进一步验证... 采用提拉法生长的Nd:LuVO4 晶体是一种适合二极管泵浦的新型激光晶体,运用化学腐蚀结合光学显微术和同步辐射白光X射线形貌术对Nd:LuVO4 晶体缺陷进行观察,结果表明:晶体的主要缺陷为位错和小角晶界。利用高分辨X射线衍射仪进一步验证了这一结果。并初步讨论了缺陷形成的原因。 展开更多

关键词 Nd:LuVO4晶体 缺陷分析 同步辐射白光x射线形貌术 小角晶界 激光性质 化学腐蚀法

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高温相偏硼酸钡(α-BaB_2O_4)晶体的缺陷行为分析 被引量：1

20

作者 李新军 邹宇琦 +4 位作者 陈杏达 徐军 杨秋红 田玉莲 黄万霞 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期114-116,共3页

运用同步辐射X射线白光形貌研究了α BaB2 O4 晶体内部的完整性 ,并分析了α BaB2 O4 晶体的缺陷行为及缺陷形成原因。在 (0 0 1)面发现生长扇界和亚晶界 ,而在 (10 0 )面和 (12 0 )面分别观察到了位错、位错簇以及针状包裹体。使用双... 运用同步辐射X射线白光形貌研究了α BaB2 O4 晶体内部的完整性 ,并分析了α BaB2 O4 晶体的缺陷行为及缺陷形成原因。在 (0 0 1)面发现生长扇界和亚晶界 ,而在 (10 0 )面和 (12 0 )面分别观察到了位错、位错簇以及针状包裹体。使用双晶衍射实验发现在 (0 0 1)面有生长条纹 ,这些生长条纹呈环形 ,该条纹与熔体中温度波动而导致的生长速率波动有关。运用白光形貌拍摄到高清晰的劳埃斑 。 展开更多

关键词 高温相 偏硼酸钡 α-BaB2O4晶体 同步辐射白光x射线形貌术 双晶衍射 缺陷

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