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同时模式的中波/长波碲镉汞双色红外探测器
被引量：
7
1
作者
叶振华
李杨
+7 位作者
胡伟达
陈路
廖亲君
陈洪雷
林春
胡晓宁
丁瑞军
何力
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期497-500,共4页
采用光刻胶喷涂技术,突破了碲镉汞双色探测器加工的非平面离子注入和金属化开口等工艺.基于分子束外延(MBE)和原位掺杂技术生长的p3-p2-P1型碲镉汞(Hg1-xCdxTe)多层异质结材料,通过MW光电二极管n型注入区的开口刻蚀、非平面的MW/LW同步B...
采用光刻胶喷涂技术,突破了碲镉汞双色探测器加工的非平面离子注入和金属化开口等工艺.基于分子束外延(MBE)和原位掺杂技术生长的p3-p2-P1型碲镉汞(Hg1-xCdxTe)多层异质结材料,通过MW光电二极管n型注入区的开口刻蚀、非平面的MW/LW同步B+注入、台面侧向钝化和爬坡金属化,得到了同时模式的128×128面阵MW/LW双色探测器.在液氮温度下,MW/LW双色探测器两个波段的光电二极管截止波长λc分别为5.10μm和10.10μm,对应的峰值探测率Dλp*分别为2.02×1011cmHz1/2/W和3.10×1010cmHz1/2/W.通过对同时模式双色探测器材料与芯片结构的优化设计,HgCdTe双色探测器MW向LW、LW向MW的光谱串音分别抑制到了3.8%和4.4%.
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关键词
HGCDTE
中波
长波双色
同时模式
光谱串音
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职称材料
题名
同时模式的中波/长波碲镉汞双色红外探测器
被引量：
7
1
作者
叶振华
李杨
胡伟达
陈路
廖亲君
陈洪雷
林春
胡晓宁
丁瑞军
何力
机构
中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室
中国科学院研究生院
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期497-500,共4页
基金
国家自然科学基金(6070612)
中国科学院国防科技创新基金(cxjj-10-m29)~~
文摘
采用光刻胶喷涂技术,突破了碲镉汞双色探测器加工的非平面离子注入和金属化开口等工艺.基于分子束外延(MBE)和原位掺杂技术生长的p3-p2-P1型碲镉汞(Hg1-xCdxTe)多层异质结材料,通过MW光电二极管n型注入区的开口刻蚀、非平面的MW/LW同步B+注入、台面侧向钝化和爬坡金属化,得到了同时模式的128×128面阵MW/LW双色探测器.在液氮温度下,MW/LW双色探测器两个波段的光电二极管截止波长λc分别为5.10μm和10.10μm,对应的峰值探测率Dλp*分别为2.02×1011cmHz1/2/W和3.10×1010cmHz1/2/W.通过对同时模式双色探测器材料与芯片结构的优化设计,HgCdTe双色探测器MW向LW、LW向MW的光谱串音分别抑制到了3.8%和4.4%.
关键词
HGCDTE
中波
长波双色
同时模式
光谱串音
Keywords
HgCdTe
MW/LW two-color
simultaneous mode
spectral crosstalk
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
TN304.25 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
同时模式的中波/长波碲镉汞双色红外探测器
叶振华
李杨
胡伟达
陈路
廖亲君
陈洪雷
林春
胡晓宁
丁瑞军
何力
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
7
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