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LSI 薄膜台阶测量仪的研制
1
作者 王云庆 李庆祥 +1 位作者 薛实福 周兆英 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期268-273,共6页
本文介绍了一台实用化的用于ＬＳＩ薄膜台阶在线检测的台阶测量仪，它采用精密机械——ＬＶＤＴ——信号处理——计算机控制的方案。使用方便，实现了台阶的自动测量。实验表明：仪器重复测量精度可达±０．０１４７μｍ，很好地满... 本文介绍了一台实用化的用于ＬＳＩ薄膜台阶在线检测的台阶测量仪，它采用精密机械——ＬＶＤＴ——信号处理——计算机控制的方案。使用方便，实现了台阶的自动测量。实验表明：仪器重复测量精度可达±０．０１４７μｍ，很好地满足了ＬＳＩ生产线上的要求。 展开更多
关键词 台阶测量仪 触针 片簧支承 模糊控制 薄膜台阶
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智能化的微细台阶测量系统
2
作者 王云庆 李庆祥 +1 位作者 薛实福 周兆英 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第S1期389-390,共2页
智能化的微细台阶测量系统王云庆，李庆祥，薛实福，周兆英（清华大学）０引言在半导体生产工艺中，对各种微细台阶进行在线检测是保证产品质量、提高生产效率的重要手段。机械触针式台阶测量仪是台阶测量的重要仪器。本文介绍了清华大... 智能化的微细台阶测量系统王云庆，李庆祥，薛实福，周兆英（清华大学）０引言在半导体生产工艺中，对各种微细台阶进行在线检测是保证产品质量、提高生产效率的重要手段。机械触针式台阶测量仪是台阶测量的重要仪器。本文介绍了清华大学精密仪器与机械学系研制的高精度、... 展开更多
关键词 微细台阶 智能化 测量系统 测量原理 台阶测量仪 工作台 测量精度 测量软件 半导体生产工艺 触针
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微细台阶测量中的非线性误差及消除
3
作者 王云庆 李庆样 周兆英 《机电工程》 CAS 1996年第1期29-30,共2页
为了实现高精度的台阶测量，本文推导出触针位移与差动变压器式位移传感器（ＬＶＤＴ）磁芯轴向位移之间的传递关系，分析了其中存在的非线性二次项误差。并通过合理设计传感器的安装角度，消除了这一误差，保证了测量结果是被测台阶表... 为了实现高精度的台阶测量，本文推导出触针位移与差动变压器式位移传感器（ＬＶＤＴ）磁芯轴向位移之间的传递关系，分析了其中存在的非线性二次项误差。并通过合理设计传感器的安装角度，消除了这一误差，保证了测量结果是被测台阶表面的真实反映。 展开更多
关键词 非线性误差 台阶测量仪
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Mirau干涉型微纳台阶高度测量系统的研究 被引量：8
4
作者 郭鑫 施玉书 +4 位作者 皮磊 张树 李适 李东升 高思田 《计量学报》 CSCD 北大核心 2017年第2期141-144,共4页
为了实现纳米量级到微米量级的微观三维台阶样板高度的快速测量,在普通光学显微镜的基础上改造完成了一台微纳台阶高度测量装置,设计了整体硬件结构,编写了测量控制软件和数据处理软件,并结合Hilbert变换和小波变换实现三维表面形貌测... 为了实现纳米量级到微米量级的微观三维台阶样板高度的快速测量,在普通光学显微镜的基础上改造完成了一台微纳台阶高度测量装置,设计了整体硬件结构,编写了测量控制软件和数据处理软件,并结合Hilbert变换和小波变换实现三维表面形貌测量。使用不同高度的台阶样品进行测试,测试结果表明:系统测量准确度较高,测量重复性较好,垂直测量范围大于50 μm。 展开更多
关键词 计量学 Mirau干涉 微纳台阶高度测量 三维表面形貌测量 白光显微干涉 光学显微镜
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十字片簧弹性支承测量机构的设计与实验 被引量：1
5
作者 于水 白立芬 +1 位作者 李庆祥 王云庆 《实验技术与管理》 CAS 2000年第1期19-21,共3页
台阶测量仪是超大规模集成电路生产工艺中测量台阶高度的重要仪器其中测量机构部分是仪器中的关键部件，它的性能优劣直接影响着整机的测量精度。本语文阐述了十字片簧弹性支承的测量机构的与特性实验，实验证明，此测量机构有运动灵活... 台阶测量仪是超大规模集成电路生产工艺中测量台阶高度的重要仪器其中测量机构部分是仪器中的关键部件，它的性能优劣直接影响着整机的测量精度。本语文阐述了十字片簧弹性支承的测量机构的与特性实验，实验证明，此测量机构有运动灵活、回转精度高、测量力小、调整方便、抗疲劳性好，使用中无磨损、不需润滑、工作稳定可靠等特点，该机构台阶测量仪的要求。 展开更多
关键词 十字片簧 弹性支承 测量机构 台阶测量仪
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基于LVDT的台阶信号拾取方法研究
6
作者 白立芬 李庆祥 +1 位作者 薛实福 于水 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2000年第7期37-38,46,共3页
大规模集成电路检测设备之一台阶测量仪是采用LVDT传感器拾取信号的 ,其设计合理与否直接关系到仪器的测量精度。文中采用零点残余电压补偿 ,合理地选择LVDT特性曲线的不同区域 ,以及正确设计传感器的安装角度等措施 ,有效地减小了零点... 大规模集成电路检测设备之一台阶测量仪是采用LVDT传感器拾取信号的 ,其设计合理与否直接关系到仪器的测量精度。文中采用零点残余电压补偿 ,合理地选择LVDT特性曲线的不同区域 ,以及正确设计传感器的安装角度等措施 ,有效地减小了零点残余电压的影响 ,并消除测量机构本身固有的二次项误差 ,提高了仪器的测量精度。实验表明 ,该仪器垂直方向测量分辨率可达 0 .5 μm ,重复测量精度为± 0 0 1 5 μm . 展开更多
关键词 台阶测量仪 集成电路 LVDT传感器 信号拾取方法
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基于光纤三波长激光自混合干涉的绝对距离测量系统 被引量：2
7
作者 王韵致 谢芳 +2 位作者 陈龙辉 徐海波 李明佳 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第9期146-153,共8页
研究了一种基于光纤三波长激光自混合干涉的绝对距离测量系统.系统中的光纤激光器包含三个独立的激光谐振腔,每个激光谐振腔都有作为增益介质的掺铒光纤,三个激光谐振腔利用光纤光栅作为反射镜及波长选择元件,光纤激光器能同时发出无模... 研究了一种基于光纤三波长激光自混合干涉的绝对距离测量系统.系统中的光纤激光器包含三个独立的激光谐振腔,每个激光谐振腔都有作为增益介质的掺铒光纤,三个激光谐振腔利用光纤光栅作为反射镜及波长选择元件,光纤激光器能同时发出无模竞争的频率和功率都稳定的三波长激光.利用三波长激光的自混合干涉,以及干涉信号的相位小数重合方法,实现绝对距离测量.为实现绝对距离测量,三个波长中两相邻波长间距应为相等.实验中,两相邻波长间距约为10nm.系统对公称高度为11mm修正值不大于2.7μm的台阶高度进行测量,测量结果为11.000059mm.对13.000090mm绝对距离重复测量20次的标准差为4.4nm. 展开更多
关键词 光纤传感 多波长激光 光学干涉 自混合干涉 绝对距离测量 台阶测量 掺铒光纤激光器
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十字片簧弹性支承机构的设计
8
作者 白立芬 李庆祥 +1 位作者 于水 薛实福 《机械设计》 CSCD 北大核心 2001年第3期18-19,30,共3页
首先建立了接触式台阶测量仪中关键部件———十字片簧支承的杠杆机构的数学模型并对其进行初步设计。直片簧应力有限元分析表明 ,该结构应力分布很不均匀 ;经片簧参数的改进设计 ,得出变截面片簧的设计参数。 0 .2N外加载荷作用下 ,采... 首先建立了接触式台阶测量仪中关键部件———十字片簧支承的杠杆机构的数学模型并对其进行初步设计。直片簧应力有限元分析表明 ,该结构应力分布很不均匀 ;经片簧参数的改进设计 ,得出变截面片簧的设计参数。 0 .2N外加载荷作用下 ,采用Algor有限元软件分别对变截面片簧进行仿真实验 ,最大、最小应力之比由直片簧的 3 1.4降低为7.7,扭转刚度为 0 .0 6N·m ,测量力变化率为 3 6.6N/m 。 展开更多
关键词 台阶测量仪 弹性支承 有限元 集成电路 十字片簧
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