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题名可调合成波长链绝对距离干涉测量
被引量：2
- 1
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作者
晁志霞
殷纯永
徐毅
许婕
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机构
清华大学精仪系
中国计量科学研究院
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出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2002年第3期161-163,177,共4页
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基金
国家自然科学基金 (5 973 5 12 0 )
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文摘
本文提出一种利用半导体激光器的波长调谐特性实现的可调合成波长链绝对距离干涉测量方法 ,针对不同的待测距离 ,可选择不同的合成波长链 ,完成对待测距离的由粗测到精测的整个过程。文中基于这种方法构建了干涉测量系统 ,该系统利用压电陶瓷调制的在一条直线上的两个双光束干涉仪 ,使待测距离被包含于一个交流信号的相位项中 ,从而使小数条纹的测量转化为相位测量 ,合成波干涉条纹的小数级次由单波长干涉信号的相位测量值计算得到。文中以外尺寸测量为例描述了实验装置 ,实验结果表明 ,在现有的测量系统和实验条件下 ,待测距离小于 5mm时的测量极限偏差优于 2 0μm。
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关键词
干涉测量
可调合成波长链
外腔半导体激光器
绝对距离测量
稳频技术
调谐特性
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Keywords
Changeable synthetic wavelength chain
External cavity diode laser
Absolute distance measurement
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分类号
TB921
[机械工程—测试计量技术及仪器]
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题名可调波长半导体激光测量台阶高度方法研究
被引量：1
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作者
蒋天罡
李岩
王昕
张书练
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机构
清华大学精密仪器与机械学系
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出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第7期518-520,共3页
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文摘
文章在分析台阶高度测量现状和背景的基础上,着重介绍了用半导体激光器实现台阶高度的绝对干涉测量方案,提出以可调谐半导体激光器作为光源,采用可调合成波长链法实现纳米级精度毫米级量程的台阶高度测量,并详细分析了本方案的原理、误差。
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关键词
可调合成波长链
台阶高度
可调谐半导体激光器
绝对干涉测量
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Keywords
changeable synthetic wavelength chain （CSWC）
step height
tunable diode laser
absolute distance interferometry （ADI）
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分类号
TN247
[电子电信—物理电子学]
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