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一种MEMS可调光衰减器性能测试及动态响应分析 被引量:10
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作者 袁野 曹钟慧 +2 位作者 鲍俊峰 邹勇卓 吴兴坤 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期439-442,共4页
一种基于微细电火花加工 (EDM)技术的非硅基MEMS可调光衰减器 ,以电磁线圈驱动微反射镜 本文介绍该器件特性测试及动态响应分析 ,结果表明 ,驱动电压为 0~ 8V ,工作范围 0~35dB ,动态响应时间为 2ms ,插入损耗小于 0 .8dB ,回波损耗... 一种基于微细电火花加工 (EDM)技术的非硅基MEMS可调光衰减器 ,以电磁线圈驱动微反射镜 本文介绍该器件特性测试及动态响应分析 ,结果表明 ,驱动电压为 0~ 8V ,工作范围 0~35dB ,动态响应时间为 2ms ,插入损耗小于 0 .8dB ,回波损耗小于 - 5 0 . 展开更多
关键词 可调光衰减器 电火花加工 动态响应 插入损耗 纤通信 回波损耗
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一种闭环控制的错位型MEMS可调光衰减器 被引量:4
2
作者 邵国成 戴旭涵 +2 位作者 杨昊宇 赵小林 丁桂甫 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期1888-1891,共4页
针对一种错位型MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)可调光衰减器,基于输入输出光纤间模场的交叠积分,数值分析了径向偏差和轴向间隙同时存在的情况下,光功率衰减量与错位量和波长的关系.演示了利用闭环反馈控制系统提高器件响应线... 针对一种错位型MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)可调光衰减器,基于输入输出光纤间模场的交叠积分,数值分析了径向偏差和轴向间隙同时存在的情况下,光功率衰减量与错位量和波长的关系.演示了利用闭环反馈控制系统提高器件响应线性度的显著效果.研制出样机并测量得到器件的响应时间(约1.5ms),动态范围(约35dB),波长相关损耗(<0.4dB),偏振相关损耗(<0.1dB)等关键性能参量. 展开更多
关键词 微机电系统(MEMS) 可调光衰减器 闭环 线性度
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可调光衰减器(VOA)技术发展综述 被引量:13
3
作者 金锡哲 王曦 《光通信技术》 CSCD 北大核心 2003年第12期29-32,共4页
可调光衰减器(VOA)是广泛应用于光通信网络及光纤实验系统中的光无源器件。对现有可调光衰减器各主要技术形式的原理、特点以及目前在国内外的发展、应用状况予以了概要的介绍和总结,并就其技术发展趋势进行了分析和阐述。
关键词 通信 可调光衰减器 技术发展 VOA 纤实验系统 无源器件
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一种数字化可调光衰减器的设计 被引量:4
4
作者 曹钟慧 邹勇卓 吴兴坤 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期17-20,23,共5页
设计了一种具有自锁功能,可实现数字化的电磁驱动可调光衰减器。该衰减器以电磁驱动 微加工齿轮/齿条机构,带动偏心轮以及与偏心轮点接触的移动挡光片,从而实现数字化电控调节光衰减量。性能测试表明该器件的插入损耗小于 0.5 dB,衰减... 设计了一种具有自锁功能,可实现数字化的电磁驱动可调光衰减器。该衰减器以电磁驱动 微加工齿轮/齿条机构,带动偏心轮以及与偏心轮点接触的移动挡光片,从而实现数字化电控调节光衰减量。性能测试表明该器件的插入损耗小于 0.5 dB,衰减动态范围为0~50dB。 展开更多
关键词 数字化电控可调光衰减器 微加工 微位移驱动器 通信
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超小型非硅基微机械可调光衰减器 被引量:3
5
作者 万鹏 袁野 吴兴坤 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1505-1508,共4页
研制了一种新型的超小型电磁驱动微机械可调光衰减器(VOA).该器件采用电磁驱动器转动硅基微镜改变光路实现可调衰减,在结构上采用了全磁性回复,完全摆脱了通常的弹性回复造成的部件疲劳、零点偏移等器件重复性问题.驱动电压为0~5V,工... 研制了一种新型的超小型电磁驱动微机械可调光衰减器(VOA).该器件采用电磁驱动器转动硅基微镜改变光路实现可调衰减,在结构上采用了全磁性回复,完全摆脱了通常的弹性回复造成的部件疲劳、零点偏移等器件重复性问题.驱动电压为0~5V,工作范围0~40dB,插入损耗小于0.8dB,回波损耗小于-50dB.器件重要部件采用微细电火花加工(EDM)技术制作,并应用FEA软件进行了结构优化,对衰减响应进行了详尽的理论分析.该VOA设计体积仅为25×10×7mm3,可构成阵列应用于波分复用(WDM/DWDM)系统中各信道的动态信号平衡或网络保护. 展开更多
关键词 纤通信技术 可调光衰减器(VOA) 微机械(MEMS) 电火花加工(EDM) 密集波分复用(DWDM)
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新型全光纤可调光衰减器 被引量:2
6
作者 李志全 田秀仙 王会波 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1371-1376,共6页
研究了一种新型全光纤可调光衰减器,设计了耦合特性检测装置。基于耦合波理论,分析了衰减量与改变参量之间的关系,讨论了波长微损耗特性。实验结果表明,调节两光纤锥横向间距u可以实现衰减量的大幅度调节,衰减量接近30 dB;调节纵向耦合... 研究了一种新型全光纤可调光衰减器,设计了耦合特性检测装置。基于耦合波理论,分析了衰减量与改变参量之间的关系,讨论了波长微损耗特性。实验结果表明,调节两光纤锥横向间距u可以实现衰减量的大幅度调节,衰减量接近30 dB;调节纵向耦合长度L可以实现衰减量的微调,衰减量可达37 dB;此可调光衰减器可以获得<0.2 dB的波长微损耗。利用此结构的衰减器能够较理想地削弱或控制光信号,在对气体进行浓度测量和组分识别时,利用波长微损耗特性能够确保气体浓度测量的可靠性和单值性。 展开更多
关键词 可调光衰减器 锥形 耦合 波长微损耗 衰减
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电控可调光衰减器性能及分析 被引量:3
7
作者 曹钟慧 吴兴坤 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1553-1556,1570,共5页
为了实现数字化电控调节光衰减量,提出一种电磁线圈驱动的微光机电系统(MOEMS)可调光衰减器,该衰减器主要通过电磁力步进驱动微加工齿轮/齿条机构,带动偏心轮,从而移动挡光片调节光衰减量,实现单模光纤中光传输功率的数字化电控调节.器... 为了实现数字化电控调节光衰减量,提出一种电磁线圈驱动的微光机电系统(MOEMS)可调光衰减器,该衰减器主要通过电磁力步进驱动微加工齿轮/齿条机构,带动偏心轮,从而移动挡光片调节光衰减量,实现单模光纤中光传输功率的数字化电控调节.器件采用非硅基底MOEMS技术制作,并具有断电自锁功能.主要对该器件的损耗,光功率衰减量作了理论计算,并进行器件性能测试,测得主要技术指标原始插入损耗< 0.3 dB,波长相关损耗< 0.2 dB,衰减范围0~40 dB,回波损耗> 50 dB. 展开更多
关键词 机电系统 可调光衰减器 通信 微位移驱动器
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一种手持式可调光衰减器研究 被引量:5
8
作者 李建林 陈陶 孙刚 《光通信研究》 北大核心 2013年第3期54-56,共3页
文章设计并制作了一种新颖的低成本、小体积、可手持的基于压控可变透镜的VOA(可调光衰减器)。该器件以具有圆柱状通孔的精密套管为透镜腔,套管的两端分别连接输入光纤连接器管脚和带外螺纹的输出光纤连接器管脚,形成"输入光纤+可... 文章设计并制作了一种新颖的低成本、小体积、可手持的基于压控可变透镜的VOA(可调光衰减器)。该器件以具有圆柱状通孔的精密套管为透镜腔,套管的两端分别连接输入光纤连接器管脚和带外螺纹的输出光纤连接器管脚,形成"输入光纤+可变透镜+输出光纤"的结构。通过螺旋套管的手动螺旋进动使液体透镜发生挤压形变以实现透镜焦距的调节,从而控制从输入光纤耦合到输出光纤的光强耦合效率以实现光的衰减可控调节。实验结果表明,这种光衰减器的衰减范围达到3~60dB。可用于实验教学等场合。 展开更多
关键词 压控可变透镜 可调光衰减器 手持式
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双折射率色散效应对液晶可调光衰减器的影响
9
作者 沈志学 张大勇 +2 位作者 李剑峰 骆永全 罗飞 《光通信研究》 北大核心 2010年第1期48-50,共3页
文章利用Jones矩阵方法计算和分析了双折射率色散效应对一种液晶可调光衰减器(VOA)衰减能力的影响。结果表明,当激光谱线宽度较窄时,双折射率色散效应将导致液晶VOA的光衰减能力大幅度减弱;反之,双折射率色散效应对液晶VOA光衰减能力的... 文章利用Jones矩阵方法计算和分析了双折射率色散效应对一种液晶可调光衰减器(VOA)衰减能力的影响。结果表明,当激光谱线宽度较窄时,双折射率色散效应将导致液晶VOA的光衰减能力大幅度减弱;反之,双折射率色散效应对液晶VOA光衰减能力的影响可以忽略,但液晶VOA本身的光衰减能力很低。因此,液晶VOA适用于较窄线宽的激光光源,在设计和使用时应充分考虑液晶双折射率色散效应对其光衰减能力的影响。 展开更多
关键词 液晶 可调光衰减器 双折射率色散 线宽 衰减能力
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一种基于SFP封装的数字可调光衰减器的实现
10
作者 朱静 尹邦政 《现代电子技术》 2013年第18期134-135,共2页
研制了一种基于SFP(Small Form-factor Pluggable)封装的数字可调光衰减器(VOA)模块。该可调光衰减器模块集成了微电子机械系统(MEMS)式的可调光衰减器(VOA)和精密电控制单元,采用标准的SFP封装和接口,实现小型化可插拔,高精度数字化衰... 研制了一种基于SFP(Small Form-factor Pluggable)封装的数字可调光衰减器(VOA)模块。该可调光衰减器模块集成了微电子机械系统(MEMS)式的可调光衰减器(VOA)和精密电控制单元,采用标准的SFP封装和接口,实现小型化可插拔,高精度数字化衰减功能。该VOA不仅具有SFP器件特有的高集成度和灵活配置等特点,支持热插拔和即插即用,同时还具有MEMS光衰减器固有的反应速度快、线性度好、高稳定性、高衰减等光学性能,因此在光网络通信设备和光传输系统中具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 SFP VOA MEMS 可调光衰减器 通信
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低功耗热光可调光衰减器的设计与制备 被引量:2
11
作者 代红庆 安俊明 +3 位作者 王玥 王红杰 吴远大 钟飞 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第8期584-588,共5页
可调光衰减器(VOA)是波分复用(WDM)系统中最重要的器件之一,它的主要功能是控制和衰减光信号。设计并制备了基于石英衬底的4通道马赫增德尔(Mach-Zehnder)干涉型热光可调光衰减器阵列。首先介绍了热光可调光衰减器的结构和原理,... 可调光衰减器(VOA)是波分复用(WDM)系统中最重要的器件之一,它的主要功能是控制和衰减光信号。设计并制备了基于石英衬底的4通道马赫增德尔(Mach-Zehnder)干涉型热光可调光衰减器阵列。首先介绍了热光可调光衰减器的结构和原理,模拟了在有外加偏压时的热场分布,然后介绍了器件的设计及制备工艺过程,并对所制备的器件进行测试。实验结果表明,制备器件的插入损耗小于1.1 dB,动态衰减范围为0~30 dB。在衰减量为30 dB时,外加偏压为12.5 V,功耗仅有120 mW。最后分析了测试结果,并提出了改善器件性能的方法。 展开更多
关键词 波分复用(WDM) 马赫增德尔干涉型 可调光衰减器(VOA) 石英衬底 低功耗
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MEMS可调光衰减器的波长相关损耗优化
12
作者 陈旭 万助军 +1 位作者 米仁杰 罗志祥 《光通信研究》 北大核心 2015年第6期49-52,共4页
基于MEMS(微机电系统)扭镜的光束偏转技术是实现VOA(可调光衰减器)的主流技术方案之一,但其存在WDL(波长相关损耗)较大的问题.通过分析WDL的成因,提出了-种优化设计方案.实验测得在波长范围1.53-1.57μm 与衰减范围0-20dB内,WDL... 基于MEMS(微机电系统)扭镜的光束偏转技术是实现VOA(可调光衰减器)的主流技术方案之一,但其存在WDL(波长相关损耗)较大的问题.通过分析WDL的成因,提出了-种优化设计方案.实验测得在波长范围1.53-1.57μm 与衰减范围0-20dB内,WDL最大为0.21dB,验证了理论分析的正确性. 展开更多
关键词 纤通信 可调光衰减器 波长相关损耗 微机电系统
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液晶可调光衰减器(LCVOA)
13
《光通信技术》 CSCD 北大核心 2003年第11期55-55,共1页
关键词 液晶可调光衰减器 LCVOA 密集波分复用系统 电性能 低功耗
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一种光开关集成可调衰减器的设计与应用
14
作者 李天文 胡薇 《光通信技术》 CSCD 北大核心 2008年第4期55-57,共3页
介绍了一种兼具光开关功能、低成本、小体积的静电驱动微电机系统(MEMS)可调光衰减器件。器件采用了静电驱动微反射镜和光纤三芯准直器,具有良好的光学性能和可靠性指标。给出了器件的衰减量和驱动电压的关系、光学性能的分析以及相关... 介绍了一种兼具光开关功能、低成本、小体积的静电驱动微电机系统(MEMS)可调光衰减器件。器件采用了静电驱动微反射镜和光纤三芯准直器,具有良好的光学性能和可靠性指标。给出了器件的衰减量和驱动电压的关系、光学性能的分析以及相关试验结果。对于该器件的灵活应用,介绍了一种PLC技术的,新型、实用、低成本的ROADM设计方案。 展开更多
关键词 微电机系统 开关 可调光衰减器 可重构的分插复用器件
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基于微流控技术的新型光衰减器器件设计 被引量:2
15
作者 郭安金 万静 《南京邮电大学学报(自然科学版)》 北大核心 2013年第5期45-48,共4页
采用液体作为光学器件元素,以微流控技术、电磁驱动技术及MOEMS技术相结合,提出一种新颖的可调光衰减器结构。通过电磁驱动装置控制衰减器中微流体的位置,实现光能量的可调衰减。以电磁驱动方式控制衰减器的调节,它的工作电压小、驱动... 采用液体作为光学器件元素,以微流控技术、电磁驱动技术及MOEMS技术相结合,提出一种新颖的可调光衰减器结构。通过电磁驱动装置控制衰减器中微流体的位置,实现光能量的可调衰减。以电磁驱动方式控制衰减器的调节,它的工作电压小、驱动行程大,且控制电路较为简单。该衰减器具有体积小、衰减范围大的特点,有利于光衰减器的集成化、微型化及制作。 展开更多
关键词 可调光衰减器 微流控技术 电磁驱动 MOEMS
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SOI基亚微米级光功率可调波分复用/解复用器
16
作者 袁配 吴远大 +2 位作者 王玥 安俊明 胡雄伟 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期198-203,共6页
设计并制作了基于绝缘体上硅(SOI)材料的16通道光功率可调波分复用/解复用器(VMUX/DEMUX),其信道间隔为200 GHz。该VMUX/DEMUX器件为阵列波导光栅和电吸收型可调光衰减器的单片集成。给出了器件的基本工作原理、基本结构以及器件的... 设计并制作了基于绝缘体上硅(SOI)材料的16通道光功率可调波分复用/解复用器(VMUX/DEMUX),其信道间隔为200 GHz。该VMUX/DEMUX器件为阵列波导光栅和电吸收型可调光衰减器的单片集成。给出了器件的基本工作原理、基本结构以及器件的结构参数值,并对器件进行了测试,且对测试结果进行了简单分析。测试结果显示,该VMUX/DEMUX器件的片上损耗为9.324~10.048 d B,串扰为6.5~8.2 d B;在20 d B衰减下,单通道最大功耗为87.98 m W;16通道中最快响应上升时间为34.5 ns,下降时间为37.0 ns,响应时间为71.5 ns,所有通道的响应时间均在100 ns以下。该器件整体尺寸为2.9 mm×1 mm,能够实现良好的波分复用/解复用及信道功率均衡的功能。 展开更多
关键词 阵列波导 可调光衰减器 波分复用 绝缘体上硅(SOI) 单片集成
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基于光腔环路衰荡光谱技术气体浓度测量的研究 被引量:1
17
作者 李文超 沙晓鹏 +3 位作者 刘正君 李志全 冯蕾 马伯华 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期831-835,共5页
为了实现痕量气体在线测量与分析,设计了光纤环路光腔衰荡多组分气体浓度在线测量系统;基于非线性光腔衰荡技术,利用所设计的系统对气体浓度在线测量并进行了实验分析;得出了同种气体不同浓度时光的吸收程度随时间变化的规律和1 ppb的... 为了实现痕量气体在线测量与分析,设计了光纤环路光腔衰荡多组分气体浓度在线测量系统;基于非线性光腔衰荡技术,利用所设计的系统对气体浓度在线测量并进行了实验分析;得出了同种气体不同浓度时光的吸收程度随时间变化的规律和1 ppb的分辨率。实验表明该方法对痕量气体的在线测量是有效的。 展开更多
关键词 气体浓度 在线测量 衰荡特性 掺铒纤放大器 可调光衰减器
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连续波激光衰荡痕量气体浓度测量系统的研究 被引量:1
18
作者 李志全 王会波 田秀仙 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1037-1041,共5页
介绍了一种新型的基于连续波激光光腔循环衰荡多组分气体浓度测量系统,并对设计过程中各主要器件的原理和作用进行了分析与研究。得出了七种特定峰值波长的光分别在对应浓度为100cm3/m3的七种气体中的衰荡时间,比较了不同浓度的同种气... 介绍了一种新型的基于连续波激光光腔循环衰荡多组分气体浓度测量系统,并对设计过程中各主要器件的原理和作用进行了分析与研究。得出了七种特定峰值波长的光分别在对应浓度为100cm3/m3的七种气体中的衰荡时间,比较了不同浓度的同种气体对光的吸收特性,研究了光的衰荡时间、环路损耗与气体对光的吸收系数和气体浓度的关系,提出了一种气体浓度在线测量的新方法。 展开更多
关键词 循环衰荡 增益可调掺铒纤放大器 可调光衰减器 衰荡时间 吸收系数 气体浓度
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光电子技术与器件 其他
19
《中国光学与应用光学》 2007年第4期77-79,共3页
关键词 器件 可变衰减器 可调衰减器 衰减器(电子电路) 开关 阴极 电子技术 缺陷模 受激子回波 空间滤波器 单模纤耦合器 高温超导 γ辐照 电阴极 低温退火 可调光衰减器 学低通滤波器 电流
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基于3μm-SOI的波分复用/解复用器与电吸收型VOA的单片集成(英文) 被引量:3
20
作者 袁配 王玥 +2 位作者 吴远大 安俊明 祝连庆 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第8期230-236,共7页
波分复用/解复用器与可调光衰减器的是光通信系统中的重要元器件。为了得到制备工艺简单、响应速度快的二者的单片集成芯片,并且考虑到其与其他不同光器件的集成可能性,在绝缘体上硅材料制作了16通道、信道间隔200GHz的阵列波导光栅复用... 波分复用/解复用器与可调光衰减器的是光通信系统中的重要元器件。为了得到制备工艺简单、响应速度快的二者的单片集成芯片,并且考虑到其与其他不同光器件的集成可能性,在绝缘体上硅材料制作了16通道、信道间隔200GHz的阵列波导光栅复用/解复用器与电吸收型可调光衰减器的单片集成。该器件的片上损耗小于7dB,串扰小于-22dB。电吸收型VOA在20dB的衰减量下的功耗为572mW(106mA,5.4V)。此外,该器件可以实现光功率的快速衰减,在0~5V的外加方波电压下,VOA上升及下降时间分别为50.5ns和48ns。 展开更多
关键词 阵列波导 可调光衰减器 硅基子学 绝缘体上硅
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