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一种适用于(10~10^(5))Pa气体质谱分析的可控取样系统的设计
1
作者
杨传森
郭宇扬
+7 位作者
刘迪
郑阳阳
卢耀文
王欢
宋春尧
陈俊儒
丁双
陈千睿
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025年第7期535-541,共7页
为了满足半导体制造、航天工程等领域对常压和中低真空气体取样的需求,文章设计了一种适用于(10~10^(5))Pa气体质谱分析的可控取样系统。系统由真空抽气模块、节流取样模块、真空测量模块、温控模块和数采与控制模块组成。通过毛细取样...
为了满足半导体制造、航天工程等领域对常压和中低真空气体取样的需求,文章设计了一种适用于(10~10^(5))Pa气体质谱分析的可控取样系统。系统由真空抽气模块、节流取样模块、真空测量模块、温控模块和数采与控制模块组成。通过毛细取样管和压电微调阀的两级压力可控衰减,结合双小孔流导元件的抽气流量控制,系统能够在不同压力下稳定采集气体样品。实验验证表明,该系统能够在(10~1×10^(5))Pa的待取样气体压力范围内,将质谱分析室压力稳定在(1×10^(−4)~1×10^(−3))Pa之间。系统可以与多种型号质谱计耦合,为宽压力范围气体质谱分析提供了较为可靠的取样解决方案。
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关键词
真空低压气体
压力衰减
可控取样
质谱分析
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职称材料
题名
一种适用于(10~10^(5))Pa气体质谱分析的可控取样系统的设计
1
作者
杨传森
郭宇扬
刘迪
郑阳阳
卢耀文
王欢
宋春尧
陈俊儒
丁双
陈千睿
机构
北京市真空计量检测工程技术研究中心
北京东方计量测试研究所
北京控制工程研究所
出处
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025年第7期535-541,共7页
基金
北京市科技新星项目(2022115)。
文摘
为了满足半导体制造、航天工程等领域对常压和中低真空气体取样的需求,文章设计了一种适用于(10~10^(5))Pa气体质谱分析的可控取样系统。系统由真空抽气模块、节流取样模块、真空测量模块、温控模块和数采与控制模块组成。通过毛细取样管和压电微调阀的两级压力可控衰减,结合双小孔流导元件的抽气流量控制,系统能够在不同压力下稳定采集气体样品。实验验证表明,该系统能够在(10~1×10^(5))Pa的待取样气体压力范围内,将质谱分析室压力稳定在(1×10^(−4)~1×10^(−3))Pa之间。系统可以与多种型号质谱计耦合,为宽压力范围气体质谱分析提供了较为可靠的取样解决方案。
关键词
真空低压气体
压力衰减
可控取样
质谱分析
Keywords
Vacuum low-pressure gas
Pressure attenuation
Controllable sampling
Mass spectrometry analysis
分类号
TB77 [一般工业技术—真空技术]
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1
一种适用于(10~10^(5))Pa气体质谱分析的可控取样系统的设计
杨传森
郭宇扬
刘迪
郑阳阳
卢耀文
王欢
宋春尧
陈俊儒
丁双
陈千睿
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025
0
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