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题名用于自适应光学系统的几种新型可变形反射镜
被引量：2
- 1
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作者
余洪斌
陈海清
竺子民
李俊
王忠
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机构
华中科技大学光电子工程系
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第5期64-67,共4页
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文摘
将MEMS技术用于自适应光学系统具有重大意义。本文从原理及制作工艺上论述了几种新型的可变形反射镜,为下一步的深入研究打下基础。
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关键词
硅微加工
自适应光学
可变形反射镜
MEMS技术
制作工艺
薄膜DMs
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Keywords
silicon micromachined
adaptive optics
deformable mirrors (DMs)
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分类号
TN256
[电子电信—物理电子学]
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题名星载自适应光学系统新型可变形反射镜的研究
被引量：1
- 2
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作者
余洪斌
陈海清
竺子民
张大成
李婷
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机构
华中科技大学光电子工程系
北京大学微电子学研究所微米/纳米加工技术国家重点实验室
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出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第4期352-355,共4页
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文摘
给出基于硅微加工技术的一种新型可变形反射镜的设计和加工方法。从静电驱动的角度阐述此种反射镜的结构设计原理,并对具体加工中的腐蚀和键合工艺进行了详细讨论。成功制造出有效反射面积为30 mm×30 mm,拥有49个静电驱动单元的可变形反射镜。
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关键词
可变形反射镜
体微加工
静电驱动
阳极键合
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Keywords
deformable mirror
bulk micromachining
electrostatic actuating
anodic bonding
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分类号
TN256
[电子电信—物理电子学]
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题名共形整流罩技术研究
被引量：3
- 3
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作者
李庆波
张健
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机构
哈尔滨工程大学
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出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第8期837-840,共4页
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文摘
由于共形光学技术对红外制导导弹的空气动力学性能提高明显,近年来对该领域研究的投入不断加大,文章通过对比安装有共形整流罩导弹与传统导弹的作战性能,说明了共形光学技术在提高导弹机动性和隐身性方面的优势,论述了共形光学研究领域的难点问题,详细介绍了固定校正器、反向旋转位相板、可变形性反射镜等几种设计方案,用于消除共形整流罩随扫描视场变化的像差,并对各方案的优点与不足进行了讨论,简单介绍了共形光学零件加工与检测技术,最后对共形光学的未来进行了展望。
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关键词
共形光学
红外制导
可变形反射镜
像差
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Keywords
conformal optics
infrared guidance
deformable mirror
aberration
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分类号
TH745
[机械工程—光学工程]
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题名光学相关论题
- 4
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出处
《中国光学与应用光学》
2007年第3期103-106,共4页
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关键词
光学相关
光学信息处理
大气光学湍流
光流场
不连续点
安徽光机所
大气湍流模拟器
光学学报
光电工程
微变形镜
湍流效应
可变形反射镜
短波辐射
高频辐射
电磁辐射
自适应光学系统
折射率结构常数
激光大气传输
波前测量
论题
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分类号
O43
[机械工程—光学工程]
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