-
题名星载静电加速度计加转回路建模与分析
被引量：1
- 1
-
-
作者
韩丰田
付荔
贺晓霞
-
机构
清华大学精密仪器及机械学系
北京环球信息应用开发中心
-
出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2011年第6期739-744,共6页
-
基金
中国科学院空间科学预先研究项目
自然科学基金资助项目(41074049)
-
文摘
新型等效原理实验通过检验两个相同材料但自旋运动有显著差异的宏观物体的自由落体运动来验证等效原理可能存在的破坏。根据新型等效原理空间实验的科学目标,提出了一种星载差分静电加速度计方案,设计了基于可变电容式电机原理的静电加转回路;在分析了作用于转子上的静电加转力矩、残余气体阻尼及磁场阻尼的基础上,建立了转子加转回路的动力学模型并进行了仿真分析;仿真结果表明,启动过程使转子达到目标转速(10 000 rpm)的启动时间为9.8天。静电加转方法可在电极筒上同时配置加转电极与悬浮电极,结构紧凑,同时避免了传统的异步电机加转产生的电磁干扰。
-
关键词
等效原理
静电加速度计
可变式电容电机
滑膜阻尼
-
Keywords
equivalence principle
electrostatic accelerometer
variable-capacitance motor
slide-film damping
-
分类号
U666.1
[交通运输工程—船舶及航道工程]
-
-
题名基于静电悬浮转子的硅微陀螺技术
被引量：7
- 2
-
-
作者
韩丰田
吴秋平
吴黎明
董景新
-
机构
清华大学精密仪器及机械学系
-
出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
2008年第3期339-342,347,共5页
-
基金
国家自然科学基金资助项目(50577036)
-
文摘
设计了一种转子采用五自由度静电悬浮的微机械陀螺。微陀螺基于玻璃-硅-玻璃键合的三明治结构、环形转子、体硅工艺、电容式位移检测方案;采用公共电极施加高频激励信号,基于隔离网络和频分复用的方法实现检测电极与加力电极的复用以简化陀螺结构;通过有源静电悬浮系统约束环形转子沿五自由度的运动,并提供足够的支承刚度;转子的转速控制基于三相可变电容式电机驱动方式,借助于检测转子与定子旋转电极的电容变化获得转子速度以实现转速闭环控制。目前已加工出基于深反应离子刻蚀工艺的微结构,采用基于DSP的数字控制器实现了环形转子的五自由度稳定悬浮。
-
关键词
硅微陀螺
静电悬浮
体硅工艺
电容式位移检测
可变电容式电机
-
Keywords
： micromachined gyroscope
electrostatic levitation
bulk micromachiningcapacitive position sensing
variable-capacitance motor
-
分类号
U666.1
[交通运输工程—船舶及航道工程]
-
