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题名有可动部件的人造卫星的自适应姿态控制
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作者
山田克彦
吉河章二
辛培庚
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出处
《控制工程（北京）》
1998年第6期32-39,共8页
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文摘
1 前言近年来具有天线和机械手臂等在大范围内运动的部件的人造卫星逐渐增多。这样的卫星中可动部件的运动是对卫星姿态的扰动,因此要加以补偿。这种情况下常用的方式是以角动量守恒定律为基础的前馈控制。亦即以运动部件的运动为基础计算出它的角动量,使姿态控制飞轮具有角动量以补偿该角动量的控制方法。该法是不提高控制增益,即可保持姿态精度的有效方法。为计算可动部件的角动量,要正确地弄清可动部件的数学模型。如果模型不正确,则模型误差部分即作为姿态扰动而作用于卫星。
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关键词
人造卫星
自适应
姿态控制
可动部件
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分类号
V448.22
[航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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题名基于带图形的硅衬底上制备硅薄膜的技术
被引量：4
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作者
张正元
徐世六
冯建
胡明雨
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机构
四川固体电路研究所军用模拟集成电路国防重点实验室
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05A期1401-1403,共3页
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基金
国防重点实验室重点基金项目资助(A1120060490)
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文摘
对硅基MEMS的可动部件很多都是采用在带图形的硅衬底上制备的硅薄膜通过深槽腐蚀释放获得的特点,开展在带图形的硅衬底上制备硅薄膜技术研究,得到一种通过两次硅硅键合、减薄抛光、一次湿法腐蚀硅相结合的在带图形的硅衬底上制备硅薄膜的有效方法,该方法制备出了的薄膜厚度为10μm,均匀性为±0.5μm,达到了厚膜SOI材料制备的指标要求,硅薄膜完好率达到70%以上,为硅基MEMS的可动部件的制备打下了坚实的基础.
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关键词
可动部件
硅薄膜
MEMS
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Keywords
movability parts
silicon film
MEMS
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分类号
TP212.12
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名超高真空粘附、摩擦实验装置的研制
被引量：1
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作者
戚震中
孙建三
周芷仙
刘玲
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机构
中科院固体物理所
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出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
1989年第3期185-188,共4页
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文摘
本文描述了我们研制的超高真空粘附、摩擦实验装置,实现了超高真空条件下原位分析不同固体表面对粘附、摩擦性能的影响。实验研究证明该装置性能稳定,能满足设计要求。
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关键词
摩擦性能
原位分析
粘附力
可动部件
残余气体
摩擦过程
真空度下降
接触电阻
测量系统
冷阴极
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分类号
TB7-55
[一般工业技术—真空技术]
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