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基于古斯汉欣效应的皮米级位移传感器的实验研究 被引量:3
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作者 胡红武 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期10-11,共2页
本文利用光束在对称双面金属包覆波导表面反射时古斯-汉欣(Goos-Hanchen)位移具有极大的增强效应,提出一种灵敏度的极高的新型位移传感器。与传统的光强传感器相比,这种传感器消除了光源的能量波动对灵敏度的影响,从而能够观测更加微小... 本文利用光束在对称双面金属包覆波导表面反射时古斯-汉欣(Goos-Hanchen)位移具有极大的增强效应,提出一种灵敏度的极高的新型位移传感器。与传统的光强传感器相比,这种传感器消除了光源的能量波动对灵敏度的影响,从而能够观测更加微小的位移变化。在实验上实现了8pm微小位移传感。研究表明,该器件测量实时性强、精确度较高、设备简单、成本低、易于调节等诸优点,预计在微加工等领域具有很高的研究和应用价值。 展开更多
关键词 衰减全反射 古斯汉欣效应 微小位移 传感器
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