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超声波电动机驱动大行程柔性导轨设计
1
作者
马洪文
姚绍明
谭久彬
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2004年第12期86-88,共3页
应用叠片式柔性铰链和压电陶瓷电动机 ,实现了一种大行程柔性导轨可以在保持柔性铰链高直线度的前提下 ,大幅度提高行程 ,同时还保持柔性铰链微位移工作台无机械爬行现象的优点。导轨应用超声波电动机作为叠片式柔性铰链工作台的驱动器 ...
应用叠片式柔性铰链和压电陶瓷电动机 ,实现了一种大行程柔性导轨可以在保持柔性铰链高直线度的前提下 ,大幅度提高行程 ,同时还保持柔性铰链微位移工作台无机械爬行现象的优点。导轨应用超声波电动机作为叠片式柔性铰链工作台的驱动器 ,驱动分辩率可达 2 0nm。
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关键词
叠片式柔性铰链
超声波电动机
有限元
机械爬行
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职称材料
题名
超声波电动机驱动大行程柔性导轨设计
1
作者
马洪文
姚绍明
谭久彬
机构
哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所
出处
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2004年第12期86-88,共3页
文摘
应用叠片式柔性铰链和压电陶瓷电动机 ,实现了一种大行程柔性导轨可以在保持柔性铰链高直线度的前提下 ,大幅度提高行程 ,同时还保持柔性铰链微位移工作台无机械爬行现象的优点。导轨应用超声波电动机作为叠片式柔性铰链工作台的驱动器 ,驱动分辩率可达 2 0nm。
关键词
叠片式柔性铰链
超声波电动机
有限元
机械爬行
Keywords
Laminated flexure hinge Ultrasonic motor Finite element method Mechanical creep
分类号
TH16 [机械工程—机械制造及自动化]
O242 [理学—计算数学]
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题名
作者
出处
发文年
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1
超声波电动机驱动大行程柔性导轨设计
马洪文
姚绍明
谭久彬
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2004
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