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微通道板输入电极对开口面积比的影响及改进研究
1
作者
王鹏飞
邱祥彪
+9 位作者
邵爱飞
孙赛林
丛晓庆
金戈
孙建宁
王健
乔芳建
高鹏
赵胜
陈坤杨
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第6期1158-1164,共7页
微通道板作为一种关键的电子倍增器件,广泛应用于诸多领域。分析了NiCr膜层作为微通道板的输入端电极时,对微通道板开口面积比的影响,建立了理论模型,计算了膜层厚度、镀膜深度等参数对开口面积比的影响。开展了2种减小开口面积比损失...
微通道板作为一种关键的电子倍增器件,广泛应用于诸多领域。分析了NiCr膜层作为微通道板的输入端电极时,对微通道板开口面积比的影响,建立了理论模型,计算了膜层厚度、镀膜深度等参数对开口面积比的影响。开展了2种减小开口面积比损失的镀膜研究:一是进行工艺调整,减弱合金蒸发的分馏效应,降低电极膜层的电阻率,开口面积比损失量降低约2%;二是改变镀膜方式,使用Ni、Cr金属单质镀制叠层薄膜,在镀膜过程中调控镍、铬的比例,将输入端电极中镍比例升高,同样可以降低电极膜层的电阻率,在满足面电阻要求的前提下,可减薄输入端膜层至86 nm,与300 nm厚度的常规镍铬合金膜层相比,MCP输入端的开口面积比损失量降低3%~4%,MCP增益提升6%。
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关键词
微通道板
开口面积比
输入
电极
叠层薄膜电极
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职称材料
题名
微通道板输入电极对开口面积比的影响及改进研究
1
作者
王鹏飞
邱祥彪
邵爱飞
孙赛林
丛晓庆
金戈
孙建宁
王健
乔芳建
高鹏
赵胜
陈坤杨
机构
北方夜视科技(南京)研究院有限公司
北方夜视技术股份有限公司
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第6期1158-1164,共7页
基金
国家自然科学基金青年基金项目(12003010)。
文摘
微通道板作为一种关键的电子倍增器件,广泛应用于诸多领域。分析了NiCr膜层作为微通道板的输入端电极时,对微通道板开口面积比的影响,建立了理论模型,计算了膜层厚度、镀膜深度等参数对开口面积比的影响。开展了2种减小开口面积比损失的镀膜研究:一是进行工艺调整,减弱合金蒸发的分馏效应,降低电极膜层的电阻率,开口面积比损失量降低约2%;二是改变镀膜方式,使用Ni、Cr金属单质镀制叠层薄膜,在镀膜过程中调控镍、铬的比例,将输入端电极中镍比例升高,同样可以降低电极膜层的电阻率,在满足面电阻要求的前提下,可减薄输入端膜层至86 nm,与300 nm厚度的常规镍铬合金膜层相比,MCP输入端的开口面积比损失量降低3%~4%,MCP增益提升6%。
关键词
微通道板
开口面积比
输入
电极
叠层薄膜电极
Keywords
micro-channel plate
opening area ratio
input electrode
laminated film electrode
分类号
TN233 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微通道板输入电极对开口面积比的影响及改进研究
王鹏飞
邱祥彪
邵爱飞
孙赛林
丛晓庆
金戈
孙建宁
王健
乔芳建
高鹏
赵胜
陈坤杨
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2022
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