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题名变面积结构微机械电容式加速度传感器
被引量：5
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作者
李宝清
陆德仁
王渭源
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机构
中国科学院上海冶金研究所
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出处
《中国工程科学》
2000年第2期36-40,共5页
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基金
国家攀登计划B微电子机械系统 (MEMS)资助项目!(8537)
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文摘
文章首次报道了一种基于面积可变电容结构的微机械加速度传感器。质量块呈栅状结构,由悬臂梁支撑。两组交叉放置的定电极位于质量块的正下方。在惯性力的作用下,质量块呈平行于衬底水平移动,引起由质量块的栅与定电极的叉指构成的差分电容变化。通过测量差分电容的变化,可以得到加速度信号的大小。理论分析表明加速度响应信号随面积呈线性变化,而与质量块及定电极的间距无关。加速度传感器的制作采用了基于金属电镀的准LIGA技术,设计量程为20m/s2。测量结果表明,加速度传感器量程为20m/s2,灵敏度为581mV/(m·s-2),非线性为4%FS。讨论了器件线性度不够理想的原因。
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关键词
电容
微机械加速度传感器
变面积结构
原理
制作
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Keywords
capacitance
accelerometer
area changeable
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分类号
TP212.1
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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