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题名基于变焦显微测量技术的键合金丝参数测量
被引量：1
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作者
马美铭
禹胜林
周为荣
张杰
王雨壮
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机构
南京信息工程大学电子与信息工程学院
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出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期26-31,共6页
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文摘
欧美国家在半导体行业一直以来对我国实行技术封锁政策,我国许多关键技术和设备只能依靠进口,其中就包括键合金丝参数测量设备。键合金丝参数测量设备主要用于自动检测键合金丝的拱高和跨度等参数。由于键合金丝的回波损耗、驻波等微波传输特性与键合金丝的拱高、跨度等参数呈对应关系,因此可以通过测量相关参数的方法来检测键合金丝的微波传输特性是否合格。通过这一方法可以解决人工测量导致的速率低下的问题,提高键合质量检测效率,降低检测成本。本文基于变焦显微测量技术实现了键合金丝参数的测量。该方法通过自主设计的图像采集平台,获取到键合金丝的一组图像,然后进行聚焦区域提取,从而实现键合金丝的三维重建及参数测量。该方法对键合金丝拱高的测量精度<0.01 mm,相对误差<1.5%,对键合金丝跨度的测量精度<0.005 mm,相对误差<0.7%,可以满足自动检测键合金丝参数的设计需求。
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关键词
键合金丝
变焦显微测量
聚焦区域提取
三维重建
参数测量
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Keywords
gold bonding wires
focus variation measurement
focus region extraction
3D reconstruction
parameter measurement
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分类号
TN385
[电子电信—物理电子学]
O766
[理学—晶体学]
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题名X波段T/R组件键合金丝的自动检测技术
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作者
马美铭
禹胜林
张杰
王雨壮
周为荣
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机构
南京信息工程大学电子与信息工程学院
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出处
《电子测量技术》
北大核心
2021年第17期118-122,共5页
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文摘
X波段T/R组件中,键合金丝的数量、长度、拱高、跨距、焊点位置等参数会对微波传输特性产生严重的影响。通过自动检测技术实现上述参数的自动检测,可以推断出X波段T/R组件键合质量是否合格。基于变焦显微测量技术,通过自主设计的图像采集平台,获取到键合金丝的一组图像,然后通过多聚焦图像融合、聚焦评价等图像处理技术,实现了键合金丝的拱高和跨度的微米级测量,测量结果相对误差小于0.7%。该方法该技术有利于提高金丝键合成品质量的检测效率,提高X波段T/R组件的生产效率。
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关键词
T/R组件
键合金丝
变焦显微测量
模板匹配
多聚焦图像融合
聚焦评价
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Keywords
T/R module
gold bonding wires
focus variation measurement
template matching
multi-focus image fusion
focus evaluation
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分类号
TP29
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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