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n-ZnO/p-AlGaN LED结构DFB激光器的设计与分析 被引量:1
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作者 王斐 胡芳仁 +1 位作者 陈凯文 潘凌楠 《光通信研究》 北大核心 2016年第3期53-55,61,共4页
根据严格耦合波理论和介质平板波导理论,利用Comsol Multiphysic软件仿真设计了基于单晶n-ZnO/p-AlGaN LED(发光二极管)结构的DFB(分布反馈)半导体激光器的光栅结构。针对LED结构加电压后发射近紫外光,分析了二维电场模式分布图,得出单... 根据严格耦合波理论和介质平板波导理论,利用Comsol Multiphysic软件仿真设计了基于单晶n-ZnO/p-AlGaN LED(发光二极管)结构的DFB(分布反馈)半导体激光器的光栅结构。针对LED结构加电压后发射近紫外光,分析了二维电场模式分布图,得出单纵模传输随着光栅不同参量的变化情况。分析表明,在4 V正向偏置电压下,当占空比为50%、光栅周期为109.2 nm、光栅高度为69.8 nm时,光谱线宽窄、单模选择性好,电场模达5.877 4×107V/m。为电泵浦DFB半导体激光器的设计与加工提供了一定的基础。 展开更多
关键词 发光二极管结构 分布反馈半导体激光器 氧化锌 电泵浦
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GaN基垂直结构LED的n型电极结构设计及芯片制备 被引量:5
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作者 刘丽 胡晓龙 王洪 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期338-345,共8页
首先利用电流路径模型分析n型电极尺寸及间距等对垂直结构发光二极管(VS-LEDs)电流分布均匀性的影响,依此设计出一种螺旋状环形结构电极。其次,通过建立有限元分析软件Comsol仿真模型模拟VSLEDs有源层的电流密度分布,发现螺旋状环形结... 首先利用电流路径模型分析n型电极尺寸及间距等对垂直结构发光二极管(VS-LEDs)电流分布均匀性的影响,依此设计出一种螺旋状环形结构电极。其次,通过建立有限元分析软件Comsol仿真模型模拟VSLEDs有源层的电流密度分布,发现螺旋状环形结构电极的环间距越小,电流密度分布越均匀。最后,利用VS-LEDs芯片制备技术实现具有螺旋状环形电极的垂直结构LED芯片。实验结果显示,在350 m A电流驱动下,电极环间距为146.25μm的芯片具有最大的功能转换效率,达到26.8%。 展开更多
关键词 氮化镓 垂直结构发光二极管 电流分布 螺旋状环形结构电极
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激光剥离GaN表面的抛光技术 被引量:1
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作者 应磊莹 刘文杰 +2 位作者 张江勇 胡晓龙 张保平 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第10期758-762,共5页
激光剥离(LLO)技术是研制新型氮化镓(GaN)基谐振腔结构光电子器件的关键技术。然而LLO后的GaN表面往往具有较大的粗糙度,而制作谐振腔结构器件需要很高的表面平整度,因此需要对LLO后的GaN表面进行抛光。分别采用金刚石粉抛光液和胶粒二... 激光剥离(LLO)技术是研制新型氮化镓(GaN)基谐振腔结构光电子器件的关键技术。然而LLO后的GaN表面往往具有较大的粗糙度,而制作谐振腔结构器件需要很高的表面平整度,因此需要对LLO后的GaN表面进行抛光。分别采用金刚石粉抛光液和胶粒二氧化硅抛光液进行机械抛光和化学机械抛光(CMP),并对比了两种方法获得的抛光结果,研究发现前者会在抛光后的GaN表面引入划痕,而采用后者可以得到亚纳米级平整度的表面。进一步的实验结果表明,胶粒二氧化硅抛光液同样适用于图形化衬底外延片激光剥离后的GaN表面抛光。 展开更多
关键词 激光剥离(LLO) GAN 化学机械抛光(CMP) 垂直结构发光二极管(VSLED) 谐振腔发光二极管(RCLED) 垂直腔面发射激光器(VCSEL)
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