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基于AR结构与FPI级联的游标效应增敏温度传感器
1
作者
孙远
周大海
刘理
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2023年第4期23-26,共4页
提出并实验验证了一种基于游标效应的超灵敏温度传感器,传感器由带有二氧化硅(SiO2)毛细管和空气腔的级联结构组成。毛细管可引起反谐振(AR)效应,空气腔具有法布里—珀罗干涉仪(FPI)的作用。利用FPI进行传感,毛细管作为混合级联传感器...
提出并实验验证了一种基于游标效应的超灵敏温度传感器,传感器由带有二氧化硅(SiO2)毛细管和空气腔的级联结构组成。毛细管可引起反谐振(AR)效应,空气腔具有法布里—珀罗干涉仪(FPI)的作用。利用FPI进行传感,毛细管作为混合级联传感器的参考干涉仪。实验结果表明:所提出的级联传感器的温度灵敏度显著提高,从0.477 nm/℃提高到2.43 nm/℃,与单一FPI相比,放大系数高达5.06。该传感器具有结构简单、性能稳定等优点。此外,基于AR效应的游标效应研究鲜有报道。
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关键词
法布里—珀罗干涉仪
反谐振效应
游标
效应
温度传感器
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职称材料
题名
基于AR结构与FPI级联的游标效应增敏温度传感器
1
作者
孙远
周大海
刘理
机构
华中科技大学光学与电子信息学院
江苏永鼎股份有限公司
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2023年第4期23-26,共4页
文摘
提出并实验验证了一种基于游标效应的超灵敏温度传感器,传感器由带有二氧化硅(SiO2)毛细管和空气腔的级联结构组成。毛细管可引起反谐振(AR)效应,空气腔具有法布里—珀罗干涉仪(FPI)的作用。利用FPI进行传感,毛细管作为混合级联传感器的参考干涉仪。实验结果表明:所提出的级联传感器的温度灵敏度显著提高,从0.477 nm/℃提高到2.43 nm/℃,与单一FPI相比,放大系数高达5.06。该传感器具有结构简单、性能稳定等优点。此外,基于AR效应的游标效应研究鲜有报道。
关键词
法布里—珀罗干涉仪
反谐振效应
游标
效应
温度传感器
Keywords
Fabry-Perot interferometer
anti-resonant effect
Vernier effect
temperature sensor
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN2 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
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1
基于AR结构与FPI级联的游标效应增敏温度传感器
孙远
周大海
刘理
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2023
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