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利用补偿提高精密定位平台的定位精度
被引量：
13
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作者
程维明
孙麟治
章海涛
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第5期884-888,共5页
运用反相补偿法原理,从误差曲线中分离出系统误差并与其反相曲线叠加以消除系统误差的影响。给出了对精密定位平台宏动工作台和微动工作台进行补偿的具体实例,补偿后定位误差分别从17.4μm改善到1.3μm和从137.6nm改善到22.2 nm。理论...
运用反相补偿法原理,从误差曲线中分离出系统误差并与其反相曲线叠加以消除系统误差的影响。给出了对精密定位平台宏动工作台和微动工作台进行补偿的具体实例,补偿后定位误差分别从17.4μm改善到1.3μm和从137.6nm改善到22.2 nm。理论分析和实验结果表明,反相补偿法对于降低系统误差十分有效,但对于随机误差效果不佳。
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关键词
精密定位工作台
系统误差
反相补偿法
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职称材料
数字仪表误差来源分析与非线性误差的改进措施
被引量：
2
2
作者
孙培强
同立民
+2 位作者
李卿
王娜
李毅
《现代电子技术》
2023年第18期53-56,共4页
数字仪表内部电路和结构比较复杂,在测量中会产生系统误差和随机误差,此外,测量方法、操作人员也会使仪表产生误差。仪表自身因素产生的误差来源有分压系数误差、输入放大器引起的误差、数/模转化误差、环境影响引起的误差、噪声和抗干...
数字仪表内部电路和结构比较复杂,在测量中会产生系统误差和随机误差,此外,测量方法、操作人员也会使仪表产生误差。仪表自身因素产生的误差来源有分压系数误差、输入放大器引起的误差、数/模转化误差、环境影响引起的误差、噪声和抗干扰能力引起的误差以及非线性误差等。文中重点研究非线性误差的改进措施,给出同相补偿法、反相补偿法、衰减同相补偿法三种电路补偿法来改进非线性误差。此外,创新性地提出一种数据修正法的理论模型,并给出数据修正法的适用范围。最后得出结论:高精度要求的数字仪表,应该使用电路补偿和数据修正相结合的方法,以更有效地消除非线性误差。
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关键词
数字仪表
误差来源
非线性误差
改进措施
同相
补偿法
反相补偿法
衰减同相
补偿法
数据修正法
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职称材料
题名
利用补偿提高精密定位平台的定位精度
被引量：
13
1
作者
程维明
孙麟治
章海涛
机构
上海工程技术大学机械工程学院
上海大学机电工程与自动化学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第5期884-888,共5页
基金
国家“863”高技术研究发展计划资助项目(No.2002AA404450)
教育部高等学校重点学科建设资助项目(No.Y0102)
上海市重点学科建设资助项目(No.BB67)
文摘
运用反相补偿法原理,从误差曲线中分离出系统误差并与其反相曲线叠加以消除系统误差的影响。给出了对精密定位平台宏动工作台和微动工作台进行补偿的具体实例,补偿后定位误差分别从17.4μm改善到1.3μm和从137.6nm改善到22.2 nm。理论分析和实验结果表明,反相补偿法对于降低系统误差十分有效,但对于随机误差效果不佳。
关键词
精密定位工作台
系统误差
反相补偿法
Keywords
precise positioning stage
system error
reverse compensation
分类号
TH703.6 [机械工程—精密仪器及机械]
TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
数字仪表误差来源分析与非线性误差的改进措施
被引量：
2
2
作者
孙培强
同立民
李卿
王娜
李毅
机构
西安计量技术研究院
陕西省计量科学研究院
出处
《现代电子技术》
2023年第18期53-56,共4页
文摘
数字仪表内部电路和结构比较复杂,在测量中会产生系统误差和随机误差,此外,测量方法、操作人员也会使仪表产生误差。仪表自身因素产生的误差来源有分压系数误差、输入放大器引起的误差、数/模转化误差、环境影响引起的误差、噪声和抗干扰能力引起的误差以及非线性误差等。文中重点研究非线性误差的改进措施,给出同相补偿法、反相补偿法、衰减同相补偿法三种电路补偿法来改进非线性误差。此外,创新性地提出一种数据修正法的理论模型,并给出数据修正法的适用范围。最后得出结论:高精度要求的数字仪表,应该使用电路补偿和数据修正相结合的方法,以更有效地消除非线性误差。
关键词
数字仪表
误差来源
非线性误差
改进措施
同相
补偿法
反相补偿法
衰减同相
补偿法
数据修正法
Keywords
digital instrument
error source
nonlinear error
improvement measures
in-phase compensation method
antiphase compensation method
attenuation in-phase compensation method
data correction method
分类号
TN98-34 [电子电信—信息与通信工程]
TM932 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
利用补偿提高精密定位平台的定位精度
程维明
孙麟治
章海涛
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
13
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职称材料
2
数字仪表误差来源分析与非线性误差的改进措施
孙培强
同立民
李卿
王娜
李毅
《现代电子技术》
2023
2
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职称材料
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