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PECVD进气盖板结构对腔室温度场影响规律研究
1
作者
齐熙展
田凤杰
崔雨
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025年第2期132-137,共6页
半导体薄膜沉积技术中反应腔室的温度控制直接影响晶圆沉积薄膜的质量与精度,为了良好实现在工艺过程中腔室温度的准确性和一致性,进行了腔室的重要部件进气盖板结构对温度场的影响特点及规律的研究。对进气盖板进行了结构拓扑设计、以...
半导体薄膜沉积技术中反应腔室的温度控制直接影响晶圆沉积薄膜的质量与精度,为了良好实现在工艺过程中腔室温度的准确性和一致性,进行了腔室的重要部件进气盖板结构对温度场的影响特点及规律的研究。对进气盖板进行了结构拓扑设计、以及整体腔室温度场的理论分析与仿真研究。对比仿真结果,分析盖板不同散热结构对腔室内温度场的分布和影响规律。研究结果发现:在不受射频干扰下,进气盖板的三种不同散热结构对腔室温度场没有明显影响。喷淋板下方2 mm处温度场温度分布均匀,随散热通道与腔室距离变化波动很小,整体温度呈中间高边缘低的特质。在射频的干扰下,散热通道与腔室距离越远,其对腔室温度控制能力变弱,腔室温度场的温度保持性会变差,温度一致性大大降低。
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关键词
芯片制造
反应腔室
温度控制
机构设计
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职称材料
压水反应堆下腔室流动特性数值模拟分析
被引量：
5
2
作者
郭超
魏超
+2 位作者
田欣鹭
万霞
李铁萍
《核科学与工程》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第3期353-358,共6页
压水反应堆冷却剂在下腔室内的流动间接影响着堆芯功率分布的变化,为了掌握某新型反应堆下腔室设计的内部冷却剂流动特性并获取重要的流动参数数据,采用ANSYS WORKBENCH建立了下腔室原型结构的三维全尺寸计算模型,利用计算流体力学程序...
压水反应堆冷却剂在下腔室内的流动间接影响着堆芯功率分布的变化,为了掌握某新型反应堆下腔室设计的内部冷却剂流动特性并获取重要的流动参数数据,采用ANSYS WORKBENCH建立了下腔室原型结构的三维全尺寸计算模型,利用计算流体力学程序CFX对冷却剂在下腔室内的流动过程进行了数值模拟,获得了最佳估算流量条件下的下腔室内部流场和压力场分布,以及下腔室出口区域的流量分配以及典型结构的压降。计算结果表明该反应堆下腔室的冷却剂出口流量整体分配均匀,但呈现从中心区域到边缘区域的缓慢衰减;内部冷却剂流动导致的最大压力出现在四个径向支承块位置;下腔室内部典型结构的流动阻力大小依次为二次支承组件,均流板和堆芯支承下板。
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关键词
反应
堆下
腔
室
流场
数值模拟
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职称材料
AP1000 ADS-4阀门夹带卸压实验模化分析
3
作者
孙都成
田文喜
+4 位作者
秋穗正
苏光辉
张鹏
刘建昌
马盈盈
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期285-291,共7页
本文对AP1000ADS-4阀门开启后反应堆冷却剂系统(RCS)的夹带卸压现象进行限直径、降高度、等物性模化分析。主要包含ADS-4阀门支管夹带模化、RCS降压模化及反应堆上腔室夹带沉积模化。通过选择合理的无量纲准则数和对守恒方程进行无量纲...
本文对AP1000ADS-4阀门开启后反应堆冷却剂系统(RCS)的夹带卸压现象进行限直径、降高度、等物性模化分析。主要包含ADS-4阀门支管夹带模化、RCS降压模化及反应堆上腔室夹带沉积模化。通过选择合理的无量纲准则数和对守恒方程进行无量纲分析,获得相关热工水力现象的模化准则,最终得到实验台架几何和热工水力参数。
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关键词
实验模化
ADS-4阀门支管夹带
RCS降压
反应
堆上
腔
室
夹带
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职称材料
题名
PECVD进气盖板结构对腔室温度场影响规律研究
1
作者
齐熙展
田凤杰
崔雨
机构
沈阳理工大学机械工程学院
拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
出处
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025年第2期132-137,共6页
文摘
半导体薄膜沉积技术中反应腔室的温度控制直接影响晶圆沉积薄膜的质量与精度,为了良好实现在工艺过程中腔室温度的准确性和一致性,进行了腔室的重要部件进气盖板结构对温度场的影响特点及规律的研究。对进气盖板进行了结构拓扑设计、以及整体腔室温度场的理论分析与仿真研究。对比仿真结果,分析盖板不同散热结构对腔室内温度场的分布和影响规律。研究结果发现:在不受射频干扰下,进气盖板的三种不同散热结构对腔室温度场没有明显影响。喷淋板下方2 mm处温度场温度分布均匀,随散热通道与腔室距离变化波动很小,整体温度呈中间高边缘低的特质。在射频的干扰下,散热通道与腔室距离越远,其对腔室温度控制能力变弱,腔室温度场的温度保持性会变差,温度一致性大大降低。
关键词
芯片制造
反应腔室
温度控制
机构设计
Keywords
Chip manufacturing
Reaction chamber
Temperature control
Mechanism design
分类号
TB71 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
压水反应堆下腔室流动特性数值模拟分析
被引量：
5
2
作者
郭超
魏超
田欣鹭
万霞
李铁萍
机构
环境保护部核与辐射安全中心
出处
《核科学与工程》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第3期353-358,共6页
基金
国家科技重大专项(2015ZX06002007-003)
文摘
压水反应堆冷却剂在下腔室内的流动间接影响着堆芯功率分布的变化,为了掌握某新型反应堆下腔室设计的内部冷却剂流动特性并获取重要的流动参数数据,采用ANSYS WORKBENCH建立了下腔室原型结构的三维全尺寸计算模型,利用计算流体力学程序CFX对冷却剂在下腔室内的流动过程进行了数值模拟,获得了最佳估算流量条件下的下腔室内部流场和压力场分布,以及下腔室出口区域的流量分配以及典型结构的压降。计算结果表明该反应堆下腔室的冷却剂出口流量整体分配均匀,但呈现从中心区域到边缘区域的缓慢衰减;内部冷却剂流动导致的最大压力出现在四个径向支承块位置;下腔室内部典型结构的流动阻力大小依次为二次支承组件,均流板和堆芯支承下板。
关键词
反应
堆下
腔
室
流场
数值模拟
Keywords
Lower plenum of reactor
Flow field
Numerical simulation
分类号
TL334 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
AP1000 ADS-4阀门夹带卸压实验模化分析
3
作者
孙都成
田文喜
秋穗正
苏光辉
张鹏
刘建昌
马盈盈
机构
西安交通大学动力工程多相流国家重点实验室
西安交通大学核科学与技术学院
国家核电技术研发中心
出处
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期285-291,共7页
基金
大型先进压水堆核电站重大专项课题资助项目(2011ZX06004-007)
文摘
本文对AP1000ADS-4阀门开启后反应堆冷却剂系统(RCS)的夹带卸压现象进行限直径、降高度、等物性模化分析。主要包含ADS-4阀门支管夹带模化、RCS降压模化及反应堆上腔室夹带沉积模化。通过选择合理的无量纲准则数和对守恒方程进行无量纲分析,获得相关热工水力现象的模化准则,最终得到实验台架几何和热工水力参数。
关键词
实验模化
ADS-4阀门支管夹带
RCS降压
反应
堆上
腔
室
夹带
Keywords
experiment scaling
ADS-4branch line entrainment
RCS depressurization
reactor upper plenum entrainment
分类号
TL333 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
PECVD进气盖板结构对腔室温度场影响规律研究
齐熙展
田凤杰
崔雨
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025
0
在线阅读
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职称材料
2
压水反应堆下腔室流动特性数值模拟分析
郭超
魏超
田欣鹭
万霞
李铁萍
《核科学与工程》
CAS
CSCD
北大核心
2018
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
AP1000 ADS-4阀门夹带卸压实验模化分析
孙都成
田文喜
秋穗正
苏光辉
张鹏
刘建昌
马盈盈
《原子能科学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
0
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职称材料
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