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混合集成微型光纤光谱仪的实验测定 被引量:5
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作者 陈刚 温志渝 +2 位作者 温中泉 蒋子平 黄尚廉 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第6期1232-1237,共6页
文中简述了所研制微型光谱仪的基本原理和基本结构,并对该微型光谱仪进行了实验测试和标定。在实验中采用汞灯作为测试所用的光源,分别使用不同芯径和数值孔径的光纤作为光输入元件,实验结果表明该光谱仪具有很好的线性度,在采用50μm... 文中简述了所研制微型光谱仪的基本原理和基本结构,并对该微型光谱仪进行了实验测试和标定。在实验中采用汞灯作为测试所用的光源,分别使用不同芯径和数值孔径的光纤作为光输入元件,实验结果表明该光谱仪具有很好的线性度,在采用50μm的多模光纤时,光谱分辨率可达13.8nm,在采用9μm的单模光纤时分辨率可以达到5.5nm。 展开更多
关键词 反射式混合集成微型光纤光谱仪 结构 实验测试 微型光机电系统 光电阵列探测器
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光谱仪的微小型化 被引量:6
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作者 鞠挥 吴一辉 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第z1期131-133,共3页
光谱仪是种类繁多、应用极为广泛的一种理化分析仪器 ,微加工技术的发展和 MOEMS技术的出现为其微小型化提供了可能性 ,本文着重就采用新型滤光技术的微型光谱仪、利用光纤制作的微型光谱仪以及集成式光谱仪进行介绍。
关键词 MOEMS 微型 光纤 光谱仪 集成
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