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题名利用反射式圆光栅的振镜转角测量
被引量：8
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作者
刘永坤
丁红昌
向阳
吕思航
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机构
长春理工大学光电工程学院
长春理工大学机电工程学院
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出处
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第3期643-651,共9页
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基金
国家重点研发计划重大科学仪器设备开发(No.2017YFF0105304)
吉林省科技发展计划重点研发项目(No.20200401117GX)。
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文摘
为了实现振镜旋转角度的高精度测量,设计了一种利用反射式圆形衍射光栅的角度测量系统,对该系统的测量原理、测量过程、测量精度等进行了相应的设计、仿真与验证。设计与振镜同轴的反射镜,搭配反射式圆光栅以及光敏检测器件,利用反射式圆光栅产生的±1级衍射光干涉,把振镜转角位移量转化为干涉条纹光强的变化,以实现振镜转角的测量。实验结果表明:该测量系统能实现振镜±10°的角度测量,测量精度为10″。实现了振镜旋转角度的高精度测量,并且该装置结构紧凑,满足扫描振镜的小巧化设计需求。
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关键词
角度测量
反射式圆光栅
振镜转角
衍射光干涉
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Keywords
angle measurement
reflective circular grating
galvanometer rotation angle
diffracted light interference
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分类号
O436.1
[机械工程—光学工程]
O713.1
[理学—晶体学]
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题名反射式计量圆光栅自动检测系统的设计
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作者
张晰
杨建新
陈赟
张宏胜
韩庆阳
高胜英
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机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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出处
《电子测量技术》
2019年第2期63-66,共4页
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文摘
精度和均匀性是评价计量光栅的重要参数,针对反射式计量圆光栅均匀性和精度的检测,设计了一套自动检测系统,系统在原定角检验仪的基础上,增加了反射式读数系统,通过信号采集卡并配合小型编码器将传感器的信号和位置信息传给计算机,然后通过LabVIEW平台对数据进行算法处理,实现自动检测和过程控制,最终计算出圆光栅误差并将结果归档和打印输出。并对32768线的反射式计量圆光栅进行精度和均匀性实际测量,检测其精度为±0.75″均匀性为4.2%。系统测量速度快,精度高,稳定性好。简化了传统检测设备和调试步骤,实现对计量圆光栅精度和均匀性检测的自动化。
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关键词
反射式圆光栅
精度
均匀性误差
LABVIEW
自动检测
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Keywords
reflective metrological radial grating
precision
uniformity error
LabVIEW
automatic detection
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分类号
TP274
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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