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基于液相AFM及干涉频谱法的多孔氧化铝薄膜在线测量系统研究
1
作者
刘超
张冬仙
章海军
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第7期1679-1683,共5页
介绍了多孔氧化铝薄膜(PA)厚度在线测量系统的工作原理、系统结构及独特性能。在白光(宽光谱)照射下,薄膜的上表面和下表面反射的两路光线发生干涉,产生了携带薄膜光学厚度信息的反射光谱。同时,利用液相原子力显微镜(AFM)实时获得的PA...
介绍了多孔氧化铝薄膜(PA)厚度在线测量系统的工作原理、系统结构及独特性能。在白光(宽光谱)照射下,薄膜的上表面和下表面反射的两路光线发生干涉,产生了携带薄膜光学厚度信息的反射光谱。同时,利用液相原子力显微镜(AFM)实时获得的PA膜的表面形貌信息,根据膜系统的Maxwell-Garnette有效介电常数理论,经相干势近似计算得到薄膜的有效折射率,进而得到此时PA膜的物理厚度。使用该系统对PA膜氧化制备过程进行了在线扫描和膜厚测量试验,成功的获得了PA样品的实时表面形貌图像,得到样品的孔隙率和有效折射率。并根据样品反射光谱,利用反射干涉频谱法计算得到氧化150和180min时,PA膜厚分别为5.35和6.25μm。本系统具有测量简便、实时性好、无损及测量精确的特点,在实时测量和监控膜厚的同时可获得样品的表面形貌、孔隙率、有效折射率等信息。
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关键词
多孔氧化铝
液相原子力显微镜
空隙率
反射干涉频谱法
在线测量
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职称材料
表面平整度测量的新方法研究
被引量：
1
2
作者
孙艳
王昭
谭玉山
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第3期314-317,共4页
介绍了用反射干涉频谱法测量透明或半透明薄膜表面平整度的方法 ,薄膜厚度的测量范围约在 0 2～ 2 0 μm(小于 2 0μm)之间 .在对二氧化硅薄膜的测试中 ,该测试方法与椭圆偏振仪的测试结果相比较 ,其纵向测量误差小于 2nm .通过光纤传...
介绍了用反射干涉频谱法测量透明或半透明薄膜表面平整度的方法 ,薄膜厚度的测量范围约在 0 2～ 2 0 μm(小于 2 0μm)之间 .在对二氧化硅薄膜的测试中 ,该测试方法与椭圆偏振仪的测试结果相比较 ,其纵向测量误差小于 2nm .通过光纤传感器在薄膜上的移动 ,对薄膜上各点的反射光谱进行分析 ,得到各点的厚度 .通过步进电机的移动 ,连续测量膜上不同点的厚度 ,从而获得薄膜的表面形貌 .该方法对薄膜无破坏作用 ,且无需测量干涉条纹 ,与其他的非接触式测试方法相比较 ,具有无横向测试范围限制、测试系统结构简单、测试精度高、测试结果可靠的特点 。
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关键词
表面平整度
测量方
法
表面微观形貌
反射干涉频谱法
薄膜测量
测试精度
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职称材料
题名
基于液相AFM及干涉频谱法的多孔氧化铝薄膜在线测量系统研究
1
作者
刘超
张冬仙
章海军
机构
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第7期1679-1683,共5页
基金
国家教育部博士点基金项目(2000033516)资助
文摘
介绍了多孔氧化铝薄膜(PA)厚度在线测量系统的工作原理、系统结构及独特性能。在白光(宽光谱)照射下,薄膜的上表面和下表面反射的两路光线发生干涉,产生了携带薄膜光学厚度信息的反射光谱。同时,利用液相原子力显微镜(AFM)实时获得的PA膜的表面形貌信息,根据膜系统的Maxwell-Garnette有效介电常数理论,经相干势近似计算得到薄膜的有效折射率,进而得到此时PA膜的物理厚度。使用该系统对PA膜氧化制备过程进行了在线扫描和膜厚测量试验,成功的获得了PA样品的实时表面形貌图像,得到样品的孔隙率和有效折射率。并根据样品反射光谱,利用反射干涉频谱法计算得到氧化150和180min时,PA膜厚分别为5.35和6.25μm。本系统具有测量简便、实时性好、无损及测量精确的特点,在实时测量和监控膜厚的同时可获得样品的表面形貌、孔隙率、有效折射率等信息。
关键词
多孔氧化铝
液相原子力显微镜
空隙率
反射干涉频谱法
在线测量
Keywords
Porous alumina
AFM in liquid
Pore-ratio
Reflectometrie interference speetroseopy
In-situ thickness measurement
分类号
O657.3 [理学—分析化学]
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职称材料
题名
表面平整度测量的新方法研究
被引量：
1
2
作者
孙艳
王昭
谭玉山
机构
西安交通大学机械工程学院
出处
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第3期314-317,共4页
基金
教育部教育"振兴计划"资助项目
文摘
介绍了用反射干涉频谱法测量透明或半透明薄膜表面平整度的方法 ,薄膜厚度的测量范围约在 0 2～ 2 0 μm(小于 2 0μm)之间 .在对二氧化硅薄膜的测试中 ,该测试方法与椭圆偏振仪的测试结果相比较 ,其纵向测量误差小于 2nm .通过光纤传感器在薄膜上的移动 ,对薄膜上各点的反射光谱进行分析 ,得到各点的厚度 .通过步进电机的移动 ,连续测量膜上不同点的厚度 ,从而获得薄膜的表面形貌 .该方法对薄膜无破坏作用 ,且无需测量干涉条纹 ,与其他的非接触式测试方法相比较 ,具有无横向测试范围限制、测试系统结构简单、测试精度高、测试结果可靠的特点 。
关键词
表面平整度
测量方
法
表面微观形貌
反射干涉频谱法
薄膜测量
测试精度
Keywords
Optical fibers
Optical sensors
Silicon
Spectrophotometers
分类号
O484.5 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于液相AFM及干涉频谱法的多孔氧化铝薄膜在线测量系统研究
刘超
张冬仙
章海军
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
表面平整度测量的新方法研究
孙艳
王昭
谭玉山
《西安交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
1
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职称材料
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