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题名高速宏微运动平台及精密定位方法
被引量：6
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作者
张金迪
高健
谭宇韬
张揽宇
赵光同
万宇
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机构
广东工业大学微电子精密制造技术与装备教育部重点实验室
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出处
《制造技术与机床》
北大核心
2019年第8期117-121,共5页
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基金
国家自然科学基金项目(51675106,U1601202)
广东高校建设重大科研项目(17ZK0091)
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文摘
围绕微电子精密制造封装装备的高性能要求,在宏微复合定位技术的基础上,提出一种新型宏微复合精密定位平台及其精密定位方法。首先利用ADAMS/view对平台进行动力学分析与仿真,明确弹簧刚度与预紧力因素对系统性能的影响,使得符合封装装备高频往复的工作要求。然后提出宏微复合运动的PID切换控制方法,实现平台的控制系统开发,搭建其宏微复合定位平台,并开展其定位性能的实验。结果表明,在速度为0.25m/s,加速度为5g的20mm运行条件下,平台能够实现40nm的定位精度且稳定时间小于105ms。
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关键词
宏微复合平台
音圈电动机
压电陶瓷
双pid定位方法
动力学
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Keywords
macro micro composite stage
voice coil motor
piezoelectric ceramic
dual pid control
dynamic
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分类号
TH-39
[机械工程]
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