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超精密机床宏/微双驱动微位移机构的设计与控制(英文)
被引量：
5
1
作者
李国
王波
+1 位作者
董申
王石磊
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期1426-1430,共5页
提出了一种宏/微双驱动微进给机构的设计与控制方法。介绍了宏/微双驱动微位移机构的结构设计,将宏动(大行程)和微动(高分辨率)两者串联以获得理想的运动性能。该机构用步进电机作为宏动的驱动装置以获得大行程和高响应速度,用压电陶瓷...
提出了一种宏/微双驱动微进给机构的设计与控制方法。介绍了宏/微双驱动微位移机构的结构设计,将宏动(大行程)和微动(高分辨率)两者串联以获得理想的运动性能。该机构用步进电机作为宏动的驱动装置以获得大行程和高响应速度,用压电陶瓷微位移器作为精密运动以提高运动分辨率和运动精度。设计了该机构的控制系统,用一个基于模型的开关控制器对微位移装置进行控制,并设计专门的运动分配模块对宏/微运动进行协调控制。最后,分别控制宏动和微动装置对该系统进行了实验,并用激光干涉仪检测。检测结果表明,宏动装置的行程为90mm,运动分辨率为0.3μm;压电陶瓷微动装置的行程为40μm,定位精度为0.9μm。理论分析和实验结果均表明了控制策略的有效性。
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关键词
双驱动微位移器
开关控制
器
控制策略
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职称材料
题名
超精密机床宏/微双驱动微位移机构的设计与控制(英文)
被引量：
5
1
作者
李国
王波
董申
王石磊
机构
哈尔滨工业大学精密工程研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第6期1426-1430,共5页
基金
Supported by the National Natural Science Foundation of China(Grant No .50535020
5075055)
文摘
提出了一种宏/微双驱动微进给机构的设计与控制方法。介绍了宏/微双驱动微位移机构的结构设计,将宏动(大行程)和微动(高分辨率)两者串联以获得理想的运动性能。该机构用步进电机作为宏动的驱动装置以获得大行程和高响应速度,用压电陶瓷微位移器作为精密运动以提高运动分辨率和运动精度。设计了该机构的控制系统,用一个基于模型的开关控制器对微位移装置进行控制,并设计专门的运动分配模块对宏/微运动进行协调控制。最后,分别控制宏动和微动装置对该系统进行了实验,并用激光干涉仪检测。检测结果表明,宏动装置的行程为90mm,运动分辨率为0.3μm;压电陶瓷微动装置的行程为40μm,定位精度为0.9μm。理论分析和实验结果均表明了控制策略的有效性。
关键词
双驱动微位移器
开关控制
器
控制策略
Keywords
dual-stage drive micro displacement system
switching controller
control algorithm
分类号
TH703.8 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
超精密机床宏/微双驱动微位移机构的设计与控制(英文)
李国
王波
董申
王石磊
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
5
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