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高精度高测速双纵模热稳频激光干涉仪研究
被引量：
2
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作者
周秀云
张涛
程玉华
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期451-454,共4页
现代机械工业的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1000mm/s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能满足这一要求。为此该文采用长度为206mm、频差约728MHz的普通全内腔He-Ne热稳频激光器为光源,外加带有高频振荡器形成...
现代机械工业的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1000mm/s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能满足这一要求。为此该文采用长度为206mm、频差约728MHz的普通全内腔He-Ne热稳频激光器为光源,外加带有高频振荡器形成的交流信号进行脉冲计数的信号处理电路,构成高精度高速双纵模热稳频激光干涉仪。通过实验对干涉仪的测量速度和精度进行了验证,其精度达到0.1μm/800mm。实验证明,该干涉仪可以对速度为1000mm/s的运动物体进行位移和速度测量。
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关键词
双频
激光
干涉仪
:
频
差
:
高
精度高
测速
热稳
频
激光
器
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职称材料
题名
高精度高测速双纵模热稳频激光干涉仪研究
被引量：
2
1
作者
周秀云
张涛
程玉华
机构
电子科技大学自动化学院
四川大学激光应用技术研究所
出处
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第3期451-454,共4页
基金
国家自然科学基金(50275101)
四川省科技攻关项目(03SG1230)
文摘
现代机械工业的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1000mm/s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能满足这一要求。为此该文采用长度为206mm、频差约728MHz的普通全内腔He-Ne热稳频激光器为光源,外加带有高频振荡器形成的交流信号进行脉冲计数的信号处理电路,构成高精度高速双纵模热稳频激光干涉仪。通过实验对干涉仪的测量速度和精度进行了验证,其精度达到0.1μm/800mm。实验证明,该干涉仪可以对速度为1000mm/s的运动物体进行位移和速度测量。
关键词
双频
激光
干涉仪
:
频
差
:
高
精度高
测速
热稳
频
激光
器
Keywords
dual-frequency laser interferometer
frequency difference
high precision and highmeasurement speed
thermal frequency stabilization laser
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
高精度高测速双纵模热稳频激光干涉仪研究
周秀云
张涛
程玉华
《电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
2
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