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题名基于双面多级微结构的柔性电容式压力传感器
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作者
黄梁松
王硕
张鹏
张坤
杜明超
黄鑫
步晓飞
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机构
山东科技大学电气与自动化工程学院
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第10期1692-1699,共8页
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基金
国家自然科学基金重大研究计划项目(91848206)。
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文摘
柔性压力传感器作为可穿戴智能设备的重要组成部分,在人体行为监测、电子皮肤系统等方面有广泛的应用。为了进一步利用微结构对柔性传感器灵敏度的提升效果,采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)与碳黑(CB)、多壁碳纳米管(MWCNTs)混合成导电材料并复制砂纸表面微结构作为上下电极层,用PDMS复制弧形凸起和砂纸微结构组成双面微结构介电层,设计成基于双面多级微结构的柔性电容式压力传感器。两种微结构的组合使得传感器的性能有了明显的提高,具有高的灵敏度(1.2875 kPa^(-1),<0.1 kPa),宽的检测范围(可达100 kPa),快的响应时间(80 ms),并保持良好的重复稳定性。结果表明:该传感器能够在人体行为监测以及其他应用方面发挥理想的性能。
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关键词
电容式压力传感器
双面微结构
多级微结构
人体行为监测
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Keywords
capacitive pressure sensor
double-sided microstructure
multistage microstructure
human behavior monitoring
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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