期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
基于正交双轴激光干涉仪的二维光栅校准系统误差分析
被引量：
1
1
作者
董欣媛
孙双花
+3 位作者
崔京远
沈雪萍
段发阶
汪书辉
《计量学报》
CSCD
北大核心
2019年第S01期36-41,共6页
为了提高二维光栅系统的校准精度,建立了国家二维光栅校准标准装置并开展了试验研究.基于双轴正交激光干涉仪的二维光栅校准方法,建立了共平面运动结构的二维光栅校准试验装置,开发了基于C#的上位机自动控制测量程序实现自动校准;分析...
为了提高二维光栅系统的校准精度,建立了国家二维光栅校准标准装置并开展了试验研究.基于双轴正交激光干涉仪的二维光栅校准方法,建立了共平面运动结构的二维光栅校准试验装置,开发了基于C#的上位机自动控制测量程序实现自动校准;分析装置运动过程中几何误差对二维光栅校准结果的影响,提出角误差修正的黑箱模型,并使用MATLAB对安装平面作最小二乘拟合.
展开更多
关键词
计量学
二维光栅
双轴激光干涉仪
最小二乘平面拟合
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
基于正交双轴激光干涉仪的二维光栅校准系统误差分析
被引量：
1
1
作者
董欣媛
孙双花
崔京远
沈雪萍
段发阶
汪书辉
机构
天津大学精密仪器与光电子工程学院
中国计量科学研究院
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2019年第S01期36-41,共6页
基金
国家重点研发计划项目(2017YFF0204803)
文摘
为了提高二维光栅系统的校准精度,建立了国家二维光栅校准标准装置并开展了试验研究.基于双轴正交激光干涉仪的二维光栅校准方法,建立了共平面运动结构的二维光栅校准试验装置,开发了基于C#的上位机自动控制测量程序实现自动校准;分析装置运动过程中几何误差对二维光栅校准结果的影响,提出角误差修正的黑箱模型,并使用MATLAB对安装平面作最小二乘拟合.
关键词
计量学
二维光栅
双轴激光干涉仪
最小二乘平面拟合
Keywords
metrology
two-dimensional grating
dual-axis laser interferometer
least squares plane fitting
分类号
TB921 [机械工程—测试计量技术及仪器]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于正交双轴激光干涉仪的二维光栅校准系统误差分析
董欣媛
孙双花
崔京远
沈雪萍
段发阶
汪书辉
《计量学报》
CSCD
北大核心
2019
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
