硅加速度传感器芯片的优化设计研究

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作者 邓永和 李玉琮 许迈昌 《电子产品可靠性与环境试验》 2003年第5期42-44,共3页

介绍了最新设计的双E型硅传感器芯片的结构及其形成工艺。通过控制不同的敏感硅芯片弹性膜的 厚度,即可制得不同量程的双E型敏感硅芯片和加速度传感器。

关键词 硅芯片 加速度传感器 优化设计

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新颖型弹性膜硅加速度传感器芯片的设计

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作者 邓永和 《电子质量》 2003年第8期J009-J010,共2页

介绍了最新设计的双E型硅传感器芯片的制作工艺。通过控制不同敏感硅芯片弹性膜的厚度,即可制得不同量程的双E型敏感硅芯片和加速度传感器。

关键词 双E型硅传感器芯片 制作工艺 硅芯片 弹性膜 加速度传感器

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特种压阻式加速度传感器的研制 被引量：3

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作者 赵立波 赵玉龙 蒋庄德 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1049-1052,共4页

通过动力学分析和有限元模拟,设计出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构.采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了高精度、高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片,通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处,利用激光焊接... 通过动力学分析和有限元模拟,设计出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构.采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了高精度、高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片,通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处,利用激光焊接工艺,制造了量程为±20 km/s2、过载能力为30倍满量程的特种压阻式加速度传感器.实验表明,在对传感器施加集中载荷和动态冲击的条件下,传感器可达到静态精度为0.86%满量程、动态响应频率为3.43 kHz的技术指标,从而满足了非常规武器在触发控制等特殊领域的应用要求. 展开更多

关键词 微型机械电子系统 固态压阻平膜芯片 弹性梁 高过载 加速度传感器

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飞思卡尔为消费电子应用提供双轴向传感器——MMA6200Q系列XY-轴高灵敏度加速度传感器

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《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第9期66-67,共2页

关键词 飞思卡尔公司 双轴向传感器 MMA6200Q系列 加速度传感器

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湘潭大学研制成功国内首款石油勘探用MEMS加速度传感器伺服电路SOC芯片

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《太赫兹科学与电子信息学报》 2014年第1期18-18,共1页

湘潭大学金湘亮教授课题组在 MEMS 加速度传感器伺服电路信号处理芯片关键技术研发上取得突破性进展，在国内首次研制成功面向石油勘探 MEMS加速度传感器伺服电路 SOC芯片。该芯片研究了高性能数字地震检波器的特征，建立了5阶数字闭环... 湘潭大学金湘亮教授课题组在 MEMS 加速度传感器伺服电路信号处理芯片关键技术研发上取得突破性进展，在国内首次研制成功面向石油勘探 MEMS加速度传感器伺服电路 SOC芯片。该芯片研究了高性能数字地震检波器的特征，建立了5阶数字闭环模型，特别是解决了高阶Σ-Δ系统稳定性问题，实现高动态范围；芯片集成多模式信号、过载恢复与控制、系统休眠与瞬时启动以及 I2C通讯协议等功能，测试结果表明芯片达到设计目标。本项目是面向国家应用重要需求而开展的专项研究，对提升国内装备制造水平和石油勘探行业的技术水平具有重要的社会和经济意义。 展开更多

关键词 加速度传感器 石油勘探行业 SOC芯片 伺服电路 MEMS 湘潭大学 国内 信号处理芯片

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Low-G系列加速度传感器及其应用 被引量：1

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作者 李晶皎 王爱侠 《电子产品世界》 2004年第05B期56-57,共2页

关键词 Low-G系列 加速度传感器 集成电路 双轴 应用 汽车电子设备 卫生保健 消费类电子产品 工业电子产品

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卓锐微推出ACT2100型MEMS加速度传感器

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《中国集成电路》 2009年第8期48-48,共1页

日前，北京卓锐微技术有限公司推出ACT2100系列高精度MEMS加速度传感器。该系列加速度传感器采用先进的SOI体硅工艺制造，并基于卓锐微技术第二Cery2000高精度MEMS加速度传感器专用接口芯片进行信号调理。

关键词 加速度传感器 MEMS 2100型 ACT 专用接口芯片 工艺制造 信号调理 高精度

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基于加速度检测的采煤机截割部异常冲击负荷检测装置 被引量：2

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作者 赵名 《煤矿机电》 2011年第1期86-88,共3页

针对目前确定采煤机滚筒截割状态主要靠人工观察和手动动作调整的情况,基于MEMS双轴加速度传感器与单片机配合,研制了一种智能型异常冲击负荷检测装置。采用此检测装置能对采煤机摇臂滚筒的振动状态进行自动监测,采煤机主控系统及时采... 针对目前确定采煤机滚筒截割状态主要靠人工观察和手动动作调整的情况,基于MEMS双轴加速度传感器与单片机配合,研制了一种智能型异常冲击负荷检测装置。采用此检测装置能对采煤机摇臂滚筒的振动状态进行自动监测,采煤机主控系统及时采取保护动作,可避免异常截割引起破坏。该检测装置通过模拟振动试验,满足了设计要求。 展开更多

关键词 双轴加速度传感器 冲击负荷 振动检测 MCU处理器芯片

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飞思卡尔为消费电子应用提供双轴向传感器

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《电信网技术》 2004年第7期56-56,共1页

关键词 飞思卡尔公司 加速度传感器 MMA62xxQ 双轴向

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基于姿态识别技术的风筒风量开关传感器设计 被引量：3

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作者 张远征 《工矿自动化》 北大核心 2016年第9期9-12,共4页

针对现有铁架式风筒风量开关传感器存在生产调试复杂、安装维护不便、抗电磁干扰能力弱等问题,设计了一种基于姿态识别技术的风筒风量开关传感器。该传感器采用三轴加速度传感芯片静态姿态检测原理,实现了风筒风量开关状态检测。实际应... 针对现有铁架式风筒风量开关传感器存在生产调试复杂、安装维护不便、抗电磁干扰能力弱等问题,设计了一种基于姿态识别技术的风筒风量开关传感器。该传感器采用三轴加速度传感芯片静态姿态检测原理,实现了风筒风量开关状态检测。实际应用表明,该传感器检测可靠稳定,调试安装简便,抗电磁干扰能力强。 展开更多

关键词 矿用风筒 风量开关传感器 姿态识别 姿态检测 判决门限自动更新 三轴加速度传感芯片

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士兰微电子再创MEMS传感器新品

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《中国集成电路》 2013年第9期2-2,共1页

士兰微电子早在三年前开始进行MEMS传感器技术和产品的研发，并在MEMS传感器件的设计、信号处理芯片的设计、MEMS芯片工艺制造技术、MEMS封装技术、传感器测试技术等领域投入了全方位的研发资源，并于近期取得实质性进展，推出了三轴加... 士兰微电子早在三年前开始进行MEMS传感器技术和产品的研发，并在MEMS传感器件的设计、信号处理芯片的设计、MEMS芯片工艺制造技术、MEMS封装技术、传感器测试技术等领域投入了全方位的研发资源，并于近期取得实质性进展，推出了三轴加速度传感器SC7A30和三轴磁传感器SC7M30。 展开更多

关键词 MEMS传感器 微电子 信号处理芯片 加速度传感器 传感器技术 传感器件 制造技术 封装技术

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基于数据采集系统芯片的新一代汽车行驶记录仪 被引量：2

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作者 赵伟章 马新国 《汽车电器》 2008年第12期57-61,共5页

对研制新一代基于数据采集系统芯片ADμC812和单片加速度传感器IC的汽车行驶记录仪的技术要求和技术难点进行讨论,并提出了解决方案。经过对软硬件多次调试和完善后,试制产品可以更精确、更完整地记录汽车行驶时的车速与加速度等参数,... 对研制新一代基于数据采集系统芯片ADμC812和单片加速度传感器IC的汽车行驶记录仪的技术要求和技术难点进行讨论,并提出了解决方案。经过对软硬件多次调试和完善后,试制产品可以更精确、更完整地记录汽车行驶时的车速与加速度等参数,且具有体积小、可靠性高的特点。 展开更多

关键词 数据采集系统芯片 单片加速度传感器 汽车行驶记录仪

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悬空打线工艺在MEMS芯片固定中的应用分析

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作者 张晋雷 《科学技术创新》 2023年第14期211-215,共5页

为解决MEMS加速度传感器芯片贴装过程中的外部应力变化对芯片内部结构产生的消极影响,研究提出了微机械硅芯片悬空打线工艺,对加速度传感器芯片进行固定封装,并运用有限元仿真分析软件,以加速度传感器的动力输出参数为量化指标,对比分... 为解决MEMS加速度传感器芯片贴装过程中的外部应力变化对芯片内部结构产生的消极影响,研究提出了微机械硅芯片悬空打线工艺,对加速度传感器芯片进行固定封装,并运用有限元仿真分析软件,以加速度传感器的动力输出参数为量化指标,对比分析传统黏合剂粘贴封装和悬空打线封装的实施效果。研究结果表明,悬空打线工艺可避免外部应力变化对MEMS芯片内部结构产生的消极影响,确保了MEMS芯片全温环境下的参数稳定;随着模态阶数的增加,封装前后不同封装方式的加速度传感器的固有频率均呈现非线性增加,前4阶封装前后的加速度传感器固有频率相近,而后6阶中采用悬空打线工艺封装的加速度传感器芯片固有频率明显大于采用传统黏合剂粘贴封装的加速度传感器固有频率,且前者与封装前的加速度传感器芯片固有频率较接近;封装前加速度传感器芯片的滤波前信号呈现剧烈的波动,经过滤波后的信号更加平滑,对信号的还原度更好,采用悬空打线工艺封装加速度传感器芯片的输出,其滤波前后的信号变化规律与封装前的信号变化规律较为一致,对于采用传统黏合剂粘贴封装的加速度传感器芯片输出信号呈现不同程度的失真。 展开更多

关键词 微机电系统 MEMS 悬空打线工艺 芯片固定 加速度传感器 滤波

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华虹半导体与矽睿科技联手推单芯片三轴陀螺仪

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《中国集成电路》 2015年第9期1-1,共1页

华虹半导体有限公司（华虹半导体）与上海矽睿科技有限公司（矽睿科技）日前共同宣布，联合推出新一代单芯片三轴陀螺仪QMG6982。这标志着由矽睿科技和华虹半导体共同研发和生产的国内首款完全拥有自主知识产权的单芯片三轴陀螺仪在上... 华虹半导体有限公司（华虹半导体）与上海矽睿科技有限公司（矽睿科技）日前共同宣布，联合推出新一代单芯片三轴陀螺仪QMG6982。这标志着由矽睿科技和华虹半导体共同研发和生产的国内首款完全拥有自主知识产权的单芯片三轴陀螺仪在上海问世。这是继双方2013年以来成功发布磁传感器和加速度传感器之后叉一款里程碑的产品。 展开更多

关键词 半导体 陀螺仪 单芯片 科技 三轴 自主知识产权 加速度传感器 磁传感器

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基于PWM的振动测试系统设计

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作者 徐泽华 王恒升 《电子工程师》 2003年第5期30-32,35,共4页

介绍了一种新型的双轴加速度传感器芯片 ,介绍了利用这种传感器构成振动测试系统的软硬件设计方法 ,特别对 VC++下实时信号的采集和调用 Matlab信号处理工具箱技术进行了详细的介绍。

关键词 PWM 振动测试系统 双轴加速度传感器芯片 信号采集 Matlab信号处理工具 工程技术 ADXL202

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一种数字式控制手柄及其信号仿真 被引量：3

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作者 王恒升 肖鹏 何清华 《电子器件》 CAS 2005年第1期16-19,共4页

介绍了一种基于MEMS双轴加速度传感器的数字式控制手柄的设计,定义了控制手柄操作的状态参数,证明用基于球面坐标的手柄操作的幅度角和方向角来衡量手柄的操作状态是直观和实用的,文中给出了幅度角、方向角与双轴加速度之间的互算关系... 介绍了一种基于MEMS双轴加速度传感器的数字式控制手柄的设计,定义了控制手柄操作的状态参数,证明用基于球面坐标的手柄操作的幅度角和方向角来衡量手柄的操作状态是直观和实用的,文中给出了幅度角、方向角与双轴加速度之间的互算关系。为了进一步分析对这种控制手柄信号的处理方法,设计了一个基于 LabView的信号仿真平台,可以实现对各种手柄操作方式的输出信号进行仿真,还可以选择加入不同的环境噪声,使数据处理算法先通过软件层面的验证,再在微控制器层面上进行实现,有效减小了数据处理算法的设计工作量。 展开更多

关键词 控制手柄 信号仿真 双轴加速度传感器 LABVIEW

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微型智能电子水平仪设计 被引量：3

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作者 夏家和 赵忠 卫育新 《兵工自动化》 2005年第1期69-71,共3页

基于 C8051F021 单片机和双轴加速度传感器 ADXL202 的微型智能电子水平仪,用相位解调器提取信息,经低通滤波后,模拟信号由 DCM 转换为脉宽占空比信号,确定加速度方向。单片机通过测量输入脉冲的高电平时间及周期而实现占空比测量。经... 基于 C8051F021 单片机和双轴加速度传感器 ADXL202 的微型智能电子水平仪,用相位解调器提取信息,经低通滤波后,模拟信号由 DCM 转换为脉宽占空比信号,确定加速度方向。单片机通过测量输入脉冲的高电平时间及周期而实现占空比测量。经重力场翻滚试验、0g 读数及比例因子校正,其结果表明纵、横倾角的输出稳定。 展开更多

关键词 电子水平仪 C8051F021 双轴加速度传感器 ADXL202

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ADXL202在组合车载导航系统中的应用 被引量：1

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作者 李建军 程娟 杨天池 《世界电子元器件》 2004年第2期75-77,共3页

本文提出了一种利用双轴加速度传感器ADXL202进行车辆定位的方法,基于这种定位技术和GPS技术的组合车载导航系统成本低、性能高,具有很强的市场竞争力。

关键词 ADXL202 车载导航系统 双轴加速度传感器 车辆定位 工作原理 加速度传感器 GPS接收机

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ADXL202在组合车载导航系统中的应用 被引量：1

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作者 李建军 姜雪 杨天池 《世界电子元器件》 2004年第4期36-38,共3页

本文提出了一种利用双轴加速度传感器ADXL202进行车辆定位的方法,基于这种定位技术和GPS技术的组合车载导航系统成本低,性能高,具有很强的市场竞争力。

关键词 ADXL202 双轴加速度传感器 组合车载导航系统 GPS

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