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激光束诱导电流在HgCdTe双色探测器工艺检测中的应用 被引量:6
1
作者 叶振华 胡晓宁 +4 位作者 蔡炜颖 陈贵宾 廖清君 张海燕 何力 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期459-462,共4页
报道了激光束诱导电流(LB IC)在碲镉汞(HgCdTe)红外双色探测器工艺检测中的应用.通过LB IC测试,发现p型HgCdTe材料由B+离子注入损伤形成的n区面积大于其注入面积,并获得n区横向的精确分布.同时,运用LB IC,获得了p型HgCdTe材料因不同能... 报道了激光束诱导电流(LB IC)在碲镉汞(HgCdTe)红外双色探测器工艺检测中的应用.通过LB IC测试,发现p型HgCdTe材料由B+离子注入损伤形成的n区面积大于其注入面积,并获得n区横向的精确分布.同时,运用LB IC,获得了p型HgCdTe材料因不同能量的等离子体干法刻蚀诱导的刻蚀台面侧壁工艺损伤形成的n区横向分布,并得到了n区横向宽度与等离子体能量的关系. 展开更多
关键词 激光束诱导电流 HGCDTE 干法刻蚀 双色探测器
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GaN/BST单片集成紫外红外双色探测器的研制 被引量:4
2
作者 李献杰 赵永林 +5 位作者 齐丽芳 尹顺政 蔡道民 吴传贵 张万里 李言荣 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期238-240,共3页
采用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)在蓝宝石上生长宽带隙半导体GaN和磁控溅射BST热释电薄膜,实现了一种单片集成紫外红外双色探测器。紫外探测部分采用GaN系金属-半导体-金属(MSM)器件结构,红外探测采用钛酸锶钡(BST)热释电电容结构,... 采用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)在蓝宝石上生长宽带隙半导体GaN和磁控溅射BST热释电薄膜,实现了一种单片集成紫外红外双色探测器。紫外探测部分采用GaN系金属-半导体-金属(MSM)器件结构,红外探测采用钛酸锶钡(BST)热释电电容结构,二者用多孔SiO2实现热隔离。制作了紫外红外双色集成探测器测试单元和1×32和1×64线列线列器件。测试单元器件紫外和红外有源区面积均为500μm×500μm,紫外探测部分峰值波长360nm,截止波长370nm,响应度0.08A/W;BST薄膜热释电系数为1×10-6C.cm-2K-1,红外热释电探测部分电压响应率为9.14V/W,黑体探测率D为4.37×105cm.Hz1/2.W-1。 展开更多
关键词 紫外 红外 双色探测器 热释电 氮化镓 钛酸锶钡
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AlGaN/GaN异质结单片集成紫外/红外双色探测器 被引量:4
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作者 齐利芳 李献杰 +2 位作者 唐卓睿 尹顺政 赵永林 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第8期575-578,共4页
采用分子束外延(MBE)技术在蓝宝石衬底上依次生长n+GaN下电极层、i型AlxGa1-xN势垒层和n+GaN发射极层,并通过半导体微细加工技术,制作了AlGaN/GaN异质结单片集成紫外/红外双色探测器。该器件利用不同的探测机理,同时实现了红外光和紫外... 采用分子束外延(MBE)技术在蓝宝石衬底上依次生长n+GaN下电极层、i型AlxGa1-xN势垒层和n+GaN发射极层,并通过半导体微细加工技术,制作了AlGaN/GaN异质结单片集成紫外/红外双色探测器。该器件利用不同的探测机理,同时实现了红外光和紫外光探测,拓展了响应光谱的范围。红外光探测是通过AlGaN/GaN异质结界面自由电子吸收和功函数内部光致发射效应完成的,紫外光探测是通过AlxGa1-xN势垒层带间吸收完成的。对单元器件的暗电流特性、紫外及红外光谱特性进行了测试。测试结果表明,紫外响应截止波长356 nm,响应度180 mA/W,红外响应峰值波长14.5μm,响应度49 mA/W。 展开更多
关键词 紫外 红外 双色探测器 异质结 ALGAN GAN
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InAs/GaSb超晶格中短波双色探测器新型钝化方法研究 被引量:1
4
作者 张利学 鲁星 +1 位作者 朱旭波 姚官生 《航空兵器》 CSCD 北大核心 2021年第5期110-113,共4页
由于InAs/GaSb Ⅱ类超晶格材料有较高的表面态密度,易在表面生成导电氧化层,在将其制备成红外器件的过程中,首先要解决钝化问题。钝化效果和覆盖膜层质量对红外器件的表面漏电和噪声有很大影响。使用阳极氟化加硫化锌的方法,对中短波双... 由于InAs/GaSb Ⅱ类超晶格材料有较高的表面态密度,易在表面生成导电氧化层,在将其制备成红外器件的过程中,首先要解决钝化问题。钝化效果和覆盖膜层质量对红外器件的表面漏电和噪声有很大影响。使用阳极氟化加硫化锌的方法,对中短波双色InAs/GaSb超晶格进行钝化,使用俄歇电子能谱测试证实了阳极氟化的可靠性,使用77 K下的J-V测试结果,对比证实了氟化的钝化效果和对漏电流密度的改善效果。结果表明,阳极氟化加硫化锌的钝化方法可以有效抑制漏电。 展开更多
关键词 INAS/GASB超晶格 MBE 表面钝化 双色探测器 阳极氟化
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双色碲镉汞红外焦平面探测器发展现状 被引量:9
5
作者 王成刚 孙浩 +1 位作者 李敬国 朱西安 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期367-371,共5页
主要介绍了双色碲镉汞红外焦平面阵列的应用需求和国外发展现状,对其工作模式、器件结构、器件制备的关键工艺技术、双色读出电结构进行了阐述说明。
关键词 碲镉汞 红外焦平面阵列 双色探测器 分子束外延 台面刻蚀
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紫外-红外双色集成探测器的发展与现状 被引量:3
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作者 李淑萍 何涛 +4 位作者 付凯 于国浩 张晓东 熊敏 张宝顺 《红外技术》 CSCD 北大核心 2018年第11期1033-1041,共9页
随着军事和民用对高集成度、多色化光电探测的不断需求,在近几十年内,紫外-红外(UV-IR)双色集成探测器从无到有,从彼此独立的紫外和红外探测器的简单集成发展到如今量子阱结构、键合结构等新型集成技术,但不同的光敏材料或系统带来较大... 随着军事和民用对高集成度、多色化光电探测的不断需求,在近几十年内,紫外-红外(UV-IR)双色集成探测器从无到有,从彼此独立的紫外和红外探测器的简单集成发展到如今量子阱结构、键合结构等新型集成技术,但不同的光敏材料或系统带来较大的晶格失配问题仍然限制了其发展与应用。本文阐述了紫外-红外双色集成探测技术在发展过程中的主要问题,并以时间和紫外探测技术为线索简述了紫外-红外双色集成探测器的发展历史及研究现状。 展开更多
关键词 双色探测器 紫外-红外 氧化物 Ⅲ族氮化物
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双色红外探测器的现状与发展 被引量:6
7
作者 蔡毅 《红外技术》 CSCD 北大核心 1997年第5期1-4,共4页
双色红外探测器是红外探测器发展的方向之一,现已有多种双色红外探测器投入使用。本文简要综述了国内外研制双色红外探测器的技术途径、现状和发展方向。从探测器材料看,多数采用HgCdTe或HgCdTe+InSb。从探测器光敏元的排列方式看,... 双色红外探测器是红外探测器发展的方向之一,现已有多种双色红外探测器投入使用。本文简要综述了国内外研制双色红外探测器的技术途径、现状和发展方向。从探测器材料看,多数采用HgCdTe或HgCdTe+InSb。从探测器光敏元的排列方式看,多数采用并列和上下重叠结构。从探测器的工作原理看,多数以光导和光伏模式工作。今后,双色红外探测器将继续向集成化、焦平面、大列阵、小型化和多色化等方向发展并获得更为广泛的应用。 展开更多
关键词 红外探测器 双色探测器 结构 材料
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4×128双色线列红外探测器成像电路设计 被引量:5
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作者 秦金明 陈宝国 +1 位作者 李丽娟 赵亮 《红外技术》 CSCD 北大核心 2013年第2期78-82,共5页
介绍了针对4×128双色线列探测器而设计的成像电路系统,其硬件电路主要包括探测器适配电路、视频模拟信号调理电路、模数转换电路、图像预处理电路、数字图像输出接口电路等。探测器驱动时序、一维扫描成像时序、AD采样时序和接口... 介绍了针对4×128双色线列探测器而设计的成像电路系统,其硬件电路主要包括探测器适配电路、视频模拟信号调理电路、模数转换电路、图像预处理电路、数字图像输出接口电路等。探测器驱动时序、一维扫描成像时序、AD采样时序和接口时序由FPGA来实现,采用VHDL语言完成时序设计。 展开更多
关键词 双色红外线列探测器 一维扫描成像 FPGA 非均匀校正 电路设计
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双色红外探测器在红外水分仪中的应用 被引量:1
9
作者 张勇 王子成 《郑州轻工业学院学报》 2000年第4期111-112,共2页
对传统红外水分仪进行了改进,即将其中的单元探测器改为二元双色探测器,红外 探测器窗口改用带宽仅为0.4 μm的窄带滤光片.改进后仪器的抗干扰能力大大提高,更适 用于测试快速运动物料的水分.
关键词 红外探测器 红外水分仪 双色探测器 改进
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双色线列红外探测器非均匀性校正的数字化设计 被引量:1
10
作者 徐丹旸 梁雪驰 +1 位作者 陈宝国 于海勋 《弹箭与制导学报》 CSCD 北大核心 2005年第S4期339-342,共4页
文中介绍了双色线列红外探测器非均匀性校正的数字系统设计。针对双色线列红外探测器的特点,采取软硬件相结合的方法,来实现提高系统处理速率的目的。
关键词 双色线列红外探测器 焦平面阵列 非均匀性校正 两点校正法 实时性
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空空导弹双色红外成像制导关键技术分析 被引量:16
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作者 李丽娟 白晓东 刘珂 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2013年第9期1036-1039,共4页
新型干扰技术的发展使单波段红外成像武器系统面临巨大的挑战,双色红外成像制导技术可增强导弹的抗干扰能力,是红外导弹发展的方向之一。首先分析了国外空空导弹双色红外成像制导技术发展的现状,之后对空空导弹双色红外成像导引头的关... 新型干扰技术的发展使单波段红外成像武器系统面临巨大的挑战,双色红外成像制导技术可增强导弹的抗干扰能力,是红外导弹发展的方向之一。首先分析了国外空空导弹双色红外成像制导技术发展的现状,之后对空空导弹双色红外成像导引头的关键技术进行了分析,针对实现双色成像的方式和双色信息利用等问题,着重分析了双色波段选择、双色探测器和成像预处理、双色共口径光学系统及双色图像抗干扰等技术的实现途径,最后提出了深化研究的措施和建议。 展开更多
关键词 双色红外成像 抗干扰 双色探测器 空空导弹
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复合反射镜减小双色导引头色差的研究
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作者 张艺瀚 张洪建 +1 位作者 方斌 李伟仁 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期122-124,共3页
解决双色导引头光学系统的色差问题是发展双色导引的一个关键问题。本文在综合双反射系统的牛顿系统和卡塞格伦系统基础上,提出的利用分色滤光片制成的复合反射镜能有效地减小光学系统色差。同时提供一种卡塞格伦系统双曲线的近似计算... 解决双色导引头光学系统的色差问题是发展双色导引的一个关键问题。本文在综合双反射系统的牛顿系统和卡塞格伦系统基础上,提出的利用分色滤光片制成的复合反射镜能有效地减小光学系统色差。同时提供一种卡塞格伦系统双曲线的近似计算的方法。 展开更多
关键词 双色导引头 色差 复合反射镜 红外制导 导弹 双色红外探测器
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红外技术及器件
13
《中国光学》 EI CAS 1998年第4期78-81,共4页
TN215 98042648光栅耦合量子阱红外探测器—维光栅的光谱响应=Spectral response of stripe gratings for quan-tum well infrared photodetectors[刊,中]/潘栋, 曾一平,李晋闽,孔梅影(中科院半导体所.北京(100083))∥半导体学报.—1997... TN215 98042648光栅耦合量子阱红外探测器—维光栅的光谱响应=Spectral response of stripe gratings for quan-tum well infrared photodetectors[刊,中]/潘栋, 曾一平,李晋闽,孔梅影(中科院半导体所.北京(100083))∥半导体学报.—1997,18(6).—431—435计算了量子阱红外探测器—维光栅的光谱响应,发现—维光栅有很宽的光谱范围。 展开更多
关键词 量子阱红外探测器 半导体 光谱响应 光栅 红外焦平面阵列 近红外 薄膜红外探测器 中科院 器件 双色探测器
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光电子技术与器件 红外技术与器件
14
《中国光学》 CAS 2005年第3期71-73,共3页
TN213 2005032136 影响红外反射涂层降温性能的因素=Effect of reducing temperature properties of the infrared scattering coating [刊,中]/孙元宝(中国人民解放军空军后勤学院四系.江 苏,徐州(221000)),韩涛…∥红外技术.-2004,... TN213 2005032136 影响红外反射涂层降温性能的因素=Effect of reducing temperature properties of the infrared scattering coating [刊,中]/孙元宝(中国人民解放军空军后勤学院四系.江 苏,徐州(221000)),韩涛…∥红外技术.-2004,26 (4).-73-75,80 研究了影响红外反射降温涂层的因素,分析了涂层颜 料体系的特点及提高热辐射能力的方法,提高了涂层的降 温能力。图4表2参3(严寒) 展开更多
关键词 红外技术 近红外光 毫米波 红外焦平面阵列 双色探测器 测试结果 系统设计 红外搜索系统 红外探测器 光电二极管
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红外技术及器件
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《中国光学》 EI CAS 1997年第3期83-88,共6页
TH76 97031979一种实时红外地球敏感器信号源的研制=Developmentof a real-time signal source for infraredearth sensor[刊,中]/陆明宇(清华大学.北京(100084)),弋魁,杨俊发。邓汝珍(北京控制研究所.北京(100080))//中国空间科学技术.... TH76 97031979一种实时红外地球敏感器信号源的研制=Developmentof a real-time signal source for infraredearth sensor[刊,中]/陆明宇(清华大学.北京(100084)),弋魁,杨俊发。邓汝珍(北京控制研究所.北京(100080))//中国空间科学技术.—1996,(2). 展开更多
关键词 红外技术 红外热像仪 双色红外探测器 毫米波 红外地球敏感器 空间科学技术 自动测试系统 物理研究所 清华大学 红外焦平面阵列
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